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- [发明专利]一种光配向设备-CN201710612477.9有效
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王震亚;罗凯铭
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武汉华星光电技术有限公司
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2017-07-25
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2017-10-17
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G02F1/1337
- 本发明公开了一种光配向设备,包括处理腔室、设于处理腔室内的光照组件和载台,至少两种分别对应不同类型配向液的光照组件沿第一方向排列于载台上方,光照组件发出的紫外光自其下方的出光口射出;光照组件可沿第一方向移动至载台的正上方和斜上方,以使对应不同类型配向液的光照组件选择性地照射载台上的基板。本发明通过在处理腔室内设置有至少两种分别对应不同类型配向液的光照组件,不同类型配向液的光照组件可在处理腔室内移动而选择性地照射载台上的基板,以对不同类型的配向液实现配向动作,减少了进行光配向过程中对光照组件切换时更换光源和滤光片的时间
- 一种设备
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