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- [发明专利]真空泵-CN202180067993.2在审
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铃木春树
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埃地沃兹日本有限公司
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2021-10-29
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2023-07-11
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F04D19/04
- 真空泵具备在旋转圆板(220a~220c)和固定圆板(219a、219b)的至少某一者设置有西格巴恩漩涡状槽部(262)的西格巴恩型排气机构部(201)、在旋转体(103)的圆筒部(102d)和带螺纹的间隔件(131)的至少某一者设置有螺纹槽(131a)的霍尔威克型排气机构部(301),霍尔威克型排气机构部(301)配置于西格巴恩型排气机构部(201)的下游侧,前述真空泵的特征在于,霍尔威克型排气机构部(301)的流路深度以既定深度(H2)连续地恒定,且西格巴恩型排气机构部(201)具有从既定的位置以既定深度(H2)连续地恒定的区域。
- 真空泵
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