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- [发明专利]七自由度定位机构-CN200510024017.1有效
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唐海明;邓鹏
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上海微电子装备有限公司
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2005-02-23
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2005-08-10
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G03F7/20
- 本发明涉及的定位机构,特别是一种七自由度定位机构,它由静台体、三自由度倾斜平台、平面三自由度平台组合而成;三自由度倾斜平台由倾斜台底座、倾斜台面、三根伸缩杆、锁紧螺钉、弹性垫圈组构成,倾斜台面同时也是平面三自由度平台的底座,平面三自由度平台还包括X向可调台面、Y向可调台面、工作台面;其中,静台体和倾斜台底座之间可进行粗调并用簧片连接,倾斜台底座和倾斜台面之间有三根伸缩杆,X向可调台面、Y向可调台面和倾斜台面是一个二维导轨平移台藉由上述结构主要解决现有多层结构或多杆结构的定位机构所存在的不足之处,用于实现快速、精密定位。
- 自由度定位机构
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