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- [发明专利]高温退火设备-CN202010198616.X有效
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李旭刚;陈志兵
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2020-03-19
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2023-02-14
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H01L21/67
- 该高温退火设备包括隔离壁、工艺管和红外测温装置,工艺管置于隔离壁围成的腔体中,红外测温装置包括石墨护管、红外温度计、第一、第二KF法兰和吹气组件,红外温度计用于检测工艺管的温度,其中:第一KF法兰的非KF端设置于隔离壁的侧孔中,KF端位于隔离壁外侧,第一、第二KF法兰密封固定;护管设置于第一KF法兰中,并延伸到隔离壁的内壁;红外温度计设置于第二KF法兰中,发出的检测信号通过护管垂直照射于被测对象;吹气组件设置于第二KF法兰的侧壁,第二KF法兰上设置有通气结构,通气结构用于连通护管和吹气组件的气路。
- 高温退火设备
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