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- [发明专利]多频天线-CN201711175799.8在审
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杜光东
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深圳市盛路物联通讯技术有限公司
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2017-11-22
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2018-04-27
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H01Q1/36
- 一种多频天线，包括馈入部、分别与所述馈入部连接的第一辐射单元和第二辐射单元、分别设置在所述第一辐射单元和第二辐射单元一侧的第一共振单元和第二共振单元，所述第一共振单元和所述第二共振单元分别接地，所述第一共振单元与所述第一辐射单元具有第一耦合间距，所述第二辐射单元与所述第二共振单元具有第二耦合间距，天线信号自所述馈入部进入，分别沿所述第一辐射单元、第二辐射单元、第一共振单元和第二共振单元获得不同长度的传播路径，以产生不同的信号，使得该多频天线具有多个工作频带
- 天线
- [发明专利]静电托盘及基座-CN202111419897.8在审
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戎艳天
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2021-11-26
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2022-03-04
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H01L21/683
- 本发明提供一种静电托盘及基座，其中，静电托盘包括托盘本体、电压馈入部件、定位部件和多个吸附部件，定位部件设置在托盘本体上，并开设有多个定位通孔，多个定位通孔在定位部件上间隔设置，多个吸附部件一一对应设置于多个定位通孔中；每个吸附部件均包括由下至上依次远离托盘本体的绝缘层、电极层和介电层；电压馈入部件设置在吸附部件与托盘本体之间，并与多个吸附部件中的电极层电连接，电压馈入部件用于向每个吸附部件的电极层馈入直流电压，以通过多个吸附部件一一对应的吸附多个晶圆本发明提供的静电托盘及基座能够降低多片静电托盘的加工难度及成本，使多片静电托盘的加工成为可能，并能够提高射频耦合效率，提高半导体工艺效率。
- 静电托盘基座
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