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- [发明专利]用于处理大面积基板的设备和方法-CN201380078080.6在审
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A·赫尔米希;F·施纳彭伯格;J·施罗德
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应用材料公司
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2013-07-22
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2016-02-24
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G01N21/47
- 描述了一种用于处理大面积基板(120)的设备(100)以及一种用于测量基本上竖直地布置的大面积基板的至少一个光学性质的方法。用于处理大面积基板的设备包括：腔室布置(110)，用于以竖直地布置的状态来传输大面积基板通过所述腔室布置(110)，其中，腔室布置包括至少一个腔室、处理装置和出口端口(112)，处理装置用于处理竖直地布置的大面积基板，出口端口(112)用于竖直地布置的大面积基板；传输系统，用于传输基板通过腔室布置；以及测量布置(210)，包括光学测量装置。光学测量装置包括发光装置(211)和光检测装置，发光装置用于将漫射光发射到竖直地布置的大面积基板上，光检测装置用于测量竖直地布置的大面积基板的至少一个光学性质。
- 用于处理大面积设备方法
- [发明专利]环形过道设施布置方法-CN201910222705.0有效
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张则强;贾林;管超;蔡宁;刘俊琦;程文明
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西南交通大学
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2019-03-22
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2022-07-19
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G06F30/20
- 本发明涉及设施布局方式和方法，更具体涉及一种考虑面积成本的双目标环形过道布置方式，包括以下操作：1)将n个宽度相同、长度不同的扇形设施分别布置在环形过道内侧的内圈和外侧的外圈上并对每个设施进行编码，确定分配在每一圈上的设施数、设施序列及每个设施的位置，内圈上的设施和外圈上的设施均环向排列；2)设定基本假定条件、变量，通过对设施布置进行无量纲化处理，构建双目标无量纲环形过道布置数学模型，双目标包括物流量和设施布置面积成本；3)对双目标无量纲环形过道布置数学模型进行求解，得到优解；4)通过得到的优解对扇形设施在环形过道两侧进行布置。采用本方法实现考虑物流量与设施布置面积的设施较优布置。
- 环形过道设施布置方法
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