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[发明专利]源瓶-CN201811216266.4在审
发明人：张军 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种源瓶，包括瓶体、进气组件、出气组件、循环组件、用于测量所述瓶体温度的测温元件和设置在所述瓶体上的第一加热元件，所述进气组件、出气组件、循环组件分别与所述瓶体相连，所述进气组件用于向所述瓶体输入载气，所述出气组件用于输出所述瓶体内的气体，所述循环组件用于循环回流所述瓶体内的反应源。本发明实施例通过循环组件，一方面增加了反应源的流动，提高了所述反应源的温度均匀性，增加气体蒸发量，也使得测温元件能够准确地反馈瓶体的温度，并减少温度反馈时间；另一方面增加了加热元件与源瓶的接触面积，提高了反应源的热交换效率，保证了反应源供气的稳定性。
源瓶

[实用新型]源瓶-CN201821691534.3有效
发明人：张军 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种源瓶，包括瓶体、进气组件、出气组件、循环组件、用于测量所述瓶体温度的测温元件和设置在所述瓶体上的第一加热元件，所述进气组件、出气组件、循环组件分别与所述瓶体相连，所述进气组件用于向所述瓶体输入载气，所述出气组件用于输出所述瓶体内的气体，所述循环组件用于循环回流所述瓶体内的反应源。本实用新型实施例通过循环组件，一方面增加了反应源的流动，提高了所述反应源的温度均匀性，增加气体蒸发量，也使得测温元件能够准确地反馈瓶体的温度，并减少温度反馈时间；另一方面增加了加热元件与源瓶的接触面积，提高了反应源的热交换效率，保证了反应源供气的稳定性。
反应源瓶体循环组件出气组件进气组件本实用新型测温元件加热元件源瓶体内热交换效率温度均匀性瓶体温度温度反馈循环回流蒸发量载气种源供气测量反馈输出流动保证

[实用新型]一种太阳电池扩散炉源瓶定位隔离保护装置-CN201120138087.0有效
发明人：严汉元 -专利权人：百力达太阳能股份有限公司
申请日： 2011-05-04 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： F17C1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种太阳电池扩散炉源瓶定位隔离保护装置，其特征在于：包括平台，在平台上设有至少四个排列错位的源瓶定位罐，源瓶定位罐的上底面开口，其下底面及罐身为密封状态。本实用新型提供的用于扩散炉源瓶定位隔离保护装置，通过源瓶定位罐对源瓶进行定位，源瓶放入源瓶定位罐后，可以保持定位，而且可以将源瓶与水隔离，使源瓶出现泄漏遇水发生爆炸的危险降低到最低限度。进一步，观察小孔还能方便源瓶放入和取出。
一种太阳电池扩散炉源瓶定位隔离保护装置

[实用新型]一种太阳能电池扩散用瓶源-CN201721536773.7有效
发明人：王永生 -专利权人：冠翔太阳能科技海安有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池扩散用瓶源，属于太阳能电池加工领域，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。本实用新型的有益效果是：采用主瓶源和副瓶源的设计，在使用过程中无须更换主瓶源，只需要更换副瓶源，由于副瓶源中源量液位对主瓶源中产生的三氯氧磷蒸汽浓度不产生影响，故可使用完后进行更换，避免了三氯氧磷浪费。
主瓶副瓶太阳能电池进气口本实用新型补液口出气口瓶源连通三氯氧磷蒸汽扩散扩散炉管三氯氧磷液位源液加工

[发明专利]扩散源瓶的补液控制系统及补液控制方法-CN202211310022.9在审
发明人：符黎明;张永红;董建文;任常瑞 -专利权人：常州时创能源股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本发明提供一种扩散源瓶的补液控制系统，包括：源瓶，向源瓶供载源用气体的供气管，向源瓶供液态扩散源且设有补液阀的补液管，对源瓶进行实时称重的称重单元，以及根据称重单元所得实时重量控制补液阀的开闭的补液控制单元本发明还提供一种扩散源瓶的补液控制方法，其采用上述的补液控制系统，且包括：通源前确认源瓶液面，确定补液控制条件，稳态通源并控制补液，以及异常报警。本发明可使源瓶中液态扩散源的液面维持一定的高度，可实现扩散后方阻的基本稳定，可提高扩散工艺稳定性。本发明可采用集中供液系统对源瓶进行集中供源，还可以采用储液罐对源瓶进行独立供源，可降低更换源瓶的频次，提高源的利用率。
扩散补液控制系统控制方法

[实用新型]一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置-CN201120574640.5有效
发明人：刘润中;韩小旭 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： F17D1/12 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，该装置包括：第一源瓶，所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液；第二源瓶，所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同；其中，所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连，所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连，所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连；且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管采用本实用新型实施例所提供的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，能够充分利用更换下来的源瓶内的扩散源液，且成本低，危险性小。
一种硅片扩散制结用供给装置

[发明专利]一种连续提供前驱体源的方法及装置-CN201910427779.8在审
发明人：李哲峰;辛灵玲;陈文翰 -专利权人：深圳市原速光电科技有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种用于连续提供前驱体源装置，包括：一与反应腔连接的第一源瓶，第一源瓶至少一个；与第一源瓶连接的第二源瓶，第二源瓶至少一个；第一源瓶中盛装有前驱体源，第二源瓶中盛装的前驱体源用于提供给第一源瓶，以使第一源瓶连续地往反应腔内输送前驱体源。本发明还提供一种用于连续提供前驱体源的方法。本发明提供的装置结构简单，便于维护和使用；前驱体源可以连续不断地进到反应腔，应用该装置的ALD、CVD等气相沉积设备可以实现连续生产，产能高，满足气相设备大规模工业化连续生产的要求。
源瓶前驱体源连续提供反应腔盛装工业化连续生产气相沉积设备连续不断气相设备装置结构产能应用维护

[发明专利]太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶-CN201710906791.8在审
发明人：谷香梅 -专利权人：谷香梅
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： H01L21/223 文献下载
摘要：本发明涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，进气管上设有气流调节阀，源瓶本体内设有超声波发生器，本发明解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。
太阳电池用三氯氧磷扩散

[发明专利]用于太阳电池的三氯氧磷扩散源瓶-CN201710907763.8在审
发明人：谷香梅 -专利权人：谷香梅
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于太阳电池的三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，进气管上设有气流调节阀，源瓶本体侧壁设有若干个气流喷嘴，本发明解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。
用于太阳电池三氯氧磷扩散

[发明专利]管式扩散工艺中磷源的回收系统-CN201010294778.X有效
发明人：潘景伟 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2010-09-28 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能和半导体等行业的管式扩散生产过程中无法利用的磷源的回收系统，包括气源、排液部分、回收部分和安全装置部分，排液部分和回收部分由生产线上更换下来的源瓶依次连接而成，排液部分与回收部分的源瓶连接方向相反，气源为高纯惰性气体，排液部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的出气管连接气源，最后一个源瓶的进气管与回收部分的第一个源瓶的进气管连接，中间源瓶的出气管与前一个源瓶进气管连通，中间源瓶进气管与后一个源瓶出气管连通，本系统的气源向排液部分通入高纯惰性气体如Ar或N2等后，磷源即会搜集到回收装置部分中，回收装置部分的源瓶可取出做生产使用。本系统将剩余的磷源在确保安全的情况下搜集到源瓶中回收利用，从而大大减少了磷源的浪费。
扩散工艺中磷源回收系统

[发明专利]原子层沉积设备-CN201811587575.2有效
发明人：赵雷超;史小平;兰云峰;秦海丰;纪红;张文强 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种原子层沉积设备，包括反应腔室和连接反应腔室的主进气管道、分别接入主进气管道的供给源瓶和回收源瓶、以及用于控制供给源瓶和回收源瓶的温度的控制装置，主进气管道开启时，供给源瓶提供第一前驱体，载气携带第一前驱体经主进气管道通入反应腔室；主进气管道关闭时，供给源瓶和回收源瓶经回收管路连通，回收源瓶对供给源瓶提供的第一前驱体进行冷凝回收，实现前驱体的回收和储存。
原子沉积设备

[实用新型]一种太阳能电池用源瓶安放装置-CN201120118115.2有效
发明人：成品奇;李鹏飞;王辉;胥健奇;张茂胜 -专利权人：江苏伯乐达光伏有限公司
申请日： 2011-04-20 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提出的太阳能电池用源瓶安放装置，置于恒温槽中，所述太阳能电池用源瓶安放装置包括搁置板、多个一端开口与所述源瓶大小匹配的容器，所有所述容器的开口边沿通过所述搁置板连接，所述搁置板盖住所述恒温槽。本实用新型提供的太阳能电池用源瓶安放装置，能够将多个源瓶分别放置在与源瓶大小匹配的不同容器中，避免了多个源瓶之间可能发生的碰撞；将装有液态磷源的源瓶置于安放装置的容器内，使源瓶不直接与恒温槽中的水接触，避免了液态磷源泄漏后发生水解而造成危害；将源瓶固定在容器中，可以避免源瓶倾斜，使气体携带液态磷源的量一定，保证工艺稳定性。
一种太阳能电池用源瓶安放装置

[实用新型]一种源瓶恒温阱-CN201320042606.2有效
发明人：白留飞;苏正宾;王广军;陈华伟 -专利权人：洛阳尚德太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2013-01-23 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01L21/228 文献下载
摘要：本实用新型提供一种源瓶恒温阱。现有技术源瓶只能水平放置在源瓶恒温阱中会导致源瓶中残留较多的源液从而造成浪费。本实用新型的源瓶恒温阱具有基座和设置在基座中且与源瓶相匹配的凹槽，所述凹槽的底面与基座的放置面间的夹角的范围为5度至60度，从而使源瓶倾斜设置在源瓶恒温阱中。本实用新型可提高源液利用率，降低生产成本，并且减少有毒物质的排放，有效减轻环境污染。
一种恒温

[实用新型]太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶-CN201520584751.2有效
发明人：陈桂宝;唐磊;何晨旭;朱姚培 -专利权人：江苏荣马新能源有限公司
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，本实用新型解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。
太阳电池用三氯氧磷扩散

[实用新型]新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统-CN201721481094.4有效
发明人：王续;李邦勇;潘岳林;党继东 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统，包括固定源瓶、进气管、出气管、供液源瓶及挡板。进气管的一端位于固定源瓶的外部，另一端位于其内部且靠近其底部；出气管的一端位于固定源瓶的外部，另一端位于其内部且靠近其顶部；供液源瓶位于固定源瓶上方，通过加液管道与其连通，且加液管道的底端靠近其底部；挡板设于固定源瓶的内部，且进气管与出气管位于其一侧、加液管道位于其另一侧；挡板的顶边高于加液管道的底端，挡板的侧边与固定源瓶的侧壁连接，挡板的底边与固定源瓶的底部连接，且挡板的底部设有通液孔。本实用新型中的供液源瓶能够自动地为固定源瓶供给源，使得液位保持恒定，解决了现有的扩散源瓶装置不便于换源的问题。
固定源挡板扩散源瓶加液管道出气管供液源进气管本实用新型底端恒定侧壁连接底部连接液位保持供给源通液孔自动地外部侧边顶边连通

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