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[发明专利]电润湿装置中的液滴界面-CN201980034033.9有效
发明人：马修·霍顿;肯·希利 -专利权人：牛津纳米孔科技公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：在包括致动电极阵列的电润湿装置中，在液滴之间形成液滴界面。将致动信号施加到所选致动电极，以将所述液滴放置成处于激励状态并且使两个液滴接近，在所述激励状态下，所述液滴的形状相比于处于较低能量状态下的所述液滴的形状有所修改。然后改变所述致动信号，以将所述液滴的能量降低到所述较低能量状态，使得所述液滴松弛到间隙中，并且所述两个液滴彼此接触，由此形成液滴界面。感测电极在所述装置中的使用允许跨所述液滴界面进行电流测量。所述感测电极可以用于(i)在液滴致动期间施加参考信号或(ii)记录电流测量。两个或更多个电极可配置成对定位在所述电极之上的液滴内的细胞进行裂解。
润湿装置中的界面

[发明专利]用于光刻设备的液滴发生器、EUV源和光刻设备-CN201680079694.X有效
发明人： J·F·迪杰克斯曼;B·L·W·M·范德文;K·G·温克尔斯;T·W·德赖森;G·O·瓦申科;P·M·鲍姆加特;W·H·T·M·安格南特;J·O·纽文坎普;W·R·坎平加;J·劳特萨莱南 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2016-12-15 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：液滴发生器，诸如在EUV辐射源中使用，以及相关的EUV辐射源和光刻设备。液滴发生器可以包括用于发射燃料作为液滴的喷嘴组件，喷嘴组件处于与液滴发生器内的燃料压力基本上相同的压力下的加压环境内。液滴发生器可以包括致动器，致动器与泵室接触并且借助于偏置机构抵靠泵室被偏置，偏置机构具有抵靠致动器被偏置的致动器支撑件。致动器作用于泵室内的燃料以产生液滴。致动器支撑件具有与其周围结构相比具有更大的热膨胀系数的材料，使得其在环境温度下在周围结构内可移动，但是在操作温度下抵靠周围结构膨胀，以便在操作温度下将致动器支撑件抵靠周围结构夹紧。
用于光刻设备发生器 euv

[发明专利]用于减少气泡形成的技术和液滴致动器设计-CN201380045278.4有效
发明人：西里尔·德拉特;阿尔诺·里瓦尔;维吉·斯里尼瓦桑 -专利权人：先进流体逻辑公司
申请日： 2013-06-27 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： G01N1/00 文献下载
摘要：在液滴致动器中液滴操作期间，气泡经常形成在液滴操作间隙中的填充物流体中并且中断液滴操作。本发明提供了用于在液滴致动器中的液滴上执行液滴操作的方法和系统，包括在液滴操作间隙中的液滴上进行多次液滴操作的同时在液滴和电气接地之间维持大体上持续的接触和/或在多次液滴操作期间，减少在液滴操作间隙中的电荷的积累该方法和系统减少或消除了在液滴操作间隙中的填充物流体中的气泡形成，从而允许在不被液滴操作间隙中的填充物流体中的气泡形成中断的情况下，完成多次液滴操作。
用于减少气泡形成技术液滴致动器设计

[发明专利]电润湿装置中的液滴界面-CN201880081783.7在审
发明人：马修·霍尔顿;詹姆斯·怀特;安德鲁·约翰·赫伦;詹姆斯·安东尼·克拉克;詹森·罗伯特·海德;本杰明·詹姆斯·哈德温;莎莉·安德森 -专利权人：牛津纳米孔技术公司;夏普生命科学（欧洲）有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：在包括致动电极阵列的电润湿装置中的液滴之间形成液滴界面。将致动信号施加到选定的致动电极，以使液滴置于通电状态，在所述通电状态中，与处于较低能量状态的液滴的形状相比，液滴的形状发生改变，并且使所述两个液滴靠近。然后改变致动信号以将液滴的能量降低到较低能量状态，使得液滴松弛到间隙中并且两个液滴彼此接触，从而形成液滴界面。在装置中使用感测电极允许测量液滴界面上的电流。感测电极可用于(i)在液滴致动期间施加参考信号，或(ii)记录电流测量。
润湿装置中的界面

[发明专利]电润湿装置中的液滴界面-CN202211438669.X在审
发明人：马修·霍尔顿;詹姆斯·怀特;安德鲁·约翰·赫伦;詹姆斯·安东尼·克拉克;詹森·罗伯特·海德;本杰明·詹姆斯·哈德温;莎莉·安德森 -专利权人：牛津纳米孔科技公开有限公司;夏普生命科学（欧洲）有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01N27/416 文献下载
摘要：在包括致动电极阵列的电润湿装置中的液滴之间形成液滴界面。将致动信号施加到选定的致动电极，以使液滴置于通电状态，在所述通电状态中，与处于较低能量状态的液滴的形状相比，液滴的形状发生改变，并且使所述两个液滴靠近。然后改变致动信号以将液滴的能量降低到较低能量状态，使得液滴松弛到间隙中并且两个液滴彼此接触，从而形成液滴界面。在装置中使用感测电极允许测量液滴界面上的电流。感测电极可用于(i)在液滴致动期间施加参考信号，或(ii)记录电流测量。
润湿装置中的界面

[发明专利]液滴分配-CN201880044289.3有效
发明人： J·O·福利;D·西格尔;C·德拉特雷 -专利权人：伊鲁米纳公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： B41J2/16 文献下载
摘要：一种系统，包括：液滴致动器，其具有在顶部和底部基板之间的液滴操作间隙；(多个)储存器，在液滴致动器外部并且耦合至液滴致动器；该(多个)储存器针对大体积流体而被设置尺寸；以及(多个)压力源，其在液滴致动器外部并且被耦合到至少一个储存器该系统的操作包括：用(多个)大体积的流体填充储存器，作为执行(多个)液滴操作的一部分，使用(多个)压力源将(多个)流体的(多个)液滴分配到液滴操作间隙。(多个)液滴的移动可以通过激活液滴致动器来实现。
分配

[发明专利]液滴喷射器组件结构和方法-CN202180035106.3在审
发明人： G·J·麦卡沃伊 -专利权人： 3C项目技术有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种用于打印头的液滴喷射器组件，包括基板，基板包括CMOS控制电路；多个层，该多个层在所述基板的所述第一表面上；流体腔室，流体腔室具有液滴喷射出口；以及压电致动器元件，压电致动器元件由一个或多个所述层形成并且包括与压电体接触的第一电极和第二电极压电致动器元件限定流体腔室的部分。至少一个所述电极电连接到所述CMOS控制电路。液滴喷射器包括流体腔室，流体腔室具有液滴喷射出口。压电致动器元件与液滴喷射出口间隔开，并且压电体由在低于450℃的温度下可加工的一种或多种压电材料形成。因此，CMOS控制电路与液滴喷射器组件集成。CMOS控制电路可以接收模拟致动器喷射脉冲和串行数字控制信号，并使用串行数字控制脉冲来确定哪些压电致动器元件连接到各个致动器喷射脉冲并由其驱动。
喷射器组件结构方法

[发明专利]液滴喷出头、液滴喷出装置以及液滴喷出控制方法-CN201910886999.7在审
发明人：须贝圭吾 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-09-19 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：一种液滴喷出头、液滴喷出装置以及液滴喷出控制方法，能够控制液室内急剧减压，减少液室内气泡产生。在将振动板以使液室的容积缩小的方式位移的方向设为第一方向、将振动板以使液室的容积增大的方式位移的方向设为第二方向时，在致动器的前端部与振动板接触而致动器向第一方向按压振动板的初始状态下，液滴喷出头基于来自控制部的驱动信号，通过在致动器的前端部与振动板接触的状态下使振动板在第二方向上位移，来将喷嘴内的弯液面引入至比初始状态的喷嘴内的弯液面更靠近液室一侧，接着，致动器的前端部从振动板分离，使振动板进一步在第二方向上位移，接着，通过致动器的前端部与振动板碰撞，使振动板在第一方向上位移，从而使液体从喷嘴喷出。
喷出装置以及控制方法

[发明专利]多喷嘴液滴喷出头、包含此喷出头的写入设备以及其喷出液滴的方法-CN200580051582.5无效
发明人：艾伦·罗森维吉;肯特·瑞夫;可林·柏克斯;安迪·希尔斯 -专利权人： BIC公司
申请日： 2005-09-14 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： B41J3/36 文献下载
摘要：一种液滴喷出头，被设计为安装在液滴喷出设备中。此液滴喷出头包含致动箱，每个致动箱具有至少一个进水口，以与贮液器相连以将液体提供给致动箱；致动装置，当此致动装置被接收自控制组件的能量致动时，此致动装置在液体中产生脉冲波；以及与喷嘴相连的出水部。喷嘴经排列使得喷出的液滴在距离液滴喷出头特定长度的一点处结合。
喷嘴喷出包含写入设备及其方法

[发明专利]液滴致动器配置以及引导液滴操作的方法-CN201310415655.0有效
发明人：维杰·斯里尼瓦桑;迈克尔·波拉克;万希·帕穆拉;华智山;阿尔琼·苏达山;菲利普·派克 -专利权人：先进液体逻辑公司
申请日： 2008-12-23 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： B41J2/06 文献下载
摘要：一种具有与液滴操作表面相关联的液滴形成电极配置的液滴致动器，其中，电极配置包括被配置为在液滴操作表面上形成子液滴期间控制液滴体积的一个或多个电极。还提供了制造和使用液滴致动器的方法。
液滴致动器配置以及引导操作方法

[发明专利]液滴致动器配置以及引导液滴操作的方法-CN200880127254.2有效
发明人：维杰·斯里尼瓦桑;迈克尔·波拉克;万希·帕穆拉;华智山;阿尔琼·苏达山;菲利普·派克 -专利权人：先进液体逻辑公司
申请日： 2008-12-23 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： B41J2/06 文献下载
摘要：一种具有与液滴操作表面相关联的液滴形成电极配置的液滴致动器，其中，电极配置包括被配置为在液滴操作表面上形成子液滴期间控制液滴体积的一个或多个电极。还提供了制造和使用液滴致动器的方法。
液滴致动器配置以及引导操作方法

[发明专利]使用作为流体输入的接通致动器储液器来提高液滴计量的准确度和精度的方法-CN202010862553.3有效
发明人：义贞·B·李;维吉·斯里尼瓦桑 -专利权人：先进流体逻辑公司
申请日： 2014-08-13 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B05B5/025 文献下载
摘要：本发明涉及使用作为流体输入的接通致动器储液器来提高液滴计量的准确度和精度的方法。在一些实施例中，用于计量液滴的接通致动器储液器包括加载端口、液体储存区、液滴计量区和液滴分发区。接通致动器储液器被设计为防止液体回流到加载端口中和防止液体涌入分发区中的液滴操作间隙中。
使用作为流体输入接通致动器储液器来提高计量准确度精度方法

[发明专利]具有间歇致动模式的AM-EWOD设备和控制方法-CN201810292716.1在审
发明人： L·思温·黄;提姆·波义耳 -专利权人：夏普生命科学（欧洲）有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有间歇致动模式的AM‑EWOD设备和控制方法。微流体系统包括介质上电润湿EWOD设备和控制系统，其控制施加到EWOD设备的元件阵列的致动电压以针对流体液滴执行操纵操作。所述控制系统将致动电压序列施加到与液滴相关联的阵列元件的部分，以将液滴维持在对应于预定液滴性质的期望液滴状态中。致动电压序列包括与液滴相关联的阵列元件的部分被致动的致动开启时段以及与液滴相关联的阵列元件的部分未被致动的致动关闭时段，并且致动关闭时段不为零。控制系统可以施加包括预定占空比的致动电压序列，和/或致动电压可以根据基于传感器的干预来施加。
致动电压序列控制系统阵列元件液滴相施加关联液滴微流体系统预定占空比润湿流体液滴液滴状态元件阵列传感器上电干预期望

[发明专利]使用作为流体输入的接通致动器储液器来提高液滴计量的准确度和精度的方法-CN201480041006.1有效
发明人：义贞·B·李;维吉·斯里尼瓦桑 -专利权人：先进流体逻辑公司
申请日： 2014-08-13 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： G01F23/22 文献下载
摘要：本发明涉及使用作为流体输入的至少一个接通致动器储液器来提高液滴计量的准确度的方法。在一些实施例中，用于计量液滴的接通致动器储液器包括加载端口、液体储存区、液滴计量区和液滴分发区。接通致动器储液器被设计为防止液体回流到加载端口中和防止液体涌入分发区中的液滴操作间隙中。
使用作为流体输入接通致动器储液器来提高计量准确度精度方法

[发明专利]控制液滴流中的液滴的聚结的装置和方法-CN201980008103.3在审
发明人： J·M·卢肯斯;B·罗林格;P·贝亚吉 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-01-03 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：提供了一种用于控制被用于生成EUV辐射的液滴(102a，b)的形成的装置和方法，该装置和方法包括产生指向照射区域的激光束的部件和液滴源。液滴源(92)包括离开喷嘴(98)的流体和具有电致动元件(104)的子系统，该电致动元件(104)在流体(96)中产生干扰。液滴源产生流(100)，该流(100)分解成液滴，当液滴朝着照射区域前进时，液滴进而聚结成更大的液滴。电致动元件由控制液滴生成/聚结过程的混合波形来驱动。还公开了一种确定喷嘴的传递函数的方法。
控制滴流中的聚结装置方法

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