本发明公开了一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法,属于化学功能材料领域。该制备方法以三异丙醇氧钒为溶质制备前驱液,将所得前驱液涂于蓝宝石衬底制备前驱物薄膜,最后将前驱物薄膜置于真空环境中烧制而成。本发明在液相法的基础上,通过控制真空烧结条件制备二氧化钒薄膜,所获得的薄膜均具有良好的生长取向,相变温度为60℃左右,相变前后电阻率的变化在三个量级以上;且制备工艺简单,适合大范围推广。
一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法,其制备方法是先用钒的醇盐制备前驱液,然后将前驱液涂于衬底表面制备前驱物薄膜,最后不经过烘胶干燥直接将前驱物薄膜置于真空条件下烧制而成;具体如下:(1)以三异丙醇氧钒为溶质,异丙醇为溶剂配制前驱液;(2)把所得前驱液涂于蓝宝石衬底,制得前驱物薄膜;(3)把所得前驱物薄膜置于真空炉中烧结,保温7小时,即得到二氧化钒薄膜,其中,烧结温度控制在530℃,烧结环境真空度控制在4Pa。
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