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- [发明专利]三氯氢硅汽化装置-CN201110160672.5无效
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刘畅;王岭;张维;刘维
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四川新光硅业科技有限责任公司
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2011-06-15
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2011-12-21
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C01B33/03
- 本发明涉及到多晶硅生产装置,具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化装置,属于多晶硅生产技术领域。本发明的三氯氢硅汽化装置,包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、混合器,蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口;三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通;三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器;混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。利用本发明的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化,可以得到配比稳定、混合均匀的混合气;原料的混合更均匀,有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长,生产出的晶粒外观质量较好。
- 三氯氢硅汽化装置
- [实用新型]三氯氢硅汽化装置-CN201120201661.2无效
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刘畅;王岭;张维;刘维
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四川新光硅业科技有限责任公司
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2011-06-15
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2012-01-04
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C01B33/03
- 本实用新型涉及到多晶硅生产装置,具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化装置,属于多晶硅生产技术领域。本实用新型的三氯氢硅汽化装置,包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、混合器,蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口;三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通;三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器;混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。利用本实用新型的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化,可以得到配比稳定、混合均匀的混合气;原料的混合更均匀,有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长,生产出的晶粒外观质量好。
- 三氯氢硅汽化装置
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