[实用新型]用于防止气流倒灌的截流装置

权利要求书

1.一种用于防止气流倒灌的截流装置，包括位于气流通道内的若干截流挡片，其特征在于，还包括与截流挡片相应数量的位置限定器，所述位置限定器固设于所述气流通道内，每个截流挡片与各自的位置限定器可转动式连接，气流正常时，所述位置限位器挡住所述截流挡片，将截流挡片与气流流向的夹角限定在一便于气流通过的角度；气流回灌时，当截流挡片转动到与气流流向接近垂直或垂直时，所有截流挡片整体卡在气流通道内将气流通道封闭。

2.如权利要求1所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述位置限定器是三角形支架，所述截流挡片与各自的位置限定器通过转轴可转动式连接。

3.如权利要求2所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述三角形支架是直角三角形支架，其一条直角边与气流方向平行，其一个锐角顶端设置所述转轴，气流正常流动时，截流挡片平行抵靠于所述直角三角形支架的斜边。

4.如权利要求3所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述直角三角形支架的斜边与气流流向的夹角为15-45度的范围内。

5.如权利要求4所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述直角三角形支架的斜边与气流流向的夹角为30度。

6.如权利要求2所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述截流挡片是圆形的，所述转轴设于所述截流挡片的三分一处。

7.如权利要求1所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述气流通道的一端接工艺腔，另一端与涡轮泵相连。

8.如权利要求7所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述涡轮泵的另一端与干式真空泵相连。