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- [实用新型]滤光片镀膜机-CN201520189002.X有效
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王红
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苏州文迪光电科技有限公司
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2015-03-27
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2015-08-12
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C23C14/24
- 本实用新型公开了一种滤光片镀膜机,包括真空镀膜腔,真空镀膜腔内设有蒸汽镀膜源和镀膜伞,镀膜伞位于所述蒸汽镀膜源上方,镀膜伞包括伞架本体,镀膜伞与一升降机构连接,伞架本体下端还与一蒸汽收拢筒固定连接,蒸汽收拢筒的两端直径大,中间直径小,蒸汽收拢筒的上端与伞架本体的下端密封连接,蒸汽收拢筒的中部设有轴流风机。该滤光片镀膜机在伞架本体下方设置蒸汽收拢筒,蒸汽收拢筒作为蒸汽从蒸汽镀膜源至蒸镀区的通道,其上下两端直径大、中间直径小,因此蒸汽通道内的容积是不断变化的,这样可加快蒸汽进入蒸镀区的速度,配合轴流风机使用,可有效的将蒸汽镀膜源蒸发出的蒸汽收拢起来,防止其向外泄露。
- 滤光镀膜
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