[实用新型]用于防止气流倒灌的截流装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种截流装置。

背景技术

在半导体生产型企业的高真空机台的生产过程中，比如在用于离子注入工艺(IMP)的高真空的机台生产过程中，请参阅图1，通常离子注入工艺的工艺腔4通过一个气流通道5与涡轮泵3相连，所述涡轮泵3的另一端与干式真空泵6相连。为了减缓气流对涡轮泵3的冲击，保护涡轮泵3，在所述气流通道5内通过固定轴2固定设有若干截流挡片1，所述截流挡片与气流的方向通常固定为15-45度。然而，有时会出现因涡轮泵故障而发生气流回灌的现象。当气流回灌时，由于截流挡片是固定不动的，不能在气流回灌的时候封住(或关闭)气流通道，因而使得处于真空后段内的颗粒物质随着回灌气流冲入处于真空前段的工艺腔内，导致产品受到上述颗粒物质污染，严重的会导致产品报废，以致影响产品良率。

因此，如何提供一种可以防止气流倒灌的截流装置是本领域亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于防止气流倒灌的截流装置，在减缓气流对涡轮泵的冲击的前提下，可以防止气流倒灌。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于防止气流倒灌的截流装置，包括位于气流通道内的若干截流挡片，还包括与截流挡片相应数量的位置限定器，所述位置限定器固设于所述气流通道内，每个截流挡片与各自的位置限定器可转动式连接，气流正常时，所述位置限位器挡住所述截流挡片，将截流挡片与气流流向的夹角限定在一便于气流通过的角度；气流回灌时，当截流挡片转动到与气流流向接近垂直或垂直时，所有截流挡片整体卡在气流通道内将气流通道封闭。

所述位置限定器是三角形支架，所述截流挡片与各自的位置限定器通过转轴可转动式连接。

所述三角形支架是直角三角形支架，其一条直角边与气流方向平行，其一个锐角顶端设置所述转轴，气流正常流动时，截流挡片平行抵靠于所述直角三角形支架的斜边。

所述直角三角形支架的斜边与气流流向的夹角为15-45度的范围内。

所述直角三角形支架的斜边与气流流向的夹角为30度。

所述截流挡片是圆形的，所述转轴设于所述截流挡片的三分一处。

所述气流通道的一端接工艺腔，另一端与涡轮泵相连。

所述涡轮泵的另一端与干式真空泵相连。

本实用新型的有益效果如下：

这种用于防止气流倒灌的截流装置，结构简单，使用方便。通过将现有的固定的截流挡片改成可以转动的截流挡片，并设置一位置限定器，不但可以在正常情况下，通过位置限定器来保证截流挡片与气流方向的夹角为15-45度，从而来保证气流正常流动；而且，在气流回灌时，截流挡片可以转动到与气流流向接近垂直或垂直的位置并将气流通道封住，从而防止处于真空后段内的颗粒物质随着回灌气流冲入处于真空前段的工艺腔内，导致产品受到上述颗粒物质污染，而影响产品良率。

附图说明

本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的截流装置的结构示意图；

图2是本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置的结构示意图(抽气状态)；

图3是本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置的结构示意图(回灌状态)；

图4是位置限定器的结构示意图；

图5是抽气状态时截流挡片的位置示意图；

图6是回灌状态时截流挡片的位置示意图。

图中，1-截流挡片、2-固定轴、2’-转轴、3-涡轮泵、4-工艺腔、5-气流通道、6-干式真空泵、7-位置限定器、71-转轴孔、α-截流挡片与气流流向的夹角。

具体实施方式

以下将对本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。