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- [发明专利]膜厚监视器和膜厚测量方法-CN201580045208.8有效
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伊藤敦
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株式会社爱发科
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2015-07-29
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2019-01-29
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C23C14/52
- 本发明的膜厚测量方法根据设置在具有蒸镀源的成膜装置中的石英晶体谐振器的谐振频率变化来测量蒸镀膜的膜厚,其中,通过对上述石英晶体谐振器的谐振频率附近进行电扫描,来获取给出电导最大值的1/2的半峰频率F1、F2(F1Fw(Fw=(F2‑F1)/2)的时间变化ΔFw;在所测量出的所述半峰半宽的时间变化ΔFw在规定值以下的情况下,用式(1)来算出所述石英晶体谐振器的谐振频率变化ΔFs(ΔFs=fq‑fc),在所测量出的所述半峰半宽的时间变化ΔFw超过所述规定值的情况下,用式(2)来算出所述石英晶体谐振器的谐振频率变化ΔFs<
- 监视器测量方法
- [发明专利]可变放大率取景器及摄像装置-CN200410069791.X无效
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田村正树
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索尼株式会社
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2004-07-19
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2005-02-09
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G03B13/06
- 本发明的可变放大率取景器从物体侧依次包括物镜光学系统、倒像光学系统、目镜光学系统,物镜光学系统的第三透镜组由至少具有一个反射面的一个透棱镜构成,满足f3/fw≥2.5、-1.0<(R32+R31)/(R32-R31)<1.0、L1/fw2≤0.45、L2/fw2≥0.03。其中f3是第三透镜组的焦距,fw是物镜光学系统在广角端的焦距,R31是透棱镜的物体侧透镜面的曲率半径,R32是透棱镜的图像侧透镜面的曲率半径,L1是从中间成像面到透棱镜的物体侧透镜面的空气换算距离,L2
- 可变放大率取景器摄像装置
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