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- [实用新型]一种带有可调节修正板的蚀刻设备-CN202223105856.4有效
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肖亚飞;徐健
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四川科尔威光电科技有限公司
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2022-11-22
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2023-03-17
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H01J37/08
- 本实用新型涉及半导体制备技术领域,具体涉及是一种带有可调节修正板的蚀刻设备包括蚀刻机窗口,蚀刻机窗口一侧设置有离子源装置,且与离子源装置相对的一侧设置有基片承载台,基片承载台上固定有基片,其中离子源装置和基片承载台间设置有修正板组,修正板组能调节离子源装置到达基片表面离子束的能量,通过在基片与离子源装置间增加修正板组,分散强能量的等离子体或者离子束,使得基片获得能量强度均匀的等离子体离子束。同时,修正板组为两层结构,不仅可以遮挡能量强的等离子体或离子束,还可以更改等离子体或离子束的气流,使得等离子体或者离子束的气流更加均匀,通过第二层修正板,可以调节不同的形状,使得基片均匀性更好。
- 一种带有调节修正蚀刻设备
- [实用新型]调温床罩-CN97202363.1无效
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宋文辉;任达茜
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宋文辉
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1997-03-10
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1998-09-02
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A47G9/02
- 调温床罩涉及一种床上用品,由保温罩、进气管、空气调节器组成,能自动升降,使用方便,一物多用;保温罩用纺织品制成,平时覆盖在床面上,外观、功能与普通床罩相同;当空气调节器工作时,使保温罩充气升起并调节其内部温度、湿度、净化空气、产生负氧离子,给使用者提供舒适的睡眠环境;因调温床罩仅调节小范围内的空气,所以与电暖气、空调相比节能效果显著。
- 调温床罩
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