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- [发明专利]高真空阀-CN200910174147.1有效
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樱井丰信;神坂育男
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SMC株式会社
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2009-09-30
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2010-05-26
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F16K1/00
- 本发明提供一种高真空阀，其包括：阀体部，在第一阀口和第二阀口之间的流路上设置阀座，并具有可相对该阀座接合或分离的开闭件；阀驱动部，由先导流体的压力驱动的推杆将与所述阀座面对的流路壁贯穿并插入流路中，所述阀驱动部驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座其中，在贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述润滑脂槽的流路一侧设置用来保留润滑脂的密封部件，而在所述润滑脂槽的相反一侧设置用来真空密封的密封部件，由此构成轴封，使所述润滑脂槽的轴向长度与上述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程
- 真空
- [发明专利]静态高真空阀-CN87105015.3无效
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黄明荣
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黄明荣
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1987-07-20
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1989-02-01
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F16K51/02
- 静态高真空阀可使由于气体放电老化、电极溅射、工作气体污染的高真空器件重复高真空后，重新得到使用，从而延长了高真空器件的工作寿命。该阀的构件包括前接口、后接口、阀嘴、阀体空腔部、波纹管、加热装置和工作介质，如图示。该阀能工作于静态高真空，而动态时可方便地偶合于真空系统，对器件进行真空抽除。
- 静态真空
- [实用新型]高真空角阀-CN94230405.5无效
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王毅敏
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王毅敏
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1994-10-12
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1995-06-21
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F16K1/00
- 一种高真空角阀，它包括阀体、阀盖、进排气孔，其特征在于阀杆上部与阀盖轴孔配合，压帽通过垫圈紧压套在阀杆上的O形橡胶密封圈、阀杆中部与阀盖螺纹联接，阀杆下端安装有切断或接通气路的封头。这种高真空角阀与现有技术相比，密封性能好，经氦质谱检漏仪检漏确认，漏率小于2.7×10-10Pam3/S，封头开启灵活，导程提高2～3倍，可拆联接，易于制造，性能可靠，经久耐用。
- 真空
- [实用新型]高真空转阀-CN200420032155.5无效
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孙德玉
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锦州电炉有限责任公司
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2004-06-16
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2005-07-13
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F16K3/10
- 一种在真空设备的各真空室之间使用的高真空转阀，解决了现有真空阀门不能受热、密封圈上落灰等问题；本实用新型有一个阀体，阀体内装有阀板，其特殊之处是，所述的阀板安装在悬臂上，悬臂安装在主轴上，主轴与垂直升降油缸相连接，在主轴上还装有曲柄，曲柄与平行移动油缸铰接，通过垂直升降油缸和平行移动油缸使阀板升降、平移，完成开关阀门的动作；本实用新型的优点在于，阀体和阀板采用双层水冷却结构，并在阀板的上面和下面安装隔热挡板，提高了本实用新型的耐高温性能，并在阀门开启后，使阀板上的密封圈紧贴在阀体上部的内表面上，避免了灰尘或颗粒状物质落到密封圈上，确保其始终具有良好的密封性能。
- 空转
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