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- [发明专利]表面形状测定机及表面形状测定方法-CN202080080859.1有效
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关本伦裕
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株式会社东京精密
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2020-11-05
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2023-04-25
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G01B5/20
- 本发明提供能够抑制在旋转工作台设置分度工作台来测定工件的表面形状时的测定精度的降低的表面形状测定机及表面形状测定方法。表面形状测定机具备:旋转工作台,其载置工件,并以旋转中心为中心旋转自如;以及检测器,其具有与载置于旋转工作台的工件接触的测头,并检测测头的位移,旋转工作台具有用于调节工件的中心与旋转中心的定心机构,表面形状测定机具备装卸自如地设置于旋转工作台之上的分度工作台,分度工作台构成为能够沿着与旋转中心正交的第一轴以及第二轴进行分度进给,表面形状测定机具备将伴随着分度工作台的分度进给产生的偏心载荷抵消的偏心载荷抵消单元。
- 表面形状测定方法
- [发明专利]表面形状测量装置-CN200610126498.1有效
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松宫贞行;伊贺崎史朗;山县正意
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株式会社三丰
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2006-09-01
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2007-03-07
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G01B21/00
- 本发明提供一种表面形状测量装置,包括:测量部(210),由具有检测作用于接触部(212)的测量力的测量力检测电路(219)的振荡式接触探头构成;移动单元(三维驱动机构(300)、上下驱动机构(220)),使测量部(210)相对于被测量物表面(S)进行移动;以及驱动控制部(400),根据从测量力检测电路(219)输出的测量力的大小控制移动单元。驱动控制部(400),包括:仿形测量控制部(410),使接触部沿着被测量物表面(S)进行仿形移动,使得测量力成为仿形指定测量力;和触碰测量控制部(420),连续地进行触碰测量被测量物表面(S)的动作,以使接触部(212)以触碰检测测量力断续地接触被测量物表面(S)。
- 表面形状测量装置
- [实用新型]表面形状测量系统-CN99257603.2无效
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邱大明
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北京中联发机电技术有限责任公司
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1999-12-22
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2001-01-10
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G01N21/45
- 本实用新型属于光学测量领域,特别涉及物体表面形状测量系统。本实用新型由投影云纹干涉仪、载物台及计算机图像处理系统三部分组成,全部安装在一个工作台面上。测量时,将被测物体安装在载物台,利用云纹干涉技术获取表面型面特征信息,由摄像机接收并由计算机将信息处理以形成物体表面各点X、Y、Z坐标,全部测量在1—5分钟完成。本实用新型测量系统具有非接触、快捷和全场测量的优点,特别适用于机器制造领域的叶片制造业及其他高科技制造领域的物体表面形状测量。
- 表面形状测量系统
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