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- [实用新型]手动刻蚀装置-CN201120513854.1有效
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李剑江
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2011-12-09
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2012-08-01
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G03F1/72
- 本实用新型涉及一种手动刻蚀装置,用于修复掩膜版上的铬缺陷,包括光学显微镜、掩膜版放置基座和刻蚀液喷嘴;所述光学显微镜从上往下依次包括目镜、灯、镜头基座、光学镜头及光学显微镜基座,所述掩膜版放置基座位于光学镜头和光学显微镜基座之间,所述刻蚀液喷嘴位于光学显微镜一侧。本实用新型利用手动刻蚀装置中的光学显微镜来寻找确认缺陷的位置,用光学显微镜的白光来曝光以暴露出缺陷,再用手动刻蚀装置的刻蚀液喷嘴湿法刻蚀,修复缺陷,所述装置结构简单且能修复掩膜版上大面积的铬缺陷,节省大量的修复时间
- 手动刻蚀装置
- [实用新型]一种AI自动外观检测显微镜-CN202220996918.6有效
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王金玉;李俊;杜凯;熊亮
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李俊
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2022-04-26
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2022-12-23
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G02B21/24
- 本申请提供了一种AI自动外观检测显微镜,属于显微镜检测领域。该AI自动外观检测显微镜包括基座和移动机构,所述基座顶部设置有显微镜安装架,所述显微镜安装架上设置有显微镜镜头,所述显微镜镜头底部活动安装有环形灯,所述环形灯通过导线与外界供电设备连接,所述滑槽设置于所述基座顶部,所述滑槽内转动安装有螺杆,所述螺杆一端贯穿出所述基座且连接有把手,所述滑块滑动设置于所述滑槽且螺纹套接于所述螺杆,所述套接块活动安装于所述滑块顶部,所述放置板滑动设置于所述套接块顶部,所述套接块上设置有用于对所述放置板限位的所述紧固件,该AI自动外观检测显微镜便于调节移动放置板。
- 一种ai自动外观检测显微镜
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