|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 1150853个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]激光干涉仪-CN202210173814.X在审
-
山田耕平
-
精工爱普生株式会社
-
2022-02-24
-
2022-08-30
-
G01D21/02
- 本申请公开了激光干涉仪。提供不依赖于测量对象物的状态而根据受光信号对来源于测量对象物的信息进行解调时的解调精度较高的激光干涉仪。激光干涉仪的特征在于，具备：光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，并使用振动元件将第一激光调制成频率不同的第二激光；光路切换部，配置于第一激光行进的第一光路，在第一光路与和第一光路不同的第二光路之间切换第一激光的行进方向；光反射体，具有沿着第二光路移动并对在第二光路行进的第一激光进行反射的光反射面；以及受光元件，接收第一激光被测量对象物反射所生成的第三激光与第二激光的第一干涉光、以及第一激光被光反射面反射所生成的第四激光与第二激光的第二干涉光
- 激光干涉仪
- [发明专利]激光干涉仪-CN202110973053.1有效
-
北川润
-
精工爱普生株式会社
-
2021-08-24
-
2023-10-10
-
G01H9/00
- 本申请提供一种小型且采样信号的解调精度较高的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；光路长度可变部，其使所述第三激光传播的光路的光路长度发生变化。
- 激光干涉仪
- [发明专利]激光干涉仪-CN202110967137.4在审
-
山田耕平;清水武士
-
精工爱普生株式会社
-
2021-08-23
-
2022-03-01
-
G01H9/00
- 本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信号源
- 激光干涉仪
- [发明专利]激光干涉仪-CN202310107897.7在审
-
山田耕平
-
精工爱普生株式会社
-
2023-01-31
-
2023-08-04
-
G01H9/00
- 本发明提供激光干涉仪，其具备不使用衍射光栅便能调制激光的频率的光调制器，并能实现低成本化。激光干涉仪的特征在于，具备：激光光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，并使用所述振动元件对所述第一激光进行调制，生成包含调制信号的第二激光，所述振动元件具有与所述第一激光的入射面交叉的方向的振动成分；受光元件，接收第三激光及所述第二激光并输出受光信号，所述第三激光是所述第一激光在对象物反射而生成且包含采样信号的激光；解调电路，根据基准信号从所述受光信号解调出所述采样信号；以及振荡电路，将所述振动元件作为信号源进行动作
- 激光干涉仪
- [发明专利]激光干涉仪-CN202211510072.1在审
-
林畅仁;山田耕平
-
精工爱普生株式会社
-
2022-11-29
-
2023-06-02
-
G01H9/00
- 本发明提供激光干涉仪，能够实现光学系统的小型化及对准作业的容易化。激光干涉仪的特征在于具备：激光光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，使用振动元件对第一激光进行调制，生成包含调制信号的第二激光；受光元件，接收第二激光及第三激光并输出受光信号，第三激光包含第一激光被测定对象物反射而生成的采样信号；光耦合器，具有使第一激光分叉的功能、以及使第二激光与第三激光的合流光分叉的功能；第一准直器，使被光耦合器分叉的第一激光平行化；第二准直器，使被光耦合器分叉的第一激光平行化；第一光布线；第二光布线；第三光布线
- 激光干涉仪
- [实用新型]激光干涉仪-CN202022757196.2有效
-
李兴杰;白连鹏
-
青岛捷美达数控机械有限公司
-
2020-11-25
-
2021-06-18
-
G01B9/02
- 本申请涉及一种激光干涉仪，其涉及测量技术的领域，其包括激光头、三脚架，还包括设置在三脚架上的底座，底座的顶壁上滑动设置有第一滑动盘，第一滑动盘的顶壁上滑动设置有第二滑动盘，激光头设置在第二滑动盘的顶壁上，第一滑动盘和第二滑动盘的滑动方向相互垂直，底座上设置有用于限制第一滑动盘滑动的第一限位组件，第一滑动盘上设置有用于限制第二滑动盘滑动的第二限位组件，滑动第一滑动盘和第二滑动盘，激光头的位置调整好后，利用第一限位组件限制第一滑动盘滑动，利用第二限位组件限制第二滑动盘滑动，实现在一定范围内任意微调激光头的位置，调整精度相对较高，降低测量数据的误差。本申请具有提高激光干涉仪的测量精度的效果。
- 激光干涉仪
|
