[发明专利]流体供应系统、熏蒸系统以及供应流体用于应用的方法无效
| 申请号： | 201110223218.X | 申请日： | 2006-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN102284224A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·W·奥兰德;詹姆斯·V·麦克马纳斯;史蒂文·J·胡尔特奎斯特;乔斯·I·阿尔诺;彼得·范巴斯柯克 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流体 供应 系统 熏蒸 以及 用于 应用 方法 | ||
【说明书】：
本申请是申请日2006年5月3日、申请号200680023941.0、标题“流体储存和分配系统以及包含该系统的流体供应方法”的分案申请。
相关申请的交叉引用
本申请要求以Karl W.Olander，James V.McManus和Steven J.Hultquist的名义于2005年5月3日提交的美国临时申请第60/677,381号“FLUID STORAGE AND DISPENSING SYSTEMS，AND FLUID SUPPLY PROCES SES COMPRISING SAME，(流体储存和分配系统，以及包含该系统的流体供应方法)”的优先权。
技术领域
本发明涉及流体储存和分配系统，以及向例如向工业工艺设备如半导体制造装置、水处理装置、天然气储存库，等供应流体的方法。
背景技术
在封装的气体的使用中，许多工业应用的常规做法是使用高压钢气瓶储存、运输和分配的各种气体。在这些应用中，气体是以压缩状态储存在气瓶里，以便使用于分配和最终使用的可用的气体的存量最大化。
由于这种压缩气体的压力通常远远大于大气压，安全问题是使用这种封装件固有的，因为高压容器的任何泄露将迅速扩散到容器的周围环境中。在气体是危险的情况下，如有毒的、自燃的、或者对暴露于其中的人员的健康或安全有损害的，或者对该容器附近的环境或设备的可操作性有害的气体，与含有气体的封装件相关的危险相应增加。这些危险组成了气体管理努力的主要焦点以保证这种高压气体封装件在使用中的安全，例如，通过提供农用设备中分离的罐、将以供料关系与地上气体消耗设备相连接的加压的气体供应容器设于地窖中等(进行)。
考虑到半导体工业中涉及的高压气体封装件的安全性和可靠性，近年来为显著提高气体包装的安全性已经做出了很大努力。在这一努力下已经产生了基于吸附剂的流体储存和输送系统，如Tom等在美国专利第5,518,528号中所描述的那些，其中气体被吸附并储存在流体储存和分配容器中的物理吸附剂上，并在分配条件下从吸附剂上脱附并从容器中排出。在这些系统中，气体可以在负压(低于大气压)水平下储存和分配，通常低于约700托。这类基于物理吸附剂的系统可以从ATMI，Inc.(Danbury，CT，USA)商购获得，商标是SDS和SAGE。
新近开发了提高安全性的流体储存和分配系统，其中流体被装在具有设置于内腔中的流体压力调节器(其中的调节器是指“内部调节器”)的容器内。这种设置可以有效地允许在高压下储存流体，只有当调节器检测到下游压力低于调节器的设定点时调节器才工作从容器中排出流体。这种内部设置的调节器系统在Wang等的美国专利第6,101,816号和第6,089,027号中有更充分的描述，并可以从ATMI，Inc.(Danbury，CT，USA)公司商购获得，商标是VAC。
本领域继续追求更加安全的气体封装的开发，以便为工业使用气体的工艺提供安全、高效且可靠的气源。这在半导体制造工业尤其如此，其中试剂气体毒性非常大甚至在低浓度下就可以致命，在一些情况下浓度低至百万分之一或者甚至低至亿分之一。
发明内容
本发明涉及流体储存和分配系统，以及使用其供应流体的方法。
一方面，本发明涉及加工装置，包括：其中装有对感兴趣的流体具有吸附亲和力的物理吸附剂介质、和/或流体压力调节器的大型的、固定定位的流体储存和分配容器，以及在加工操作中适于采用这种感兴趣的流体的工艺设备，其中该流体储存和分配容器在以分配流动连通方式与工艺设备相连接。
另一方面，本发明涉及气体供应系统，包括：大型的、固定定位的流体储存和分配容器，其中装有对感兴趣的流体具有吸附亲和力的物理吸附剂介质；以及在加工操作中适于使用这种感兴趣的流体的工艺设备，其中该流体储存和分配容器以分配流动连通方式与工艺设备相连接；多个流体供应容器，适于流体连通地与流体储存和分配容器相连接的，以用感兴趣的流体充注流体储存和分配容器。
另一个方面，本发明涉及加工装置，包括：大型的、固定定位的流体储存和分配容器，装有对用于制造光学窗口(optical window)的感兴趣的流体具有吸附亲和力的物理吸附剂介质，这种感兴趣的流体在负压(低于大气压)下吸附性地保留在所述的吸附介质上；以及生产光学窗的工艺设备，其中流体储存和分配容器以分配流动连通方式与该工艺设备相连接，使这种感兴趣的流体流到那里。
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- 本实用新型公开了一种用于有机废气VOCs处理的过滤系统，其包括：第一风机；一级过滤机构，所述一级过滤机构包括第一箱体，所述第一箱体一侧设有第一进气口，另一侧设有第一出气口，所述第一进气口通过管路连接第一风机，所述第一箱体内依次设有第一进风折流板和若干个第一过滤网；第二风机；二级过滤机构，所述二级过滤机构包括第二箱体，所述第二箱体一侧设有第二进气口，另一侧设有第二出气口，所述第二进气口通过管路连接第二风机，所述第二箱体内依次设有第二进风折流板、第二过滤网和第三过滤网；预热结构，所述预热结构分别连接第二出气口和活性炭吸附结构。本实用新型大大提高了过滤效果，可分别对活性炭吸附结构和人体健康进行有效保护。
- 一种用于有机废气VOCs处理脱附系统的节能换热系统-201822204524.9
- 周良;童敏庆 - 上海广成涂装技术工程有限公司
- 2018-12-26 - 2019-10-25 - B01D53/02
- 本实用新型公开了一种用于有机废气VOCs处理脱附系统的节能换热系统，其包括：第一密封箱体，所述第一密封箱体内设有第一换热器；第二密封箱体，所述第二密封箱体内设有第二换热器；第三密封箱体，所述第三密封箱体内设有第三换热器和电加热器；温度传感器，所述温度传感器设置在第三密封箱体内；若干个控制阀门；控制器，所述控制器分别连接各个控制阀门、温度传感器和电加热器。本实用新型大大提高了节能效果和工作效率。
- 一种有机废气吸附脱附催化燃烧处理装置-201920017161.X
- 王庆丽;韩艳;王成江;杜伟;魏一凡 - 鹤壁市隆盛环保矿山设备有限公司;河南大学
- 2019-01-07 - 2019-10-25 - B01D53/02
- 本实用新型公开了一种有机废气吸附脱附催化燃烧处理装置，包括过滤器、第一活性炭吸附箱、第二活性炭吸附箱、热催化燃烧器、储热器、吸附进气管道、吸附排气管道、循环进气管道、循环排气管道、换热进液管道和换热排液管道，第一活性炭吸附箱和第二活性炭吸附箱内均设置有独立的液体流动腔，储热器内存储有液态储热介质，储热器内还设置有独立的气体流动腔；吸附进气管道和吸附排气管道均连接第一活性炭吸附箱和第二活性炭吸附箱，热催化燃烧器分别连接循环进气管道和循环排气管道，循环进气管道连接储热器，储热器分别连接换热进液管道和换热排液管道。本实用新型充分利用催化燃烧产生的热量对吸附材料进行脱附，降低了废气处理能耗。
- 一种蜂窝活性炭包-201920224408.5
- 黄裕明;曾旺 - 蜂窝活性炭有限公司
- 2019-02-22 - 2019-10-25 - B01D53/02
- 本实用新型涉及活性炭包技术领域，且公开了一种蜂窝活性炭包，包括固定底板、固定筒、顶盖、拉手、纱布、安装架、活性炭颗粒、定位杆、定位筒、固定底座、连接件、卡块、卡接件、插接杆、支撑弹簧、固定环和拉环，所述固定底板的顶部固定安装有固定筒，所述固定筒的顶部固定安装有顶盖，所述顶盖的顶部固定安装有拉手。该蜂窝活性炭包，通过设置的安装架存放活性炭颗粒，通过开设在固定筒上的透气孔导入外界的有害气体当活性炭颗粒需要更换时，通过拉动拉环，使得插接杆与卡块分离，从而方便将定位杆抽出，通过拉动拉手从而拆卸顶盖，从而方便工作人员实现对安装架内的活性炭颗粒进行快速更换，提升了可靠性。
- 增强被污染的蒸气吸附以提高吸附介质的处理能力的系统和方法-201880013318.X
- S·E·伍达德;A·G·比晓普;M·G·尼可尔森 - 新兴化合物处理技术股份有限公司
- 2018-01-10 - 2019-10-25 - B01D53/02
- 一种增强被污染的蒸气吸附以提高可再生的合成吸附介质的处理能力的系统。所述系统包括入口，构造成接收被污染的蒸气的流。一个或多个容器连接到所述入口，所述一个或多个容器中各自包括可再生的合成吸附介质，构造成通过吸附从所述蒸气中除去污染物。蒸气冷却子系统连接到所述入口，并构造成冷却所述被污染的蒸气的流，从而增加所述可再生的合成吸附介质的处理能力。
- 一种高效甲醛清除剂及其制备方法-201810930759.8
- 王祖涵;邹巍巍;王耀祖;陈翔;韦能庆;高超 - 安徽爱弥儿环境科技有限公司
- 2018-08-15 - 2019-10-22 - B01D53/02
- 本发明公开了一种高效甲醛清除剂，所述甲醛清除剂由以下重量百分比的组份组成：吸附剂5份；表面活性剂0.06份；螯合剂1份；乙烯脲5份；儿茶素0.6份；樟脑0.45份；渗透剂0.4份；生物酶2.2份；乙二醇0.3份；去离子水170份，本发明采用了一种高效甲醛清除剂及其制备方法，无机盐吸附剂可以在无光环境很好的吸附空气和板材浅表的游离态甲醛，促进甲醛的聚合反应，同时乙烯脲也是很好的甲醛捕捉剂，在渗透剂的帮助下对板材基底深层的甲醛化合反应更是强效，提高去除甲醛的效果。
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