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[发明专利]真空干燥装置-CN202011626754.X在审
发明人：谢仕昭 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： F26B5/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空干燥装置。真空干燥装置包括真空干燥箱体、承载机构以及转动机构；所述真空干燥箱体具有能够预设真空度以及预设温度的真空干燥腔，所述承载机构活动设置于所述真空干燥腔内以用于承载待干燥物件，所述转动机构连接所述承载机构以用于驱动所述承载机构转动本发明的真空干燥装置用于喷墨打印后的膜层干燥时，干燥效果佳、干燥后的膜层分布均匀。
真空干燥装置

[实用新型]真空干燥装置-CN201621109447.3有效
发明人：张洪非;朱风鹏;姜兴益;李雪;罗彦波;李翔宇;庞永强 -专利权人：国家烟草质量监督检验中心
申请日： 2016-10-10 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空干燥装置，尤其涉及一种用于干燥玻璃纤维滤片的真空干燥装置；真空干燥装置包括真空容器和与真空容器相连通的抽真空装置，真空容器内设有放置架，放置架上设有供待干燥物件放置的放置位，放置位设有使待干燥物件的与所述放置位相配合的接触面漏出的避让结构；使用时，使用抽真空干燥装置将真空容器内抽成真空状态，利用待干燥物件表面的液体在低压环境中沸点、蒸发点较低的特点，使得待干燥物件上的液体在常温状态下能够很快蒸发；同时放置位上设有避让结构，减小待干燥物件被放置架覆盖的面积，待干燥物件上的液体蒸发较快，提高了干燥装置的干燥效率。
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN202110966617.9有效
发明人：汪国杰 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种真空干燥装置，所述真空干燥装置包括干燥腔、过渡腔和抽真空系统；其中所述过渡腔与所述干燥腔流体连通，所述抽真空系统与所述过渡腔流体连通，用来对所述过渡腔抽真空、以及通过所述过渡腔对所述干燥腔抽真空本申请的真空干燥装置能在短时间内快速为干燥腔提供较高真空度，并能将干燥腔中的挥发溶剂快速抽走，改善了现有真空干燥设备由于真空度上升导致的成膜不良。
真空干燥装置

[实用新型]真空干燥装置-CN201120064180.1无效
发明人：姚志东;刘善江;马良;卯丹 -专利权人：北京市农林科学院
申请日： 2011-03-11 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空干燥装置。该真空干燥装置包括真空干燥箱本体和真空泵，所述真空干燥箱本体上设有进气口、抽气口、抽气阀门、真空表和数字温控器；所述真空干燥装置还包括干燥空气循环装置；所述干燥空气循环装置包括密闭的干燥容器、进气管路和出气管路，所述进气管路的一端开口于所述干燥容器腔内，另一端开口于所述干燥容器外；所述出气管路的一端开口于所述干燥容器腔内，另一端通过多通阀分别与所述真空泵和所述真空干燥箱本体上的抽气口相连通。
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN201711215444.7有效
发明人：胡佳 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空干燥装置，其包括干燥室和抽气管路，干燥室具有干燥腔，抽气管路的两端分别用于连接第一抽气装置和第二抽气装置以使各干燥室的干燥腔内均能够形成负压，抽气管路上设有多个阀门。使用该真空干燥装置对多个待干燥样品进行干燥时，通过调控第一抽气装置、第二抽气装置以及各阀门的打开与关闭，整体上能够调整至仅通过第一抽气装置或第二抽气装置即可实现对置于不同干燥室内的待干燥样品连续干燥。与现有的真空干燥箱相比，上述真空干燥装置整体上可显著提高真空干燥的效率，显著降低能耗，显著提高生产效率并降低生产成本。
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN201510550945.5在审
发明人：张从领 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种真空干燥装置，在反应腔室顶部设有第一管路，所述第一管路与反应腔室的外部相连通，用于抽取反应腔室内部的气体或向所述反应腔室内部填充气体；在反应腔室内部的上方设有数个相互平行的第二管路，所述第二管路与反应腔室内部的上表面之间留有空隙，可保证反应腔室内部各个位置的蒸汽压相同，形成有利于光阻干燥的稳定均匀的气体流场，进而保证基板表面光阻内的有机溶剂的挥发速度相同，最终保证基板表面光阻干燥的均匀性，避免了利用现有真空干燥装置干燥光阻时，
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN201810287892.6在审
发明人：陆明 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空干燥装置，包括真空室和设于所述真空室内的基板支撑台，所述基板支撑台包括：承载平台、支撑柱和驱动机构，所述支撑柱可移动地设置于所述承载平台上，所述驱动机构用于控制驱动所述支撑柱移动。本发明公开的一种真空干燥装置，通过驱动机构控制支撑柱移动，从而使得支撑柱准确移动至指定位置，避免支撑柱对基板的显示区造成破坏，同时无需人工调节支撑柱，避免对真空室内部造成污染。
支撑柱真空干燥装置驱动机构基板支撑台承载平台移动可移动地设置真空室内部控制驱动人工调节对基板显示区真空室室内污染

[发明专利]真空干燥装置-CN201210072031.9在审
发明人：李宁 -专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日： 2012-03-16 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： F26B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空干燥装置，其包括：容置槽，用以容置待干燥物；加热装置，用以使所述容置槽的温度升高至预定温度；以及抽气装置，所述抽气装置与所述容置槽相连，以抽出所述容置槽中的部分或全部空气，从而使所述待干燥物上的溶剂挥发采用本发明的真空干燥装置，干燥效果良好、干燥环境安全性高、干燥效率高，从而提高生产率。
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN201710202359.0在审
发明人：罗献南;张方利 -专利权人：深圳市锴诚精密模具有限公司
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空干燥装置，包括支架、料斗组件、料桶机构、加热机构、真空泵、卸料机构和料桶驱动机构，所述料斗组件、料桶机构、加热机构、真空泵、卸料机构和料桶驱动机构设于支架上，所述料斗组件设于料桶机构的上方，所述料桶机构包括相互固定连接的第一料桶、第二料桶、第三料桶和旋转轴，所述料桶驱动机构用于驱动料桶机构绕旋转轴转动，所述料斗组件用于将物料送至料桶机构的其中一料桶中，所述加热机构用于为该料桶加热，所述真空泵用于为其中一料桶抽真空本发明提供的真空干燥装置，干燥效率高。
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN201910412022.1在审
发明人：贾文斌;朱飞飞;孙力;王辉锋 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方卓印科技有限公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种真空干燥装置，其中该装置包括：容置箱体，其中至少两个表面上分别设置有抽气口；气体通路结构，包括多个接口连接部，每一所述接口连接部分别连接一个所述抽气口；抽真空泵，与所述气体通路结构连接，通过所述气体通路结构，所述抽真空泵与所述容置箱体连通，能够对所述容置箱体进行抽真空。采用该真空干燥装置，通过在容置箱体的至少两个表面分别设置抽气口，能够从容置箱体的不同位置抽离容置箱体内部空气，保证待干燥基板在干燥过程中容置箱体内部溶剂分布的均匀性，避免出现局部浓度过高，造成待干燥基板的中心区域和边缘区域由于溶剂氛围不同导致的膜厚不均匀问题
容置真空干燥装置气体通路抽气口抽真空泵接口连接箱体内部待干燥基板边缘区域干燥过程结构连接溶剂氛围箱体连通中心区域不均匀抽真空均匀性抽离膜厚溶剂保证

[发明专利]真空干燥装置-CN201910586041.6在审
发明人：毕研亮 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：一种真空干燥装置，包括壳体，具有容置空间；承载平台，设置于所述容置空间内，用于承载基板，所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂；定位件，设置于所述承载平台上，用于固定所述基板的位置；以及引流板，设置于所述容置空间内
承载平台容置空间基板真空干燥装置定位件引流板通孔像素墨水挥发性溶剂承载基板基板表面平整度壳体膜面蒸汽匹配

[发明专利]真空干燥装置-CN202110015990.6在审
发明人：赵紫怡;郝鹏 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：本申请提供一种真空干燥装置，该真空干燥装置包括箱体、设置于箱体内侧的底部并用于承载和加热该显示基板的加热机构、与加热机构相对设置的冷凝板、与箱体连接的用于将箱体内的气体抽取至箱体外侧的抽气机构以及设置于冷凝板靠近加热机构的一侧的热喷机构，热喷机构用于向冷凝板靠近加热机构的一侧表面喷射加热气体，以去除附着在冷凝板靠近加热机构的一侧表面上的液滴，从而避免冷凝板上的液滴掉落至显示基板的子像素单元内，使得显示基板的各子像素单元中墨水材料干燥后成膜的膜厚一致
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN201911002435.9在审
发明人：黄辉 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空干燥装置，所述真空干燥装置包括腔室、进气口以及至少一个冷凝回收室，所述腔室用于放置基板，所述进气口设置于所述腔室的一侧，用于向所述腔室内通入气体，以将所述基板挥发的溶剂带走，且所述至少一个冷凝回收室与所述腔室相连通本发明通过在真空干燥装置的腔室中设置进气口以及与腔室相连通的冷凝回收室，能够及时带走并回收腔室内挥发的溶剂，有效的防止了溶剂凝结并滴落至基板上，从而防止了基板被污染，减少了保养擦洗的工序，并可以回收溶剂再次利用
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN202110017890.7在审
发明人：赵紫怡;郝鹏 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本申请提供一种真空干燥装置，该真空干燥装置包括箱体、加热机构、设置于加热机构远离箱体底部一侧的掩膜板以及抽气机构，显示基板包括阵列排布的多个用于填充墨水材料的子像素单元，掩膜板上设有多个分别与显示基板上的子像素单元一一对应的子像素开口，通过掩膜板上的子像素开口将抽气机构的吸力均匀分散至显示基板上的各个子像素单元，保证各子像素单元内墨水材料中的溶剂的挥发方向和挥发速度相同，使得各子像素单元内墨水材料干燥后形成的膜层的表面平整度保持一致
真空干燥装置

[发明专利]真空干燥装置-CN202210111962.9在审
发明人：张文林 -专利权人： TCL华星光电技术有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种真空干燥装置；该真空干燥装置包括一反应腔室，反应腔室内设置有用于支撑基板的多个支撑杆，每一支撑杆内均连接有控温构件，控温构件用于调节支撑杆的温度，以使支撑杆的温度与基板的温度的差值的绝对值小于预设差值；上述真空干燥装置通过在每一个支撑杆内均连接有控温构件，控温构件用于调节支撑杆的温度，以使支撑杆的温度与基板的温度的差值的绝对值小于预设差值，从而在真空干燥制程中不会因为支撑杆与基板的温度差异过大而导致支撑杆所支撑位置处的有机墨水提前固化而形成点状的膜面凸起
真空干燥装置

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