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[发明专利]形成波导的方法及由此形成的波导-CN200310124924.4无效
发明人： J·G·谢尔纳特;M·L·莫伊尼汉;O·帕特森 -专利权人：希普雷公司
申请日： 2003-12-02 - 公布日： 2004-08-25 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明提供形成光波导的方法。该方法包括：(a)在衬底上形成一层可光限定组合物；(b)将一部分可光限定组合物层在光化辐射下曝光；(c)将已曝光的层显影，形成波导芯结构；以及(d)将波导芯结构加热到一定温度，并持续一段能使所述结构有效地再流平的时间，从而使波导芯结构的横截面至少部分地变成圆形。并且本发明也提供由所述方法形成的光波导，以及包括一个或多个这样光波导的电子器件。
形成波导方法由此

[发明专利]光波导的形成-CN201080069982.X有效
发明人：基思·戈森 -专利权人：英派尔科技开发有限公司
申请日： 2010-11-03 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：一般地描述了针对光波导、用于形成光波导的方法和系统、以及包括光波导的光学系统的技术。在一些示例中，光波导可以包括硅衬底的壁中的氮氧化硅区域。氮氧化硅区域可以限定光波导的内部区域。壁可以限定过孔。光波导可以包括衬底中的氧化硅区域。氧化硅区域可以限定与内部区域相邻的光波导的外部区域。
波导形成

[发明专利]光波导形成用树脂组合物、使用其的光波导形成用树脂膜和使用它们的光波导-CN201180041005.3有效
发明人：山口正利;牧野龙也;落合雅美 -专利权人：日立化成株式会社
申请日： 2011-08-22 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明涉及光波导形成用树脂组合物、使用该光波导形成用树脂组合物而成的光波导形成用树脂膜、和光波导，所述光波导形成用树脂组合物包含（A）具有羟基和／或羧基的聚合物、（B）具有氨基甲酸酯键的（甲基）丙烯酸酯、（C）多官能封闭异氰酸酯化合物、和（D）自由基聚合引发剂，所述光波导中，使用该光波导形成用树脂组合物、或该光波导形成用树脂膜而形成有下部包层、芯部、上部包层中的至少一个。本发明提供光波导形成用树脂组合物、使用了该光波导形成用树脂组合物的光学材料用树脂膜、以及使用它们的光波导形成用树脂组合物、光波导形成用树脂膜和透明性、耐热性、环境可靠性、强韧性优异的光波导，所述光波导形成用树脂组合物的透明性、耐热性、强韧性优异，能够形成高精度的厚膜，而且对生产性高的光波导形成用树脂膜特别有用。
波导形成树脂组合使用它们

[发明专利]光电基板的制作方法-CN201010194139.6无效
发明人：张成瑞 -专利权人：欣兴电子股份有限公司
申请日： 2010-05-27 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： G02B6/136 文献下载
摘要：在基板上形成一第一光波导材料层。在第一光波导材料层上形成一第二光波导材料层。在第一光波导材料层上形成一第三光波导材料层，且第三光波导材料层覆盖第二光波导材料层，其中第一光波导材料层、第二光波导材料层与第三光波导材料层至少其中之一的制程步骤如下所述。在基板上形成一掩膜层。图案化掩膜层，以在掩膜层上形成一开口。在开口中形成一光波导材料。固化光波导材料。移除掩膜层。
光电制作方法

[发明专利]波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器-CN201910818563.4有效
发明人：乔磊;廖志军;刘瑞;郑哲;崔文朋;池颖英;陈婷;李春晖;李纪平 -专利权人：北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国网江西省电力有限公司;国家电网有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G02B6/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器，波导的形成方法包括下列步骤：在硅衬底上生长绝缘层；在绝缘层的表面旋涂光刻胶；光刻光刻胶并形成波导结构；在波导结构内气相淀积玻璃以形成玻璃波导层；应用剥离技术除去没有被光刻的光刻胶以及位于波导结构以外的玻璃以形成波导主体；在波导主体上旋涂聚合物；光刻聚合物并固化后以形成腔室支柱；以及将腔室支柱的顶部通过键合技术形成腔室，多个腔室连接形成波导。本发明的波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器，其采用无源设计增加产品寿命、提升传感器灵敏度、具备实时在线监测功能。
波导形成方法以及包含 sf6 气体无源传感器

[发明专利]一种波导同轴转换器-CN202010554142.8有效
发明人：朱柯斌;王建国 -专利权人：北京无线电测量研究所
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01P5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种波导同轴转换器，属于波导同轴转换设备技术领域。其包括：波导本体，上侧为上波导宽边，下侧为下波导宽边，左右两侧为左波导窄边和右波导窄边，前侧为波导端面，后侧敞口形成波导端口，波导本体内形成波导腔体；阻抗匹配块，位于波导腔体内且其前端面与波导端面的内侧壁之间形成间隙一，阻抗匹配块连接在下波导宽边上，阻抗匹配块、波导端面与下波导宽边一体连接或一体加工形成；同轴接头，安装在波导端面上，同轴接头包括同轴内导体，波导端面上设有通孔，同轴内导体的一端穿过通孔并与阻抗匹配块连接，同轴内导体上设有与波导端面的内侧壁之间形成间隙二的匹配凸部。本发明的波导同轴转换器能够克服装配误差且提高驻波性能。
一种波导同轴转换器

[发明专利]光波导形成用树脂组合物、光波导形成用树脂膜和光波导-CN201080019308.0无效
发明人：牧野龙也;高崎俊彦;落合雅美;高桥敦之 -专利权人：日立化成工业株式会社
申请日： 2010-04-28 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：提供透明性、耐热性、强韧性优异，能够高精度地进行厚膜形成并且生产率高的光波导形成用树脂组合物；光波导形成用树脂膜和透明性、环境可靠性、耐热性优异的光波导。一种含有(A)侧链具有乙烯性不饱和基团且主链具有芳香环的多羟基聚醚、(B)具有乙烯性不饱和基团的聚合性化合物、和(C)自由基聚合引发剂的光波导形成用树脂组合物、光波导形成用树脂膜和使用该光波导形成用树脂膜形成芯部的光波导
波导形成树脂组合

[发明专利]光波导器件的生产方法-CN98103043.2无效
发明人：李泰衡;李炯宰;俞炳权 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 1998-07-21 - 公布日： 1999-02-03 - 主分类号： G02B6/13 文献下载
摘要：一种用于制造不需诸如电极的外偏置的光波导器件的简化方法,其中光波导器件具有下包层、光波导及下包层。该方法包含如下步骤(a)在平面基片上形成下包层;(b)在下包层上形成光波导层;(c)在光波导层上形成上包层;(d)在上包层上形成预定的光波导图形;(e)根据光波导图形蚀刻上包层及光波导层;及(f)在蚀刻所得结构上形成材料层从而可减少对光波导的损害及外力对其的影响。
波导器件生产方法

[发明专利]一种三维光波导制作方法-CN201811426157.5在审
发明人：谷丽芳 -专利权人：苏州席正通信科技有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维光波导制作方法，包括波导、基体、波导横向分支、波导纵向分支；波导的折射率高于基体，当光由波导一端射入，由于光在波导和基体界面形成全反射，因此光可沿波导内传输；波导上分布有波导横向分支和波导纵向分支，光沿波导传输遇到分支时光会按一定功率比例分成两束光；3D打印的三维光波导是由3D打印机按顺序线性堆积材料形成一层，之后按顺序堆积形成多层三维光波导结构，其中波导所在位置打印完成后为中空管道；波导材料沿灌注口灌入中空管道并固化，形成波导；进一步对三维光波导结构6个面进行研磨和抛光，以达到与外接光波导对接通光的效果。
波导光波导三维光波导结构波导横向波导纵向中空管道打印研磨和抛光波导材料波导传输堆积材料基体界面顺序线性灌注口全反射折射率多层灌入射入外接制作固化堆积接通传输

[发明专利]波导结构及其制造方法、光子集成电路及其制造方法-CN202111516863.0在审
发明人：苏湛;达迪·塞蒂亚迪;徐叶龙;吴建华;柏艳飞;朱云鹏;邹静慧;孟怀宇;沈亦晨 -专利权人：上海曦智科技有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明涉及光子集成电路领域，其提供了一种波导结构的制造方法，包括：形成第一材料层；基于所述第一材料层形成第一波导、第二波导，所述第一波导与所述第二波导具有间隔；形成第二材料层；基于所述第二材料层形成波导耦合结构，所述波导耦合结构分别与第一波导、第二波导光学耦合，以使得第一波导与第二波导实现光连接。可以使得波导连接范围不仅局限于一次曝光所限定的区域，将不同曝光区域的波导实现互连，减少波导互连时对准的精度要求，还能够有效避免波导连接时的接合缺陷。
波导结构及其制造方法光子集成电路

[发明专利]波导组合器的直接蚀刻制造的方法-CN201880081359.2在审
发明人：迈克尔·于-泰克·扬;韦恩·麦克米兰;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;罗伯特·简·维瑟 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文所述的实施方式涉及用于利用基板制造波导结构的方法。形成具有由基板形成的输入耦合区域、波导区域，和输出耦合区域的波导结构。所述区域是通过将印模压印到抗蚀剂中以形成正波导图案来形成，所述抗蚀剂安置在硬掩模上，所述硬掩模形成在基板表面上。正波导图案的部分和形成在所述部分下的硬掩模被去除。基板被掩模和蚀刻以在输入耦合区域和输出耦合区域中形成光栅。正波导图案的剩余残留部分和安置在所述剩余残留部分下方的硬掩模被去除以形成波导结构，所述波导结构具有由基板形成的输入耦合区域、波导区域，和输出耦合区域。
波导组合直接蚀刻制造方法

[发明专利]波导组合器的直接蚀刻制造的方法-CN202310338255.8在审
发明人：迈克尔·于-泰克·扬;韦恩·麦克米兰;罗格•梅耶•蒂默曼•蒂杰森;罗伯特·简·维瑟 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文所述的实施方式涉及用于利用基板制造波导结构的方法。形成具有由基板形成的输入耦合区域、波导区域，和输出耦合区域的波导结构。所述区域是通过将印模压印到抗蚀剂中以形成正波导图案来形成，所述抗蚀剂安置在硬掩模上，所述硬掩模形成在基板表面上。正波导图案的部分和形成在所述部分下的硬掩模被去除。基板被掩模和蚀刻以在输入耦合区域和输出耦合区域中形成光栅。正波导图案的剩余残留部分和安置在所述剩余残留部分下方的硬掩模被去除以形成波导结构，所述波导结构具有由基板形成的输入耦合区域、波导区域，和输出耦合区域。
波导组合直接蚀刻制造方法

[发明专利]双面光栅波导及其制备方法、以及定位装置-CN202011271602.2在审
发明人：魏海明;陈淑丹;魏一振;张卓鹏 -专利权人：杭州光粒科技有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种双面光栅波导的制备方法，包括：在第一子波导的第一表面上制备形成第一光栅层；在第二子波导的第一表面上制备形成第二光栅层；将所述第一子波导的第二表面和所述第二子波导的第二表面贴合连接，获得相对的两个表面均设置有光栅层的双面光栅波导本申请中在形成双面光栅波导时，采用两个子波导代替常规技术中的完整的单波导结构，在两个子波导上各形成光栅层，再将两个子波导相互连接形成完整的波导结构，两个光栅层是分别在两个相互分离的子波导上独立形成的，保证了整个双面光栅波导的质量和工作性能本申请还提供了一种双面光栅波导以及双面光栅波导制备的定位装置，具有上述有益效果。
双面光栅波导及其制备方法以及定位装置

[发明专利]波导缝隙天线及其制造方法-CN201680053629.X在审
发明人：园嵜智和;赤井洋;服部圭 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01Q13/10 文献下载
摘要：波导缝隙天线(1)具有：树脂制的波导管(10)，其具有在管轴方向上延伸的波导路(2)；以及多个辐射缝隙(3)，其设置于波导管(10)，其中，波导管(10)由波导路(2)的延伸方向各部的横截面形成为有端状且通过与对方侧结合而划定波导路(2)的第1波导管形成部件和第2波导管形成部件(11、12)构成，其中，该波导缝隙天线(1)具有沿着管轴方向配置的芯骨(20)，芯骨(20)被两个波导管形成部件(11、12)保持。
波导缝隙天线及其制造方法

[发明专利]采用P型衬底的半导体激光器及其制备方法-CN202210134222.7有效
发明人：刘振武;仲莉;马骁宇;刘素平;熊聪 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01S5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用P型衬底的半导体激光器，包括：P型衬底；在P型衬底上依次外延生长有P型缓冲层、P型传输层、P型限制层；在P型限制层上形成有P型波导层；在P型波导层上形成有有源层；在有源层上形成有N型波导层，N型波导层的厚度大于P型波导层的厚度；在N型波导层上形成叠层结构，叠层结构包括依次形成的N型限制层、N型缓冲层、N型欧姆接触层；其中，从叠层结构表面对叠层结构进行刻蚀以形成脊型波导，使脊型波导相对于P型波导层更靠近N型波导层。本发明提供的激光器，通过设计脊型波导相对于P型波导层更靠近N型波导层，使得脊型波导距离光场更近，从而对光场有更好的反馈。
采用衬底半导体激光器及其制备方法

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