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- [发明专利]一种新型扭摆腔单频脉冲激光器-CN201710930868.5在审
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丛振华;刘兆军;谢永耀;饶瀚;张行愚
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山东大学
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2017-10-09
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2018-01-19
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H01S3/10
- 本发明涉及一种新型扭摆腔单频脉冲激光器，包括泵浦源；耦合系统；激光谐振腔；扭摆腔1/4波片、电光晶体、起偏器，在1/4波片与电光晶体之间形成两束反向传播的正交圆偏振光；激光增益介质，正交圆偏振光在其中形成沿通光方向空间分布均匀的光场；起偏器，经过其后变为线偏振光；1/4波片、电光晶体、起偏器结合使用构成电光调Q开关，对腔内激光进行调Q；上述器件最终构成扭摆腔电光调Q的全固态激光器结构，实现窄线宽单频脉冲激光输出；1/4波片、电光晶体与起偏器构成扭摆腔，消除空间烧孔，抑制多模振荡，实现窄线宽单频脉冲激光输出，本发明电光晶体同时具有脉冲调Q与1/4波片的作用，结构紧凑、输出效率高、适用范围广。
- 一种新型扭摆腔单频脉冲激光器
- [实用新型]晶圆研磨液管路式超音波震匀设备-CN201320797191.X有效
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吴濬宇;曾义能
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宸沅国际股份有限公司
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2013-12-03
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2014-07-23
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B01F11/02
- 一种晶圆研磨液管路式超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为由至少一槽管体层竖设包围的封闭筒件，而封闭筒件内部中央的槽管体为上端横伸出出液管下端横伸出入液管，且管底端封闭的竖直震匀槽管，使入液管由下端通入竖直震匀槽管内空间，而出液管由上端通入竖直震匀槽管内空间，使晶圆研磨原液加水经入液管进入竖直震匀槽管内空间，竖直震匀槽管顶端管口架框套塞一单频超音波震荡头，且使单频超音波震荡头发震端固接一传导棒本实用新型比现有叶片搅匀晶圆研磨液设备，能更震散细粒相溶混合、提高混匀质量，且能更快更节省混匀预定晶圆研磨稀释液时间。
- 研磨管路超音波设备
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