[实用新型]一种筒式单晶炉的石墨热场无效
| 申请号： | 200920199720.X | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN201574211U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 方汉春 | 申请（专利权）人： | 方汉春 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 筒式单晶炉 石墨 | ||
【权利要求书】：
1.一种筒式单晶炉的石墨热场，包括保温筒、导流筒、加热器、石墨坩埚、石英坩埚、炉底护盘；石英坩埚和石墨坩埚位于加热器内；保温筒位于加热器外，且设置在炉底护盘上；导流筒位于石英坩埚和石墨坩埚之上，以及保温筒内；其特征在于该保温筒分上、中、下三层，且上、中、下三层呈塔形，即上层最小，中层其次，下层最大。
2.根据权利要求1所述的一种筒式单晶炉的石墨热场，其特征在于保温筒下层设置在炉底护盘上，且炉底护盘大于保温筒的下层。
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