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[发明专利]一种新型平显光轴校靶方法-CN202210291618.2有效
发明人：王卫鹏 -专利权人：山西支点科技有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型平显光轴校靶方法，其中系统包括Ⅰ号三角架，校靶主机，六维转台，光轴校靶适配装置，飞机平显，Ⅱ号三脚架，高分辨率相机。该平显光轴校靶方法中校靶系统可以测试出被测光学系统的基准轴线，光轴校靶适配装置含有无穷远十字目标模拟系统和装有靶标的基准靶板，无穷远十字目标模拟系统的无穷远十字目标光轴与基准靶板光轴可以通过标定得出两者的固定关系，光轴校靶适配装置上的无穷远目标光轴与平显光轴一致时，校靶主机通过拍摄光轴校靶适配装置上的基准靶板图像，解算出基准靶光轴方向，最终得出平显光轴与基准轴线之间的关系，完成平显光轴校靶，该平显光轴校靶方法操作简单且便于外场光轴校靶使用
一种新型光轴方法

[实用新型]一种平面靶材的校平设备-CN202221776750.4有效
发明人：蒋孝文;刘浩 -专利权人：无锡乾泰新材料科技有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B21D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平面靶材的校平设备，涉及平面靶材加工技术领域。本实用新型包括工作台、L型安装板，L型安装板的侧壁固定连接有伸缩气缸，夹持固定组件包括连接滑块，连接滑块的顶部固定连接U型固定底板，夹持螺杆的外壁转动连接有夹持板，滚压校平组件包括支撑顶架，支撑顶架的下侧壁固定连接有液压伸缩缸本实用新型通过夹持固定组件便于夹持固定不同尺寸的平面靶材本体，伸缩气缸、滚压校平组件便于对夹持固定组件上的平面靶材本体进行反复滚压校平，解决了平面靶材的校平设备具有难以夹持固定不同尺寸的靶材以及难以进行反复校平，使得校平后的靶材易出现反弹的问题。
一种平面设备

[实用新型]一种圆形靶材校平装置-CN202223500745.3有效
发明人：李心然;居炎鹏;王永超;赵泽良 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B21D1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材校平技术领域，尤其为一种圆形靶材校平装置，包括底座，所述底座的顶部设置有校平机构，所述底座的内部且在校平机构的正下方固定连接有电磁铁，所述电磁铁的顶部固定连接有吸附板，所述底座的左侧固定连接有控制面板，所述底座的右侧固定连接有电源插头；所述校平机构包括固定连接在底座顶部固定连接有固定架，所述固定架的内部固定连接有固定套筒，所述固定套筒的内部滑动连接有活塞杆，通过设计一种圆形靶材校平装置，利用该装置中的校平装置来对圆形靶材进行校平，解决了现有的靶材校平装置需要工人手工压平圆形靶材，操作费时费力的问题。
一种圆形靶材校平装

[发明专利]一种自动读取平显校靶参数的装置及读取方法-CN202111566817.1在审
发明人：冯朝坤;孙玲娟;宋宣晓;汤礼平 -专利权人：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提出一种自动读取平显校靶参数的装置及读取方法，采用平显自校准的方式进行机上校靶，通过平显上前方控制板发送方位和俯仰的偏移增减量至平显图像处理模块，平显处理模块根据方位和俯仰的偏移增减量信息对输出的平显校靶画面进行偏移，同时在平显上实时显示方位和俯仰的偏移量数据，校靶完成后通过机上总线上报校靶参数。本发明缩短平显校靶时间，提高平显校靶效率和校靶精度。
一种自动读取平显校靶参数装置方法

[实用新型]一种平面靶材校平装置-CN201920317878.6有效
发明人：叶峰 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： B21D1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平面靶材校平装置，该校平装置通过待校平的平面靶材沿其长度方向进行水平移动，与校平测量装置进行平面度误差测量，取得平面靶材变形处的平面度误差值，并通过手动校平装置对该变形处进行手动抵压校平，结构简单，能够对平面靶材进行快速校平，校平精度高，校平效果好，并且不会损坏平面靶材，从而使平面靶的溅射成膜均匀，成膜与衬底之间的附着力好，提高了平面靶的生产质量。
校平平面靶材平面度误差校平装置平面靶附着力变形本实用新型测量装置溅射成膜平装置衬底成膜抵压测量生产

[发明专利]一种靶材组件的制备方法-CN201310654242.8在审
发明人：万小勇;何金江;徐学礼;曾浩;王越;董亭义;罗俊峰;陈明 -专利权人：有研亿金新材料股份有限公司
申请日： 2013-12-05 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： B23K20/08 文献下载
摘要：本发明公开了属于靶材制造技术领域的一种靶材组件的制备方法。此方法包括：提供靶材和背板板坯，将两者校平，在靶坯或背板非结合的一侧铺放炸药，爆炸焊接完毕，进行校平处理，无损探伤合格后再根据成品靶材组件的尺寸进行分割，加工到成品。本方法利用爆炸焊接可以实现大面积铝靶材和铜背板的高强度焊接，制备高性能复合靶材。
一种组件制备方法

[发明专利]一种靶材的校平方法-CN202310497276.4在审
发明人：姚力军;潘杰;宋阳阳;周鹏飞;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材的校平方法，所述校平方法包括如下步骤：15℃至30℃的条件下对靶材进行至少4次校平处理；所述至少4次校平处理时，后一次校平处理的校平区域不小于前一次校平处理的校平区域；所述至少4次校平处理时，校平区域的面积范围为靶材溅射面的25％至55％。本发明提供的校平方法在15℃至30℃的条件下进行，能够避免热校带来的脱焊风险，而且，本发明提供的校平方法的工艺简单，通过至少4次校平处理可将靶材的平面度控制在1mm以内，有利于工业化推广应用。
一种平方

[实用新型]一种靶材生产校平装置-CN202222693084.4有效
发明人：王永超;居炎鹏;李心然;赵泽良;王留土;范振清;史豪杰;郑海强;杨志刚 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B21D1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材生产校平装置，包括设置在地面上且呈矩形状的底座，所述底座的顶部通过呈“U”型的支撑板连接有液压缸，所述液压缸的底部设置有对靶材进行校平的校平机构，位于液压缸下方的所述底座顶部开设有矩形槽，所述矩形槽的内部套设有截面呈矩形状的校正台，所述校正台的顶部开设有呈圆形的校平槽，所述校平槽的下方设置有取出机构。本实用新型在使用时，利用校平机构，将变形的靶材放在校正台上的校平槽内，液压缸通过伸缩杆控制校平板的下移，下移的校平板会对变形的靶材进行挤压和校平，当校平板的底部与校正台的顶部相抵时，就可以完成对变形靶材的校平处理
一种生产平装

[发明专利]一种多规格高纯铜靶材的制备方法-CN201910992121.1有效
发明人：张雪凤;方宏;孙虎民;岳灿甫 -专利权人：洛阳高新四丰电子材料有限公司
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种多规格高纯铜靶材的制备方法，包括以下步骤：步骤一、铜锭坯加热；步骤二、加热锭坯热轧；对步骤一中加热后的高纯铜锭进行多道次热轧制后冷却至室温；步骤三、铜靶坯校平；对冷却后的铜靶坯采用校平机进行校平；步骤四、对校平后的铜靶坯按需进行切割；步骤五、铜靶坯粗加工；对铜靶坯采用数控机床进行粗加工；步骤六、将粗加工后的铜靶坯在校平机上碾压校平，在释放加工应力的同时，平整铜靶坯弯曲；步骤七、校平后的铜靶坯在数控机床上精加工；本发明可以制备不同规格的成品铜靶材，用本发明制备的高纯铜靶材平均晶粒度≤80微米，满足了液晶面板产业对于高纯铜靶材的要求，具有显著的经济与社会效益。
一种规格高纯铜靶材制备方法

[发明专利]一种机载数字平显的自动电校靶方法-CN201910970538.8有效
发明人：黄文浩;杨冉;冯朝坤;李平祥 -专利权人：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
申请日： 2019-10-13 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提出一种机载数字平显的自动电校靶方法，首先确定设计方给出的相关信息。其次，在数字平显内安装三轴陀螺仪，分别标记出数字平显在基准台上的姿态和在飞机上待校准状态的姿态。然后，利用三轴陀螺仪的数据，计算待校姿态与校准姿态的偏移量，并存储下来。最后，通过平显画面生成软件读取姿态偏移量值，并根据与数字像源显示像素的转化关系生成画面，对方位、俯仰、横滚作出修正，使平显显示经过校准的画面。本发明能够实现平显在机上的自动校靶，解决了传统立靶法校靶和惯性校靶操作复杂、不能够实现快速校靶的问题。
一种机载数字自动电校靶方法

[发明专利]一种平面靶的校平方法-CN201910774842.5有效
发明人：文锋 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面靶的校平方法，包括A、检测步骤、B、校平步骤、B1、校平准备子步骤、B2、校平子步骤和C、校平等待步骤。本发明的平面靶材的校平方法，校平精度高，校平时间短，成品率高，提高生产效率。
一种平面平方

[发明专利]一种应用于飞机总装配的平显数字化校靶方法-CN201010136758.X无效
发明人：曲巍崴;边柯柯;李江雄;柯映林;王青;俞慈君;宋西民;孔翠萍;任英武;樊新田 -专利权人：浙江大学
申请日： 2010-03-30 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： F41G1/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于飞机总装配的平显数字化校靶方法。包括如下步骤：1)将飞机调平，激光跟踪仪置于下站位，其测量坐标系与下站位装配坐标系统一，调整平显校靶装置上的水泡居中；2)利用跟踪仪测量2#、12#点，在计算机内构造飞机对称轴线；3)将跟踪仪移至上站位，其测量坐标系与上站位装配坐标系统一；4)完成校靶装置上靶标点测量；5)计算并显示校靶装置相对飞机构造水平面和对称轴线的偏差，若达到要求则完成平显校靶，否则继续；6)根据计算机提示，人工调整校靶装置安装位置本发明可有效提升校靶精度和效率，减轻校靶作业对现场空间大小依赖；提高了飞机总装的自动化、集成化水平。
一种应用于飞机装配数字化方法

[实用新型]一种平面靶材的热压校平设备-CN202223202820.8有效
发明人：赵久祥 -专利权人：涿州有融新材料科技有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平面靶材的热压校平设备，包括工作台，所述工作台的顶部通过螺栓固定安装有驱动组件，所述工作台的顶部固定安装有加热平台，所述驱动组件的表面安装有移动块，所述移动块的表面安装有校平组件，所述校平组件的底部固定安装有加热板本实用新型解决了直接对平面靶材进行施压校平，未对需要校平的平面靶材进行加热处理，在进行施压校平时由于平面靶材脆性较大，容易压坏质脆的平面靶材，同时在校平的过程中不能对平面靶材压持固定，当由于质脆的平面靶材断裂时弹性跳起
一种平面热压设备

[实用新型]一种飞机非架平校靶固定装置-CN202221484459.X有效
发明人：郑斐钟;陈章飞;沈德俊;张金辉 -专利权人：上海镭昊光电股份有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B64F5/60 文献下载
摘要：实用新型属于校靶固定装置领域，具体的说是一种飞机非架平校靶固定装置，包括底座和传动机构，所述底座的顶部设置有调节杆，且调节杆的外侧贯穿有升降架，所述调节杆的边侧设置有导向杆，所述传动机构设置于升降架的外侧，且传动机构的内侧连接有螺杆，并且螺杆的外侧设置有限位杆，所述限位杆的外部安装有靶板机构，所述螺杆的端部连接有紧固螺帽；本实用新型设置有升降架，使用时根据设备感应以及数据的收集自行控制调节杆的旋转操作，灵活进行设备使用高度调节，利于设备根据数据进行分析自行适应飞机需要，且靶板本体使用拆装便捷稳定，能够更好的适应不同位置角度的使用需求，利于进行多角度的反射收集，利于进行使用。
一种飞机非架平校靶固定装置

[实用新型]一种用于武装直升机的多功能激光辅助校靶仪-CN202122092002.6有效
发明人：董泽委;丁智虎;邓承栋;曹宇;唐晓川;王婧懿;陆琤;李识;张帅;闫逊;郭亚泽;张娜;董文杨;张秀华;孙放;杨振宇 -专利权人：董泽委
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01C15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于武装直升机的多功能激光辅助校靶仪，包括：支撑调平机构以及校靶装置；支撑调平机构的底端设置有多个高度可调的支脚；支撑调平机构上滑动装配有升降机构，且支撑调平机构上设置有用于驱动升降机构沿竖直方向升降的驱动机构；校靶装置可拆卸的固定连接在升降机构的顶端，且支撑调平机构的多个支脚支撑校靶装置处于水平工作状态。以上描述中可以看出，通过对校靶装置的高度以及水平度进行调节后，便于通过激光线对武装直升机的自身水平调节，并通过激光点对校靶的靶纸高度进行确认，整体校靶操作简单易操作，所涉及人员较少。
一种用于武装直升机多功能激光辅助校靶仪

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