[发明专利]用于微型流体处理系统的传感器

权利要求书

1.一种用于检测液体中所存在物质的传感器，所述传感器包含：

-用于处理液体的装置，所述处理装置包含一个微米级的相互作用腔、一个入口及一个出口，

-具有一表面的第一挠性元件，所述表面上涂敷有一种物质，其中涂敷有物质的表面至少部分地位于相互作用腔中，以便使至少部分物质暴露在液体中，

-用于检测与第一挠性元件相关的机械参数的装置，所述机械参数与液体中所包含的物质相关。

2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于：第一挠性元件包含一个具有第一及第二端的微型悬臂梁，其中第一端与相互作用腔相连接。

3.如权利要求1所述的传感器，其特征在于：第一挠性元件包含一个具有第一及第二端的微型电桥，其中第一端及第二端与相互作用腔相连接。

4.如权利要求1所述的传感器，其特征在于：第一挠性元件形成确定相互作用腔的边界的一部分。

5.如权利要求1-4中任一权利要求所述的传感器，其特征在于：用于检测与第一挠性元件相关的机械参数的检测装置包含一个压敏电阻式元件，所述压敏电阻式元件是第一挠性元件中的一个集成部分。

6.如权利要求1-4中任一权利要求所述的传感器，其特征在于：用于检测与第一挠性元件相关的机械参数的检测装置包含有激光器、一个光学元件及一个位置光敏检测元件。

7.如权利要求6所述的传感器，其特征在于：所述压敏电阻式元件组成例如惠斯通电桥等平衡式电桥的一部分。

8.如权利要求1所述的传感器还包含一个用于使挠性元件相对于相互作用腔运动的激励元件。

9.如权利要求8所述的传感器，其特征在于：所述激励元件包含一个压敏电阻式元件。

10.如权利要求8所述的传感器，其特征在于：所述激励元件包含用于使挠性元件发生静电感应运动的元件。

11.如权利要求8所述的传感器，其特征在于：所述激励元件包含用于使挠性元件发生磁感应运动的元件。

12.如权利要求8所述的传感器，其特征在于：所述激励元件包含用于使挠性元件发生热感应运动的元件。

13.如权利要求1-12中任一权利要求所述的传感器，其特征在于：处理装置可由选自下组中所包含的材料制成：金属、玻璃、聚合物或例如硅等半导体材料。

14.如权利要求1-13中任一权利要求所述的传感器，其特征在于：第一挠性元件表面上所附着的物质可选自下组中所述成份：金属、聚合物、生化分子或微型生化结构。

15.如权利要求1-14中任一权利要求所述的传感器还包含：

-一个第二挠性元件，所述第二挠性元件至少部分地位于相互作用腔内，以便于该第二挠性元件至少部分暴露在液体中，以及

-用于检测与第二挠性元件相关的机械参数的装置。

16.如权利要求15所述的传感器，其特征在于：

所述检测装置包含一个与第二挠性元件集成在一起的压敏电阻式元件，所述压敏电阻式元件形成例如惠斯通电桥等平衡式电桥的一个部分。

17.一种用于检测液体中所存在物质的传感器，所述传感器包含：

-用于处理液体装置，所述处理装置包含一个相互作用腔、一个入口和一个出口，

-具有一表面的第一挠性元件，所述表面上涂敷有一种物质，其中涂敷有物质的表面至少部分地位于相互作用腔中，以便使至少部分物质暴露在液体中，

-用于检测与第一挠性元件相关的机械参数的装置，所述机械参数与液体中所包含的物质相关，其中检测装置是第一挠性元件中的一个集成部分。

18.如权利要求17所述的传感器，其特征在于：第一挠性元件包含一个具有第一及第二端的微型悬臂梁，其中第一端与相互作用腔相连接。

19.如权利要求17或18所述的传感器，其特征在于：用于检测与第一挠性元件相关的机械参数的检测装置包含一个压敏电阻式元件，

20.如权利要求19所述的传感器，其特征在于：所述压敏电阻式元件组成例如惠斯通电桥等平衡式电桥的一部分。