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- [发明专利]一种浸液限制机构-CN201410114810.X有效
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赵丹平;张洪博;聂宏飞;张崇明
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上海微电子装备有限公司
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2014-03-25
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2017-06-06
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G03F7/20
- 本发明涉及一种浸液限制机构，将浸液限制在投影物镜和硅片之间，包括水平供液通道、出液通道、气液回收通道、供气通道及垂直供液通道，水平供液通道和出液通道水平设置，所述垂直供液通道、气液回收通道和供气通道的出口由内向外依次排列于浸液限制机构的底部，所述水平供液通道、垂直供液通道分别连接至供液设备，所述出液通道和气液回收通道分别连接至气液回收设备，所述供气通道连接至供气设备，设于所述浸液限制机构底部的供气通道开口的宽度为十微米级。本发明通过增大供气通道的开口宽度，避免形成“气刀”结构，从而解决边缘曝光时的液滴飞溅问题；通过设置垂直供液通道，提供有碰撞风险时朝向浸液限制机构底部的排斥力，从而减小扰动。
- 一种浸液限制机构
- [发明专利]一种获取交通限制信息的方法及装置-CN201611154161.1有效
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宋慧星;郭育康;石清华
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北京世纪高通科技有限公司
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2016-12-14
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2019-09-20
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G08G1/01
- 本发明公开一种获取交通限制信息的方法及装置，涉及道路交通信息技术领域，用于改善获取交通限制信息的及时性。所述获取交通限制信息的方法，包括：获取在目标时间段T内，通过目标区域内交通道路的车辆的行车轨迹信息；根据行车轨迹信息，获取在目标时间段T内，交通道路的行车通行情况矩阵，行车通行情况矩阵的元素为由交通道路的驶入口经交通道路后到交通道路的驶出口的车辆的数量；根据行车通行情况矩阵，获取交通道路的目标交通限制矩阵，目标交通限制矩阵的元素为由驶入口经交通道路后到驶出口的交通限制值。所述获取交通限制信息的方法无需通过外业采集人员采集，改善了获得交通限制信息的及时性。本发明用于获取交通限制信息。
- 一种获取交通限制信息方法装置
- [实用新型]燃气阀的断气装置-CN01260972.2无效
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萧启成
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台山市意立达瓦斯器材有限公司
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2001-09-24
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2002-09-25
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F16K17/38
- 一种燃气阀的断气装置,其特征是在本体的内部形成阶梯形状的通道,较大直径通道靠近进气端,较小直径通道靠近出气端,该本体的外表面设有凸缘;安全球置入该本体内的限制件与弹簧间的较大直径通道,该安全球将该弹簧容置的通道的通道口封闭;限制件结合在该本体较大直径通道限制该安全球不脱出,该限制件本身的通气道的一端为进气口,另端为出气口,该出气口避开该安全球;接合件与阀座密接,外侧端设限制端套接该本体;该限制端的环面限制该本体不脱出;具有适当硬度及体积的可熔件套在该本体外表面的凸缘与接合件的限制端环面之间
- 燃气断气装置
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