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- [发明专利]激光局域退火非晶多晶复合光电子集成方法-CN202011280112.9在审
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林宏焘;钟础宇;李钧颖;戴浩;李兰
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浙江大学
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2020-11-16
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2021-02-23
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H01L21/268
- 本发明公开了一种激光局域退火非晶多晶复合光电子集成方法,该方法步骤如下:在硅晶圆(硅晶圆上覆盖有波导下包层)上生长一层非晶硅薄膜并沉积上一层保护层,在保护层上制备一层金属图案,将金属图案未覆盖部分的保护层刻蚀掉,向非晶硅薄膜中注入掺杂离子;将激光束以一定的速率扫描过金属图案上方,金属图案覆盖区域反射大部分激光束的能量,其未覆盖处的非晶硅则由于吸收大量激光束能量形成熔融态,并激活了注入的掺杂离子,最后通过退火结晶形成多晶硅,之后进行CMOS兼容的硅光器件常规工艺。采用本发明方法可实现在低温工艺下制备非晶多晶复合光子器件,可以在电子芯片上直接集成低损耗的高速光子链路,实现高性能的单片集成光电融合芯片。
- 激光局域退火多晶复合电子集成方法
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