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- [发明专利]基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法-CN200610053379.8无效
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陈本永;钟挺;孙政荣;张丽琼;杨涛
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浙江理工大学
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2006-09-13
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2007-03-07
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G02F1/09
- 本发明公开了一种基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法。一束振动方向垂直于纸面的线偏振光经过能够旋光45°的法拉第旋光器,其偏振方向改变45°,入射至偏振分光镜,经偏振分光镜和1/4波晶片至装在被测物体上的测量平面镜,再反射至角锥棱镜后,利用角锥棱镜的逆反射特性,平行出射返回至原测量平面镜,经测量平面镜反射后再次透过1/4波晶片,由偏振分光镜反射后垂直入射到参考平面镜,由于光路的可逆和器件的偏振特性,垂直入射到参考平面镜的激光将按原路返回,最后经法拉第旋光器透射后成为振动方向平行于纸面的线偏振光,实现了光路的原路返回。可应用于光路原路返回的测量仪器。本发明适用于纳米、微光机电、集成电路芯片制造和生物技术等测量领域。
- 基于法拉第效应入射光原路返回方法
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