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- [发明专利]一种半导体器件的检测方法-CN201110029703.3有效
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李钢;张迎春
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上海宏力半导体制造有限公司
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2011-01-27
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2011-06-29
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G03F7/20
- 一种半导体器件检测方法，包括以下步骤：提供标准光掩膜，所述标准光掩膜包含有光刻信息；获取光刻信息中晶圆检测区的坐标信息；将坐标信息转化成SEM可读的SEM坐标信息；建立量测图形模板，所述量测图形模板包含标准检测区图形；将具有由标准光掩膜定义的图案化光刻胶层的晶圆依次放入SEM中，通过SEM坐标信息找出晶圆检测区；将晶圆检测区图形与量测图形模板的标准检测区图形进行比较；如果晶圆检测区图形与标准检测区图形一致，则检测位置正确；如晶圆检测区图形与标准检测区图形不一致，则检测位置有偏差。本发明的检测方法，可以极大地减少占用生产线上SEM机台的检测时间，并可以提高晶圆检测效率，有利于提高生产效率。
- 一种半导体器件检测方法
- [实用新型]一种空调商检房系统-CN202220852903.2有效
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张娣
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四川长虹空调有限公司
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2022-04-11
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2022-07-12
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G01M99/00
- 本发明提供了一种空调商检房系统，包括商检房，商检房内安装有调节空调、加湿器、传送装置、标准室内机、标准室外机、检测工装和操作台，调节空调用于调节商检房内的环境温度；加湿器用于调节商检房内的环境湿度；传送装置用于将待测机传送进商检房内；标准室内机和标准室外机用于与待测机连接以配合待测机正常运行；检测工装用于检测待测机在运行时的产品参数和环境参数；操作台用于控制调节空调、加湿器、传送装置、标准室内机、标准室外机和检测工装的运作以及显示检测工装的检测结果本发明能够在每次检测时将商检房的环境参数调整至标准环境，以规避环境引起的检测误差，使检测更精准。
- 一种空调商检系统
- [实用新型]电子吊钩秤检测装置-CN200620105121.3无效
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李苏明
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宁波市计量测试所
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2006-06-27
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2007-08-01
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G01G23/01
- 电子吊钩秤检测装置，包括支撑框架和提升装置，将一标准电子吊钩秤上端与一提升装置相连接，标准电子吊钩秤的下端连接一被检测电子吊钩秤，被检测电子吊钩秤的下端与支撑框架底平面相连接，标准电子吊钩秤和被检测电子吊钩秤串联在同一直线上上述装置的显著进步在于用串联直拉比较法代替标准砝码重量比较法，将标准电子吊钩秤用标准砝码在实验里标定好，将这个标准电子吊钩秤代替标准砝码，到现场如港口、码头对使用的电子吊钩秤进行检测，革除以往携带砝码去现场检测，既减轻劳动强度，提高检定效率，检测的精度和可靠性也进一步提高。
- 电子吊钩检测装置
- [发明专利]一种标准件尺寸检测设备及方法-CN202110094806.1在审
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杨柳坚
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深圳市华硕环保科技有限公司
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2021-04-29
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2021-06-22
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G01B5/00
- 本发明提供一种标准件尺寸检测设备及方法，涉及标准件尺寸检测技术领域，解决了不能够通过结构上的改进在插入标准件的同时联动实现标准件的长度检测以及同步实现标准件的弯曲矫正；不能够通过结构上的改进在实现标准件长度检测以及矫正的同时同步实现标准件上孔的检测的问题包括座体；所述座体内放置有标准件，且座体上安装有第一拨动结构，并且座体上安装有第一检测结构。因拨动块A前端面与滑动杆A头端接触，且拨动块A前端面为倾斜状结构，并且拨动块A组成了滑动杆A的挤压式驱动结构，从而当拨动块A挤压滑动杆A向下移动时，此时通过滑动杆A可实现标准件长度上的检测。
- 一种标准件尺寸检测设备方法
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