专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]液体供应系统以及液体供应方法-CN202011095472.1有效
  • 黄扬伦;陈裕凯;方进坤 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2020-10-14 - 2023-05-12 - B05B15/00
  • 一种液体供应系统以及液体供应方法。液体供应方法包含使用液体供应系统提供一液体至一第一晶圆上,其中该液体供应系统具有一液体容置槽、一喷头以及一第一过滤器,该液体供应系统用以使该液体从该液体容置槽经该第一过滤器而流至该喷头;停止提供该液体至该第一晶圆上;将该第一过滤器替换为一第二过滤器;外接一循环系统至该液体供应系统;使用该循环系统,使该液体循环地流过该第二过滤器;在使该液体循环地流过该第二过滤器之后,从该液体供应系统上,移除该循环系统;以及在移除该循环系统之后,使用液体供应系统提供该液体至一第二晶圆上。
  • 液体供应系统以及方法

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