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- [发明专利]宽范围的静电中和器和方法-CN200680017693.9无效
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P·戈夫特;S·格尔基;A·伊格纳坚科
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MKS仪器公司
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2006-05-22
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2009-10-28
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B23K10/00
- 通过在电离单元或模块中产生具有正负带电离子混合物的离子云,并且重新整形该离子云来提供带电物体的静电中和,其中使用第二电压将离子重新分配至两个相反极性的区域来重新整形离子云。离子的重新分配增加了可用离子向带电物体转移或移动的有效范围。该电场重新分配形成离子云的离子。因为极性与第二电压的极性相对应的离子被电场排斥,而极性与电场极性相反的离子被吸引到电场,所以在离子云内发生离子重新分配。在离子云中,将离子重新分配至两个相反极性的区域接着使得离子云重新整形,以至于与被排斥的离子相对应的一部分云由被吸引到电场的离子取代,这样增强了离子扩散或移动的范围。这种将离子重新分配至两个区域的方式在此处的公开文本中有时也被称为“离子极化”。
- 范围静电中和方法
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