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- [发明专利]光罩、光罩制作方法及使用该光罩的图案形成方法-CN03122598.5无效
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三坂章夫
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松下电器产业株式会社
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2003-04-30
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2003-11-12
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G03F1/08
- 本发明公开了一种光罩、光罩制作方法及使用该光罩的图案形成方法,其目的在于:同时将孤立沟槽图案与孤立线图案或者孤立沟槽图案与密集图案微细化。光罩包括形成在透光性基板(10)上的对曝光光具有遮光性的低透光率移相器(半遮光部)、由低透光率移相器包围起来且对曝光光具有透光性的高透光率移相器(透光部)、及设在高透光率移相器附近的开口部(周边部)。低透光率移相器及高透光率移相器让曝光光在同相位下透过;开口部让曝光光在以低透光率移相器及高透光率移相器为基准的反相位下透过。在低透光率移相器形成区域的透光性基板(10)上,形成有具有让曝光光部分地透过的透光率且让曝光光在以周边部为基准的反相位下透过的移相膜(11)。
- 制作方法使用图案形成方法
- [发明专利]一种α-BBO偏振棱镜-CN201010601239.6有效
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朱一村;郑熠;邓雷磊;吴少凡
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福建福晶科技股份有限公司
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2010-12-23
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2011-06-15
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G02B5/30
- 本发明涉及一种α-BBO偏振棱镜,选材时特别挑选真空紫外到远红外透过率最高的晶体材料-LiF晶体;紫外到近红外的制作偏振棱镜最好的晶体材料-α-BBO晶体;折射率非常低的-LiF晶体。设计时候采用了两个α-BBO晶体棱镜和一片LiF窗品光胶连接组成的长方体汉堡结构,光路完全无胶,透过率高,两个α-BBO晶体棱镜的顶角为57.8°±0.2°,所述的α-BBO偏振棱镜光轴与o光溢出面垂直,保证o光全部从侧面溢出设计,体积很小,波长覆盖范围在0.19-3.5μm,在整个波长范围内,o光和e光总的入射角度大于11°,消光比好<5×10-6,透过率高。
- 一种bbo偏振棱镜
- [发明专利]玻璃光谱内透过率测量方法-CN201711238029.3在审
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吴志强;周佺佺;刘珍;张晓刚;吴德林
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成都光明光电股份有限公司
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2017-11-30
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2018-05-18
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G01N21/59
- 本发明属于玻璃测试技术领域,具体公开了一种玻璃光谱内透过率测量方法,旨在解决如何降低测量误差使测量值更接近真实值的问题。该玻璃光谱内透过率测量方法,包括取样步骤、分光步骤和测量步骤,测量步骤:基线测量时通过在测试光路和参考光路中分别放置一块厚度相等的薄样品进行零点和100%点校正,光谱透过率测量时通过厚样品替换测试光路中的薄样品测量通过该方法进行测量,能够使得参考光路作基线时及测量时投射在探测器位置上的斑点大小及位置不发生改变,而测试光路中的薄样品被厚样品替换后测试光路投射在探测器上的斑点大小及位置的变化极小,基本消除了样品架放置位置不理想引起的误差,测得的玻璃光谱内透过率更接近真实值。
- 玻璃光谱透过测量方法
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