[实用新型]一种筒式单晶炉的石墨热场

说明书

所属技术领域

本实用新型涉及一种筒式单晶炉的石墨热场，用于拉制单晶硅棒。

背景技术

目前，在直拉单晶硅棒生产过程中，我们使用的单晶炉的石墨热场采用直筒式设计，即保温筒的上、中、下三部分，与炉底护盘的大小都相一致。这种单晶炉热量散发快，耗能大，且保温筒内的温度梯度不是很理想，在气体流通方面也感觉不畅，不利于清除杂质，易产生次品。

发明内容

本实用新型的目的是提供炉内温度梯度理想，且有利于气体流通，清除杂质，提高产品质量的一种筒式单晶炉的石墨热场。

本实用新型采取的技术方案是：一种筒式单晶炉的石墨热场，包括保温筒、导流筒、加热器、石墨坩埚、石英坩埚、炉底护盘；石英坩埚和石墨坩埚位于加热器内；保温筒位于加热器外，且设置在炉底护盘上；导流筒位于石英坩埚和石墨坩埚之上，以及保温筒内；其特征在于将保温筒分成上、中、下三层，且上、中、下三层呈塔形，即上层最小，中层其次，下层最大。

所述的炉底护盘大于保温筒的下层。

采用本实用新型，由于相对缩小了保温筒的上层空间，可增强保温效果，有利于节能，在上、中层之间形成理想的温度梯度，而且相对扩展了下层的空间，使气流畅通，利于清除杂质，因此能提高产品质量；另外，炉底护盘大于保温筒的下层，更有利于在保温筒外增设保温毡(采用石墨制作)，提高保温效果。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。

参照图1，该单晶炉的石墨热场包括保温筒1、导流筒2、加热器4、石墨坩埚3、石英坩埚5、炉底护盘6；石英坩埚5和石墨坩埚3位于加热器4内；保温筒1位于加热器4外，保温筒1分成上、中、下三层，上、中、下三层呈塔形，即上层最小，中层其次，下层最大；导流筒2位于石英坩埚5和石墨坩埚3之上，以及保温筒1内；保温筒1的下层设置在炉底护盘6上，炉底护盘6大于保温筒1的下层。

这样设计，由于相对缩小了保温筒1的上层空间，可增强保温效果，有利于节能，并在保温筒1的上、中层之间形成理想的温度梯度，而且相对扩展了下层的空间，使气流畅通，利于清除气流中的杂质，因此能提高产品质量；另外，炉底护盘6大于保温筒1的下层，如需在保温筒1外增设保温毡(一般采用石墨制作)也很方便，更有利于提高保温效果。