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- [发明专利]半导体器件的钝化方法-CN202110034018.3有效
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张继宇;李颖;杨国文;赵卫东
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度亘激光技术(苏州)有限公司
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2021-01-12
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2022-03-29
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H01S5/028
- 本发明提供一种半导体器件的钝化方法，涉及半导体相关的技术领域，该半导体器件的钝化方法，包括如下步骤：将解理的巴条放入到腔室内进行氧化处理；抽真空，利用形成的氢等离子体对巴条的腔面进行清洗处理,并利用形成的氦等离子体对巴条的腔面进行清洗处理；在清洗处理后保持氦气源开启并形成氦等离子体的状态下，对巴条的腔面进行钝化处理，可以加速钝化过程。本发明提供的一种半导体器件的钝化方法将自然解理的巴条进行氧化处理，使巴条腔面上的氧化物的厚度均一，避免了在清洗过程中，出现清洗不完全和过清洗的问题，且利用氢等离子体和氦等离子体依次对腔面进行清洗，保持氦气源开启时进行钝化，能够对氧化物层彻底清洗并容易钝化。
- 半导体器件钝化方法
- [实用新型]一种铜带钝化处理装置-CN201620726620.8有效
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梁绵威
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佛山市华儒铜业有限公司
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2016-07-12
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2016-12-07
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C23C22/76
- 本实用新型公开了一种铜带钝化处理装置，其特征是包括一个可以让铜带从中间穿过的钝化箱；钝化箱内在铜带经过的上下两侧均设有钝化液喷嘴，钝化箱底部的回流管与钝化液储存箱连接，钝化液储存箱的位置低于钝化箱的位置；钝化液喷嘴通过输送管与钝化液储存箱连接，输送管上设有钝化液泵；输送管末端设有过滤器，过滤器与钝化液储存箱底部保持有间隙。其优点是：结构科学、简单，设计合理，容易制造；铜带钝化处理时不需要进行改向，可以保持原来的直线运行，与其它生产工艺生产线更容易衔接，可以增加运行速度，提高生产效率，同时，生产质量更有保障；减少了设备的空间占用
- 一种钝化处理装置
- [发明专利]一种不锈钢铁轨酸洗钝化处理方法-CN201510113823.X有效
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郑继兵
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珠海市椿田机械科技有限公司
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2015-03-16
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2017-04-12
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C23G1/08
- 本发明公开了一种不锈钢铁轨酸洗钝化处理方法，步骤包括将清洗过和去过油污的不锈钢铁轨工件完全浸在酸洗液中，浸泡30‑120分钟；将酸洗后的不锈钢铁轨工件置入清洗篮，再放入装有清洗液的超声波清洗机内，清洗15‑20分钟；清洗结束吹干后放入烤箱烘干；不锈钢铁轨工件放进钝化处理箱的装有钝化液的钝化池中，进行钝化处理25‑35分钟；钝化过程中，向钝化池内充入空气；将不锈钢铁轨工件放入装有中和液的中和池中，中和25本工艺通过酸洗、超声波清洗、钝化、中和彻底保证了不锈钢铁轨表面的清洁，形成一层致密的氧化膜，有效提高了不锈钢铁轨的抗腐蚀能力，长期不生锈，并使不锈钢铁轨表面美观。
- 一种不锈钢铁轨酸洗钝化处理方法
- [实用新型]一种铜带表面清洗钝化处理装置-CN202320410980.7有效
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陈健;范军均
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铜陵华威金属材料有限公司
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2023-03-07
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2023-07-25
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C23C22/73
- 本实用新型公开了一种铜带表面清洗钝化处理装置，属于通道该技术领域。本实用新型用于解决铜带表面存在杂质容易影响钝化效率和效果，同时对钝化液造成污染，影响后续使用；现有铜带在钝化处理时，持续静置的钝化液容易存在液内物质沉淀、不均等现象，影响铜带后续钝化加工品质的技术问题；本实用新型包括主箱体，主箱体顶部对称转动连接有多组第一输送辊，主箱体一端凹陷设有清洗箱；本实用新型故而既能对铜带表面进行多重深层次清洗，并将铜带进行预热处理，有助于铜带后续钝化加工，又能对钝化液进行持续性曝气翻滚，促进铜带钝化的同时，避免钝化液内物质沉淀和不均，并对铜带上钝化液进行风干与回收，降低钝化液损耗。
- 一种表面清洗钝化处理装置
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