专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]离子体刻蚀设备-CN201510445160.1有效
  • 郑锦华;王俊杰;廖晓燕;吴双;魏新煦 - 郑州大学
  • 2015-07-27 - 2017-04-12 - H01J37/32
  • 本发明提供一种等离子体刻蚀设备,包括有阴极结构,所述阴极结构包括阴极板、用于罩所述阴极板的阳极罩筒和绝缘板,所述阳极罩筒的一端用于设置玻璃工件,使所述玻璃工件与所述阳极罩筒和所述绝缘板配合形成电气绝缘腔所述等离子体刻蚀设备简单,加工效率高;而且该设备采用低温等离子技术降低等离子体对加工工件的热辐射,达到在加工工件表面进行低温快速、高效细微刻蚀加工的目的。
  • 等离子体刻蚀设备

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