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[发明专利]一种旋转靶材的绑定方法-CN202011282203.6在审
发明人：王英洁;文崇斌;胡智向;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及靶材绑定技术领域，公开了一种旋转靶材的绑定方法，其包括以下步骤：将背管表面金属化；将旋转靶坯表面金属化；将所述旋转靶坯套设在所述背管的外侧，所述背管和所述旋转靶坯之间形成有间隙，加热所述旋转靶坯和所述背管；将融化的绑定金属材料注入所述间隙中，并振动所述旋转靶坯；将所述旋转靶坯和所述背管进行降温处理，获得绑定好的靶材。本发明提供的旋转靶材的绑定方法能增加绑定率和靶材的均匀性。
一种旋转绑定方法

[发明专利]一种旋转靶材坯管矫直方法-CN202111337328.9在审
发明人：胡习光 -专利权人：江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
申请日： 2021-11-14 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B21D3/10 文献下载
摘要：本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种旋转靶材坯管矫直方法。包括如下步骤：先对旋转靶材坯管进行检测，找出旋转靶材坯管的弯曲最大处；之后转动旋转靶材坯管，将弯曲最大处的弓起面朝上；然后对弓起处进行加热，使旋转靶材坯管产生变形；接着对步骤C中的加热部位进行冷却，使其回复到室温；然后再次对旋转靶材坯管进行检测，得到其弯曲情况，如果此时旋转靶材坯管的直度符合要求，则矫直完成，如果此时旋转靶材坯管的直度仍不符合要求，则重复步骤A‑D，直到其直度符合要求为止。本发明采用对坯管最大弯曲处的弓起部位进行加热后进行冷却的办法，来将坯管矫直，不需要大型的液压机，也不会导致低强度金属靶材在较大的压力下发生变形。
一种旋转靶材坯管矫直方法

[发明专利]一种长钼管靶材的制备方法-CN202211661842.2在审
发明人：方宏;张雪凤;郭雅俊;郭金洋 -专利权人：丰联科光电（洛阳）股份有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种长钼管靶材的制备方法，该制备方法先选取适量的钼粉进行胶套装粉，然后冷等静压成型，得到坯体；在氢气保护气氛下对坯体进行烧结，得到烧结坯；将烧结坯进行锻造加工，得到尺寸均匀的钼管靶坯；对钼管靶坯进行磨削机加工；将多个钼管靶坯通过摩擦焊焊接成整根管靶；对焊接后的钼管靶进行磨削机加工，获得最终的长尺寸钼管靶。该方法制备方法制备的长钼管靶材纯度、相对密度、晶粒度均满足高世代TFT‑LCD显示领域及CIGS太阳能电池等领域的使用需求，且生产成本低，产品尺寸宽泛。
一种长钼管靶材制备方法

[发明专利]一种铌靶材及其制备方法-CN201210551253.9有效
发明人：李桂鹏;王莉;汪凯;同磊;张春恒;张国军;李兆博;郭从喜;任晓;许宁 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种铌靶材的制备方法，首先将铌管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌管坯进行内孔的加工，从而得到铌靶材。本发明在制备铌靶材的过程中，首先在铌管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌管坯晶粒的细化与均匀化；最后将挤压后的铌管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀和表面粗糙度值较低的铌靶材。本发明还提供了一种铌靶材。
一种铌靶材及其制备方法

[发明专利]一种铌管状靶材及其生产方法-CN201210550283.8有效
发明人：张国军;李桂鹏;汪凯;同磊;张春恒;李兆博;许宁;郭从喜;任晓 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种铌管状靶材的生产方法，包括以下步骤：将铌管坯进行第一次加热；向加热后的铌管坯表面第一次喷涂玻璃粉；将喷涂玻璃粉后的铌管坯进行热挤压；将热挤压后的铌管坯进行酸洗；将酸洗后的铌管坯进行热处理，得到铌管状靶材。本发明将玻璃粉喷涂至铌管坯的表面，由于玻璃粉导热系数较小，其存在于铌管坯与挤压机工模具接触面之间，形成一层绝热、抗氧化层，从而使铌管坯易于成型；另一方面，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，避免了与铌管坯表面粘连的问题，从而使铌管坯的表面质量较好，同时由于玻璃粉的润滑效果，使铌管状靶材挤压易成型。本发明还提供了一种铌管状靶材。
一种管状及其生产方法

[发明专利]一种铌合金靶材及其制备方法-CN201210551195.X有效
发明人：李桂鹏;汪凯;张国军;吴红;张春恒;李兆博;任萍;任晓;郭从喜 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种铌合金靶材的制备方法，首先将铌合金管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌合金管坯进行内孔的加工，从而得到铌合金靶材。本发明在制备铌合金靶材的过程中，首先在铌合金管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌合金管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在热挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌合金管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌合金管坯晶粒的细化与均匀化；最后将热挤压后的铌合金管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌合金管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀细小和表面粗糙度值较低的铌合金靶材本发明还提供了一种铌合金靶材。
一种合金及其制备方法

[发明专利]一种低成本磁控溅射用钼管靶的制备方法-CN202210344344.9在审
发明人：李鹏;吴建国;赵腾飞;付立政;张外平 -专利权人：中钨稀有金属新材料（湖南）有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B22F5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种低成本磁控溅射用钼管靶的制备方法，包括以下步骤：1)将高纯度的钼粉在保护气氛下进行高能球磨，球磨完毕后过筛，得到球磨后的钼粉；2)将球磨后的钼粉通过振动装料的方式装入等静压模具中，然后将装有钼粉的模具进行压制，压制完毕后，脱模，得到钼管靶压坯；3)将含有圆弧面的支撑台放置入卧式中频烧结炉中，接着将钼管靶压坯放置在含有圆弧面的支撑台上，支撑台对钼管靶材压坯起到支撑作用，放置好后，进行烧结，得到烧结后的管靶，将进行直接机加工制备成磁控溅射用钼管靶本发明通过采用含有圆弧面支撑台进行支撑，明显的提高了钼管靶压坯沿圆周方向收缩变形的一致性，烧结产品圆周方向尺寸形状的均匀性大大提高。
一种低成本磁控溅射用钼管靶制备方法

[发明专利]一种钼钠合金旋转靶的制备方法-CN201910585780.3在审
发明人：张灵杰;彭光辉;杨雷雷;岳慎伟 -专利权人：洛阳科威钨钼有限公司
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种钼钠合金旋转靶的制备方法，包括制备球形钼粉颗粒的步骤，通过将球形钼粉颗粒装入管靶模具中冷等静压制成型以及将压制好的粉质钼管坯预烧结处理获得理想孔隙度范围的钼管坯，再通过熔渗钼酸钠获得需求钠含量的钼钠合金管坯体，将钼钠合金管坯体装入钛板卷制的空心管状模具中完成真空封口焊接，最后通过热等静压制进一步提高钼钠合金旋转靶密度，本发明制得的旋转靶的相对密度＞98.0%，Na含量处于0.5%‑2.5%之间，本发明制成的靶材密度高
钠合金旋转靶制备钼粉颗粒管坯体钼管坯装入模具冷等静压制热等静压制镀膜效果机械加工空心管状真空封口孔隙度预烧结钛板卷钼酸钠靶材粉质管靶量产熔渗成型焊接压制

[发明专利]一体成型管靶的生产方法-CN201410841972.3在审
发明人：宋爱谋;钟小亮 -专利权人：山东昊轩电子陶瓷材料有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于材料加工技术领域，具体涉及一种一体成型管靶的生产方法。将由靶材材料元素组成的靶材材料粉末置于包套中，在真空条件下进行热等静压形成管靶，在热等静压结束后，除去包套中的外管和固定环，得到内为衬管外为靶管的坯材，该坯材经机加工即得一体成型管靶；所述的包套包括同轴设置的内管和外管以及用于固定内管和外管的两端的固定环本发明成功利用热等静压法生产出一体成型管靶，且所得一体成型管靶成分均匀、无可见偏析，靶管与衬管之间结合紧密，晶粒细小、纯度高，能够满足液晶显示和触控屏行业要求。
一体成型生产方法

[发明专利]一种铝基管状靶材及其制备方法-CN202210714121.7有效
发明人：张凤戈;张欠男;魏铁峰;岳万祥;缪磊 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝基管状靶材及其制备方法。铝基管状靶材包括背管，背管的外表面设置有含铝金属过渡层，含铝金属过渡层上设置有铝基靶材层。含铝金属过渡层为铝青铜或镍铝合金。采用本申请的制备方法制备的铝基管状靶材，背管和铝基靶坯之间设置含铝金属过渡层，可有效解决背管与铝基靶坯之间由于热膨胀系数不匹配而引发的应力集中产生裂纹的问题，制备的铝基靶材纯度高，致密度高，组织均匀无偏析
一种管状及其制备方法

[发明专利]一种低成本铌管靶的制造方法-CN201710611021.0有效
发明人：王延龙;彭凌剑;李军 -专利权人：北京兴荣源科技有限公司
申请日： 2017-07-25 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于磁控溅射用管状靶材制造技术领域。本发明提供了一种低成本铌管靶的制造方法，即通过将铌管靶非溅射区域用低成本的钛替代高成本铌，达到降低成本的目的。具体包括如下步骤：通过真空电子束熔炼并浇铸成型的铌管坯，将铌管坯内、外壁车削干净。然后在真空状态下通过电渣炉将熔融的纯钛液浇铸并充满铌管坯的内孔，形成铌钛复合棒。冷却之后，对铌钛复合棒开中心孔，然后加热并挤压成需要的尺寸规格；校直处理后，通过机加工铌钛复合管的内外表面，得到需要尺寸的铌管靶。通过这种工艺可以减少铌用量的25～40％，因此有效的降低了铌管靶的生产成本。
一种低成本铌管靶制造方法

[发明专利]一种管状钼靶材的制备方法-CN201410210033.9有效
发明人：朱琦;王林;王娜;杨秦莉 -专利权人：金堆城钼业股份有限公司
申请日： 2014-05-17 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种管状钼靶材的制备方法，包括以下步骤：一、将钼粉压制成钼管坯；二、采用两段烧结工艺，对钼管坯进行烧结处理；三、将烧结处理后的钼管坯进行加热，然后进行挤压加工，车削加工后得到管状钼靶材。本发明制备方法少切屑，生产效率高，钼管长度可调，并且具有明显的成本优势；本发明生产工艺流程短，金属损耗小，综合成品率高，能够方便、快捷、大量地生产溅射用管状靶材。
一种管状钼靶材制备方法

[发明专利]一种钨旋转镀膜的溅射管靶的制作工艺-CN201110242640.X有效
发明人：张灵杰 -专利权人：洛阳科威钨钼有限公司
申请日： 2011-08-23 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种钨旋转镀膜的溅射管靶的制作工艺，采用钨粉为原料，首先将原料装入橡胶模套内，制备成空心的粉质钨管坯，然后采用冷等静压机成型，后将成型后的固体管坯放入中频烧结炉中，成型坯体备用：将成型坯加热到1300°-1700°，加热时间为1-3小时，取出后采用空气锤进行锻打直至锻打成钨棒，后进行镗孔、车外圆，使表面粗糙度达到Ra1.6~Ra3.2µm后，溅射管靶制作完成。本方法制作工艺简单，对设备要求不高，因此投入成本较低，制备出的靶材致密性较好，相对密度达到99%以上。
一种旋转镀膜溅射制作工艺

[发明专利]一种冷等静压后钼靶坯的表面处理方法-CN202010693479.7有效
发明人：姚力军;郭红波;潘杰;王学泽;吴庆勇 -专利权人：宁波江丰钨钼材料有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种冷等静压后钼靶坯的表面处理方法，所述表面处理方法包括如下步骤：(1)在冷等静压后的钼靶坯底部放置接粉槽，然后挫除钼靶坯端部的棱角，使钼靶坯端面与钼靶坯主体的夹角不超过45°；(2)打磨钼靶坯的孔洞至孔洞内的杂质完全消除；(3)打磨钼靶坯表面的褶皱，然后将表面处理产生的粉末收集至接粉槽内，完成对冷等静压后钼靶坯的表面处理。通过对冷等静压后的钼靶坯进行表面处理，消除了钼靶坯表面的褶皱，避免了钼靶坯孔洞中胶粒对后续工艺的影响，从而提高了所得钼靶坯产品的质量。
一种静压后钼靶坯表面处理方法

[发明专利]靶坯及靶材组件的制造方法-CN201610679308.2有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;陈勇军 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-08-16 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶坯及靶材组件的制造方法，所述靶坯的制造方法包括：提供AlSc合金锭；对AlSc合金锭进行塑性变形加工，形成初始靶坯；以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理，形成靶坯。本发明以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理。由于在升温过程中，难以保证初始靶坯的受热均一性良好，因此通过分多个阶段来进行热处理，在每一次升温后进行保温，使已达到预设温度的部分区域初始靶坯进行保温，使未达到预设温度的部分区域初始靶坯继续进行升温直至达到预设温度，因此完成每一阶段的热处理后，均可以使初始靶坯受热均匀，即可以提高初始靶坯的受热均一性，从而使热处理后靶坯的晶向200含量增加，且所述靶坯的晶向均匀、晶粒细小。
组件制造方法

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