本发明公开了一种用于颗粒分离的声表面波微流控装置,包括压电基底、单个叉指换能器、隔膜及PDMS微流道,叉指换能器蒸镀在压电基底上,并将SiO
1.一种用于颗粒分离的声表面波微流控装置,其特征在于:包括压电基底(1)、叉指换能器、隔膜(4)及微流道(3),所述叉指换能器包括设置在压电基底(1)上的长度不同的第一反射栅和第二反射栅,以及位于第一反射栅与第二反射栅之间的用于向各反射栅发射声表面波的叉指结构(2),隔膜(4)设置在压电基底(1)上并覆盖叉指换能器,微流道(3)设置在第一反射栅与第二反射栅之间的隔膜(4)对应区域上。
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