|
钻瓜专利网为您找到相关结果 893314个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]基片加工设备-CN201480028863.8有效
-
E·H·A·格兰尼曼;P·塔克
-
ASM国际股份有限公司
-
2014-03-18
-
2017-09-26
-
C23C16/455
- 一种基片加工设备(100),其包含具有下隧道壁(122)、上隧道壁(142)和两个侧向隧道壁(128)的加工隧道(102),所述隧道壁构造成用来限定出加工隧道空间(104),所述加工隧道空间在纵向运输方向(T)上延伸,并适合容纳至少一个平行于上下隧道壁(122,142)取向的基本上平坦的基片(180),所述加工隧道分成包含下隧道壁的下隧道体(120)和包含上隧道壁的上隧道体(140),所述隧道体(120,140)可沿着至少一个纵向延伸的接合部(160)以可分离的方式彼此接合,使得它们可在闭合形态与开放形态之间相互移动,其中在闭合形态中,隧道壁(122,128,42)限定出加工隧道空间(104),而开放形态能够提供通向加工隧道内部的侧向维护通道
- 加工设备
|