专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种新型高靶材利用的矩形磁控靶-CN202221195551.4有效
  • 李春伟;姜雪松 - 东北林业大学
  • 2022-05-18 - 2022-09-30 - C23C14/35
  • 本实用新型公开了一种新型高靶材利用的矩形磁控靶,属于溅射镀膜技术领域。一种新型高靶材利用的矩形磁控靶,包括真空箱、伺服电机以及调节机构,所述真空箱内部上方设置有基片,所述真空箱内部下方设置有磁场箱,所述磁场箱设置在基片正下方,所述磁场箱内部上方设置有三个导磁块与两个靶材;本实用有效的解决了现有的矩形磁控靶磁场分布不均匀,使得靶材利用较为低下,并且磁场都是固定的,不能够根据使用需求,对磁场的强度进行改变的问题。
  • 一种新型高靶材利用率矩形磁控靶
  • [发明专利]一种提高旋转靶材利用的溅射方法及溅射设备-CN202210506190.9在审
  • 张永胜;解传佳;武瑞军;莫超超;杨肸曦;彭孝龙;周振国 - 苏州迈为科技股份有限公司
  • 2022-05-10 - 2022-07-22 - C23C14/54
  • 本发明属于溅射镀膜技术领域,公开了一种提高旋转靶材利用的溅射方法及溅射设备。该提高旋转靶材利用的溅射方法中,在线获取位于真空室内的所述靶材的形貌信息;根据所述靶材的形貌信息自动生成所述靶材的外径形貌拟合图;根据所述外径形貌拟合图,自动控制所述靶材轴向各处的磁场强度,以使所述靶材均匀消耗在线获取靶材刻蚀情况并自动调整磁场强度,不需要对真空室破除真空后取出靶材调整更方便,且有利于提高调整频率,从而能够及时调整靶材轴向各处的磁场强度,有利于增大靶材利用的调整幅度。本发明提供的溅射设备能够在线获取靶材表面刻蚀情况并调整对应位置磁场强度,不需人工操作,效率高,调整及时,能明显改善靶材的利用
  • 一种提高旋转利用率溅射方法设备
  • [发明专利]具有交替电磁场的矩形平面磁控靶-CN201010168812.9无效
  • 黄国兴 - 赫得纳米科技(昆山)有限公司
  • 2010-05-11 - 2011-01-05 - C23C14/35
  • 本发明公开了一种具有交替电磁场的矩形平面磁控靶,涉及溅射镀膜设备技术领域,包括靶材本体,其特征在于:还包括磁体,所述磁体设置在靶材本体的上部,所述磁体包含两组电磁铁,两组电磁铁相互交叉设置。本发明解决了现有技术矩形平面磁控靶中永磁体磁场分布及水平场强的局限性,造成靶材利用较低,靶材利用在30%左右,同时永磁体磁性稳定性较差的问题,本发明提供了一种结构简单,使用方便,能够增加靶材利用的具有交替电磁场的矩形平面磁控靶靶材利用可提升到65%左右,降低了靶材成本,延长换靶周期降低停机时间。同时本发明采用电磁铁在使用过程中不会产生消磁现象,能够稳定产品的品质,节约了成本。
  • 具有交替电磁场矩形平面磁控靶
  • [实用新型]铁矿磁力干选机-CN200420055398.0无效
  • 李兴斌 - 李兴斌
  • 2004-12-03 - 2005-12-28 - B03C1/26
  • 本实用新型涉及一种铁矿磁选装置,一种铁矿磁力干选机,包括壳体和磁力滚筒,在磁力滚筒内设有270度圆面的磁块,该磁体磁场强度为400~1250GS,并可在摆臂的作用下晃动,由于磁场范围比通常磁选机大,因此选矿效率高,而且矿石利用提高,矿石利用可达90%,并且由于磁体是可晃动的,使磁场不断变化,可有效的分离杂质,使清除杂质效率提高,铁精粉质量提高。
  • 铁矿磁力干选机
  • [实用新型]永磁按摩滚-CN200720169939.6无效
  • 胡振华 - 北京玛格涅磁应用技术有限责任公司;胡振华
  • 2007-07-27 - 2008-11-05 - A61H15/00
  • 本实用新型公开了一种永磁按摩滚,适用于磁按摩康复领域,其磁源置于外壳内,磁场是通过永磁磁滚的纵断面内流通的,在外壳外产生磁场,磁源是永磁稀土材料,可以是钕铁錋,或钕镍钴,或恒磁铁氧体,外壳是非导磁、导电材料,其能够产生强磁场,具有永磁磁势强,磁场作用距离远,磁源利用高,解决了已有产品磁场沿磁滚四周都有分布,没有重点,磁源利用低的问题;且体积小,永磁用料少,成本低,康复疗效好的优点。
  • 永磁按摩

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