专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]气体调节-CN200580023485.5无效
  • 姜义昌 - 姜义昌;全永敦
  • 2005-07-23 - 2007-06-20 - F17C13/04
  • 本发明涉及一种气体调节器,其可以限制流入气体调节器的气体的压力,从而可以安全地操作气体调节器。当压力高于预设参考压力的气体流入气体调节器时,辅助气缸单元通过预设参考压力自动闭合,从而防止因用户不小心而损坏气体调节器的情况。该气体调节器使用活塞来代替传统的横隔膜,因而可以半永久地使用,并且几乎可以完全防止气体气体调节器泄漏。辅助气缸室和主气缸室的弹簧具有不同的弹性,因而响应高压气体的流入而将不同的力施加于辅助活塞和主活塞上,以便可以一起或独立操作辅助活塞和主活塞。
  • 气体调节器
  • [发明专利]气体调节-CN200480005775.2无效
  • 芭芭拉·哈佩;弗兰克·普施 - 莫蒂克马克斯特罗尔有限及两合公司
  • 2004-02-26 - 2006-04-05 - F23N5/10
  • 本发明的目的是提供一种气体调节阀,该阀除了可以启动气流的电点火之外,还允许手动点火。然而应该防止不希望的手动启动。覆盖元件(17)可替换地安装在气体调节部件的外壳(1)上,在第一位置覆盖挺杆(10,14),该挺杆用于启动热电点火安全阀(26)和主阀(19),同时覆盖压电点火元件的控制开关(13)。另外,控制开关(13)和挺杆(10,14)在该位置处以气体的点火可以由其手动启动进行的方式被释放。气体调节部件可以用于点火并控制流向燃烧器的气流。
  • 气体调节
  • [发明专利]气体流量调节装置及其调节方法-CN201610949047.1有效
  • 左涛涛;吴狄 - 中微半导体设备(上海)股份有限公司
  • 2016-10-26 - 2019-09-06 - H01J37/32
  • 一种气体流量调节装置及其调节方法,气体流量调节装置中的喷嘴包含螺纹连接的喷嘴主体和旋转螺钉,旋转螺钉上具有通气结构和贯穿气道,将旋转螺钉旋转进入喷嘴主体,直至使所有的贯穿气道都完全暴露在喷嘴主体之外,此时喷嘴处于完全开启状态,喷嘴的气体流量为最大值,将旋转螺钉旋转退出喷嘴主体,直至使所有的贯穿气道都完全被喷嘴主体遮挡,此时喷嘴处于完全关闭状态,喷嘴的气体流量为0。本发明改进了喷嘴的结构,使喷嘴具有气体流量调节功能,并且通过独立调节每个喷嘴的气体流量,实现对局部进气量的调节,从而补偿或调节刻蚀均匀性,获得了很好的效果。
  • 气体流量调节装置及其方法
  • [发明专利]一种气浴装置和光刻机-CN201910310384.X在审
  • 刘伟 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2019-04-17 - 2020-10-27 - G03F7/20
  • 所述气浴装置用于向所述运动件吹送气体,所述气浴装置包括供气单元、至少一个气体调节单元和控制单元,所述供气单元用于提供气体,所述气体调节单元用于吹送所述气体,且所述气体调节单元吹送所述气体的方向可调节,所述控制单元用于控制所述气体调节单元实时调节所述气体调节单元吹送所述气体的方向,以使所述气体调节单元吹送所述气体的方向随着运动件位置的变化而实时变化,从而使运动件能被气体调节单元吹送的气体实时覆盖,可在减少气体调节单元的面积的情况下使运动件能被气体调节单元吹送的气体实时覆盖,简化气浴装置的体积,且便于调节气体调节单元吹送气体方向,提高维护和调整效率。
  • 一种装置光刻
  • [发明专利]气体温度调节装置-CN201510472675.0在审
  • 冯留建 - 冯留建
  • 2015-08-04 - 2015-11-18 - F24F5/00
  • 本发明提供一种气体温度调节装置,包括密封的换气箱体,设置于所述换气箱体内的换热水箱,设置于所述换热水箱上的热源,设置于所述换气箱体外并与所述热源连接的控制装置;所述换气箱体内设置有气体容纳腔,所述换气箱体上还设置有与所述气体容纳腔连通的箱体进气口和箱体出气口;所述换热水箱设置于所述气体容纳腔内,且所述换热水箱外侧还围设有水箱换热器;所述换热水箱上还开设有水箱口,所述热源可拆卸地设置于所述水箱口处,且所述热源内侧设置有位于所述换热水箱中的水端散热器。能够通过简单的结构对局部区域的空气温度进行调节,能源消耗浪费少,结构简单制造和使用成本低。
  • 气体温度调节装置
  • [发明专利]气体压力调节-CN201410715664.6在审
  • 谢吉阳 - 重庆市明皓光学仪器有限公司
  • 2014-11-29 - 2015-03-11 - F17D1/02
  • 本发明公开了一种气体压力调节器,包括波纹管和伺服气缸,所述伺服气缸通过气管连接有球阀,所述波纹管的一端连接有喷管,所述波纹管的另一端连接球阀,所述球阀通过导管与喷管连通,所述喷管水平设置,且喷管的外侧水平设有闸板连杆和指针构成连杆机构,所述连杆连接有管簧,所述管簧连接发动机的气压调解室,所述伺服气缸内设有柱杆,伺服气缸的下方设有控制发动机气压调解室的进气量的闸阀,所述柱杆贯穿伺服气缸的底部连接闸阀,本发明在于解决现有发动机的气体压力调节
  • 气体压力调节器
  • [发明专利]气体压力调节-CN201310611524.X在审
  • 阿尼塔·彼得;恩斯特·万纳 - GOK控制器和配件有限责任公司
  • 2013-11-26 - 2015-04-15 - F16K17/38
  • 本发明涉及一种气体压力调节器(G),其中所述气体压力调节器的壳体(1)中具有用于将入口压力调节至110-150毫巴范围内的中压的第一压力调节级(D1),以及设置于所述第一压力调节级(D1)下游的用于将所述中压调节至30-55毫巴范围内的出口压力的第二压力调节级(D2)。为了在安全方面进行改进,根据本发明提出一种安全阀(14),它固定于位于第二压力调节级(D2)下游从壳体(1)延伸的出口装置(13),在恰当的正常位置使气体流通,并且在以相对于正常位置以大于35°倾斜角度
  • 气体压力调节器
  • [发明专利]管路气体流通调节装置-CN201510930119.3在审
  • 李方 - 李方
  • 2015-12-13 - 2016-03-02 - F02B37/18
  • 一种机械设计技术领域的管路气体流通调节装置,包括控制体、离心轴、离心腔、离心体、离心弹簧、圆弧板、松紧带、放气管、旋转板,离心腔、离心体、离心弹簧、圆弧板、松紧带均布置在控制体内,离心体的一端布置在离心腔内并通过离心弹簧与离心轴相连接当发动机转速较高时,旋转板逆时针旋转,放气管被隔断,压气机正常给发动机供气;当发动机转速较低时,旋转板顺时针旋转,有一部分气体从压气机前流到压气机后,压气机相对流量较大,没有喘振发生。
  • 管路气体流通调节装置

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