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[发明专利]压力控制系统、压力控制方法及存储介质-CN202111654794.X在审
发明人：德永和弥 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明提供一种压力控制系统，对设置有流体阻力的封闭空间的收敛压力以设置在流体阻力的上游侧的上游侧阀边抑制过冲边高速地进行控制，压力控制系统(100)在构成封闭空间的流道(200)上设置有流体阻力(10d)，通过控制设置在流体阻力(10d)的上游侧的上游侧阀(10b)来控制封闭空间的压力，具备：收敛压力计算部(40)，使用流道(200)中的流体阻力(10d)的上游侧压力(P1)和下游侧压力(P2)的至少一方，计算将上游侧阀(10b)完全关闭的情况下的封闭空间的收敛压力(PCONV)；以及阀控制部(30)，对计算出的收敛压力(PCONV)与规定的目标收敛压力(PT_CONV)进行比较，根据其比较结果
压力控制系统控制方法存储介质

[发明专利]一种压力控制装置和压力控制方法-CN202211130244.2在审
发明人：李慧;牛沛泽;王磊 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力控制装置和方法。压力控制装置包括平衡阀，连通预载室以向预载室加压，其中预载室的第一端连接外部环境，而其第二端连接真空腔室，机械排气模块，连通预载室及外部环境，其中机械排气模块的触发气压为目标气压，目标气压大于外部环境气压，其中，压力控制装置被配置为：获取开启预载室的开启请求；根据开启请求开启平衡阀，以向预载室加压；监测机械排气模块是否被触发；响应于机械排气模块被触发的监测结果，关闭平衡阀；以及将预载室连通外部环境，以开放获取晶圆的入口本发明不仅能避免在将晶圆送入预载室过程中外部尘粒进入预载室，影响半导体成品效果，而且还能取消对测压计的需求，从而降低装置成本并简化控制逻辑。
一种压力控制装置方法

[发明专利]腔体智能压力控制系统及其压力控制方法-CN201410138285.5有效
发明人：顾海龙;裴雷洪;严骏 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-04-08 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：一种腔体智能压力控制系统，包括腔体，为工艺制程腔室；氮气进气管路，通过第一阀门与腔体连接；排气管路，一端与腔体连接，另一端与外界排气阀门连接；压力传感器，设置在排气管路之临近外界排气阀门的一端，并用于检测外界排气阀门之排气压力；智能调节阀，设置在所述排气管路之介于腔体和压力传感器之间的过压管路段处；控制单元，接收来自压力传感器的压力检测信号，并控制智能调压阀之开度，以在设定时间范围内获得腔体的压力为760Torr。本发明通过在排气管路之临近外界排气阀门处设置压力传感器，并在排气管路之过压管路段处设置由控制单元控制的智能调压阀，使得腔体构成压力的闭环控制系统，进而可快速、精确的控制腔体之压力。
智能压力控制系统及其控制方法

[发明专利]压力振动控制装置、终端及压力振动控制方法-CN201711138518.1有效
发明人：谢仁贵 -专利权人：珠海市魅族科技有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明提出了一种压力振动控制装置、具有压力振动控制功能的终端及压力振动控制方法，其中压力振动控制装置包括：触控集成装置，触控集成装置分别与指纹传感器及压力传感器相连接；马达驱动装置，马达驱动装置分别与触控集成装置及马达相连接；其中，指纹传感器用于采集指纹数据及接收接触信号，并将接触信号传输至触控集成装置；压力传感器用于采集压力数据，并将压力数据传输至触控集成装置；触控集成装置用于获取接触信号及压力数据，并在判断压力数据满足预设条件时向马达驱动装置发送控制信号；马达驱动装置用于根据控制信号驱动马达振动。
压力振动控制装置终端方法

[发明专利]一种压力控制装置及压力控制方法-CN202110719959.0有效
发明人：孙莉莉;张文斌;徐品烈;赵祥;张彩山 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B51/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种压力控制装置及压力控制方法，该装置包括：所述控制器将驱动信号发送到所述驱动机构；所述驱动机构基于所述驱动信号为所述传动机构提供在垂直方向上的驱动力，使得所述传动机构在垂直方向上移动；所述传动机构连接到所述浮动机构，将所述驱动机构提供的驱动力传递到所述浮动机构，使得所述浮动机构在垂直方向上向待加工件施加压力；所述压力传感器测量向所述待加工件施加的实际压力值，并将测量得到的实际压力值发送到所述控制器；所述控制器确定所述传动机构的移动位移，并基于所述移动位移和所述实际压力值控制所述驱动机构动作。通过上述压力控制装置及压力控制方法，能够有效保证加工过程中施加在晶片上的压力的精确性。
一种压力控制装置方法

[发明专利]真空容器的压力控制方法及压力控制装置-CN200880112627.9有效
发明人：斋藤英树;佐伯敏朗 -专利权人：日立造船株式会社
申请日： 2008-11-19 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明提供一种真空处理装置的真空容器的压力控制方法，真空处理装置具有设置在真空容器的气体排出管的真空阀、测量真空容器内压力的压力计以及检测真空阀的阀开度的开度检测器，其中，基于根据真空阀的实际阀开度求出的推测排出气体量和在上次运算周期求出的推测流入气体量间的气体流量差，通过计算求出虚拟真空容器中的压力，基于该求出的计算压力与压力计测量的实际的真空容器的测量压力之差求出当前的推测流入气体量，在该推测流入气体量上加上基于作为目标的设定压力与测量压力间的压力偏差得到的校正气体量，求出设定排出气体量，并控制真空阀的阀开度以成为该设定排出气体量。
真空容器压力控制方法装置

[发明专利]压力控制装置、表面安装机及压力控制方法-CN201380074049.5有效
发明人：荒井智康 -专利权人：雅马哈发动机株式会社
申请日： 2013-06-28 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：在大范围内稳定地控制向吸嘴供给的气体的压力。连接；切换阀(34)，选择性地对第一连接状态和第二连接状态进行切换，该第一连接状态是将第一正压供给通路与吸嘴连接通路连接的连接状态，该第二连接状态是将第二正压供给通路与吸嘴连接通路连接的连接状态；及阀控制部，对切换阀(34)的连接状态进行控制，而在从第一正压到第二正压的范围内对供给到吸嘴的气体的压力进行调整。
压力控制装置表面装机方法

[发明专利]压力调节装置及压力控制方法-CN202310305292.9在审
发明人：余鹏;谢宏;汤寿泉;李敏虹;汪桢子;李重杭;王哲;李健伟;黄楷敏;程琪 -专利权人：深圳供电局有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F17D3/01 文献下载
摘要：本申请涉及一种压力调节装置，包括稳压罐、升压组件和降压组件，稳压罐包括用于容纳液态氮的液态腔和用于容纳气态氮的气态腔，液态腔和气态腔沿稳压罐的重力方向彼此连通，升压组件位于稳压罐外，且包括连通液态腔和气态腔之间的连通管排气管的一端连通于气态腔，另一端连通于泄压调节阀，本申请通过加热器对连通管内的液氮进行加热，使其气化为气态氮并充入气态腔以实现稳压罐的升压，或通过排气管和泄压调节阀将气态氮排出以实现稳压罐的降压，能够方便可靠地对稳压罐内的压力进行控制，从而为液氮循环系统提供一个稳定可靠的运行压力，提高了整个系统的稳定性和可靠性。
压力调节装置控制方法

[发明专利]压力控制装置和压力利用装置-CN201880035346.1有效
发明人：田中伸拓;冈口健二朗 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-05-21 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： F04B49/24 文献下载
摘要：压力控制装置(10)具备泵(21)、连结管(30)、第1阀(41)和第2阀(42)。泵(21)具有吸入口(211)与排出口(212)。
压力控制装置利用

[发明专利]电压力锅压力控制装置-CN200910095619.4无效
发明人：任富佳;杨兵;阮华平 -专利权人：杭州老板电器股份有限公司
申请日： 2009-01-12 - 公布日： 2009-06-24 - 主分类号： A47J27/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种电压力锅压力控制装置，主要包括锅盖、内锅、外锅、发热板和传感器，锅盖盖与外锅上，内锅处于外锅内，发热板处于内锅与外锅之间，与内锅底部相接触，发热板上设有传感器，与内锅相接触，锅盖上设有腔体本发明有益的效果是：使用本发明的电压力锅，直接控制锅内压力，与温度传感器的误差无关、与内锅和发热元件之间的接触状况无关。压力控制准确，不会造成压力过低而煮不熟饭，不会因压力过高而发生危险事故。使用本发明的电压力锅性能稳定，安全可靠，成本低、压力准确。
压力锅压力控制装置

[实用新型]压力检测装置以及压力控制开关-CN201821015634.4有效
发明人：雷君君;孙邦雨;张望坤 -专利权人：艾欧史密斯（中国）热水器有限公司;艾欧史密斯（中国）环境电器有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： H01H35/38 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种压力检测装置以及压力控制开关，压力检测装置包括供流体流经的流道，触发机构以及设置有一对的导电线路的电路板，所述触发机构具有相背对的两个侧面，两个所述侧面分别与所述电路板和所述流道对应本申请实施例中的压力检测装置以及压力控制开关相较于现有技术采用了较少的零部件，由此结构简单，成本低、安装容易，体积较小。
压力检测装置流道压力控制开关电路板触发机构导电线路技术采用流体作用侧面形变流体相背连通申请零部件隔离

[实用新型]电压力锅压力控制装置-CN200520117425.7无效
发明人：钱安国 -专利权人：唐春德
申请日： 2005-12-21 - 公布日： 2007-02-14 - 主分类号： A47J27/08 文献下载
摘要：一种电压力锅压力控制装置，包括固定连接在锅盖上平面的支撑架，支撑架上固定连接一带有开关簧片及其一对动作触点的闪动开关，锅盖上平面位于支撑架的一侧固定连接一带有环形台阶的基座，基座的环形台阶上设置有密封圈，密封圈上方固定连接一弹性变形薄片及带有中心孔的压紧片；压紧片的中心孔中放置一可自由上下窜动的接触传动杆，它的一端与闪动开关的开关簧片相接触，另一端与弹性变形薄片相接触；当电压力锅开始加热并沸腾产生蒸汽的压力时，弹性变形薄片向上膨胀变形并通过接触传动杆推动闪动开关，切断加热电路；蒸汽压力降低使闪动开关复位，从而实现自动控制锅内蒸汽压力的目的；本实用新型的优点是体结构简单又紧凑、自动控制动作灵敏、使用与维修方便
压力锅压力控制装置

[发明专利]优化压力钻井的井筒压力控制-CN201180069764.0有效
发明人： C·J·伯纳迪 -专利权人：哈里伯顿能源服务公司
申请日： 2011-04-08 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： E21B21/08 文献下载
摘要：一种井系统可包括与井筒连通的蓄能器，由此，蓄能器将压力施加到井筒。一种在井筒内维持要求的压力的方法可包括所述蓄能器响应于井筒中比要求的压力低的压力，将压力施加到井筒。另一种井系统可包括与井筒连通的阻尼器，该井筒与大气隔绝，由此，阻尼器减缓井筒内的压力峰值。
优化压力钻井井筒控制

[发明专利]可精确控制压力的电压力锅及其压力控制方法及控制系统-CN201210582052.5有效
发明人：龚盛鹏;肖斌;李中林;王长生;齐云秋;朱彩莲;杨洋 -专利权人：广东洛贝电子科技有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： A47J27/08 文献下载
摘要：本申请涉及电压力锅技术领域，特别涉及可精确控制压力的电压力锅及其压力控制方法及控制系统，结构上通过在锅盖的内盖上设置由限位件、传力杆和称重传感器组成的压力检测装置，电压力锅内部的压力推动传力杆，使传力杆对称重传感器产生压力，称重传感器实时获取该压力值并将该压力值传送至主控制单元，主控制单元根据该压力值即可计算得到此时锅内的压强值并据此实现对电压力锅的精确压力控制；在控制方法上本申请采用在主控制单元内采用一定算法对检测装置的误差进行偏差校正，保证了检测结果的准确性，与现有技术相比，本申请有效地提高了检测结果和压力调节的精确度，同时结构简单，易于实现，提高电压力锅的安全性和可靠性。
精确控制压力压力锅及其方法控制系统

[发明专利]压力控制机构、电压力锅和电压力锅控制电路-CN201510191979.X有效
发明人：柏长升;李云;徐余良;张伶俐 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2015-04-21 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： A47J27/08 文献下载
摘要：本发明公开一种压力控制机构、电压力锅和电压力锅控制电路。该压力控制机构包括阀体，阀体的第一侧设置有引入气源的通气口(4)；浮杆(2)，设置在阀体的通气口(4)处，并与阀体之间形成滑动密封配合结构，浮杆(2)的受力端连接至气源；触发式开关(3)，触发式开关(3)的触发器设置在浮杆(2)的远离通气口(4)一端的滑动路径上，触发式开关(3)在高压控制状态时断开电源，在低压控制状态时连通电源。根据本发明的压力控制机构，能够解决现有技术中压力控制机构的压力控制功能单一、可选择性差的问题。
压力控制机构压力锅控制电路