“波面像差”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果8289个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]波面像差测量装置及方法、以及波面像差调整方法-CN200880101961.4无效
发明人：根岸武利 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-08-13 - 公布日： 2010-07-07 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明关于用以测量被检光学系统(20)的波面像差的波面像差测量装置，其具备：点光源(3a：1～3)，用以供应测量光；光检测器(7)，具有配置在与点光源成光学共轭位置的检测面；波面变化赋予部(5)，配置在点光源与光检测器间的光路中，能对于经过被检光学系统的光赋予波面变化；及测量部(6)，根据光检测器的输出、与波面变化赋予部中所赋予的波面变化，测量被检光学系统的波面像差。其并不使用干涉法，能以较简单的构成来测量被检光学系统的波面像差。
波面像差测量装置方法以及调整

[发明专利]带相位补偿板的激光头物镜及使用它的激光头装置-CN200510112893.X无效
发明人：若林康一郎;平尾惠子;宫内充佑;牧野由多可;杉靖幸;三井良和 -专利权人：日立麦克赛尔株式会社
申请日： 2005-10-19 - 公布日： 2006-06-07 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种激光头物镜，它能保证波面像差降低的状态，且不会产生由聚光透镜的光轴和入射光的光轴的偏移所引起的像差。本发明的激光头物镜是由聚光透镜和相位补偿板构成的带相位补偿板的激光头物镜，该聚光透镜的至少一个面上形成有台阶状的环带构造以补偿用波长λ1的激光束在基板厚度t1的信息记录媒体上进行记录读取时所产生的波面像差及用波长λ2的激光束在基板厚度t2的信息记录媒体上进行记录读取时所产生的波面像差，并且该相位补偿板补偿用波长λ3的激光束在基板厚度t3的信息记录媒体上进行记录读取时所产生的波面像差。根据这种结构，对于使用波长不同的三种信息记录媒体中的每种都能尽可能地保证波面像差降低的状态。
相位补偿激光头物镜使用装置

[发明专利]一种局部大面形误差智能补偿干涉检测系统和方法-CN202110513987.7有效
发明人：薛帅;戴一帆;石峰;宋辞 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：一种局部大面形误差智能补偿干涉检测系统和方法，包括波面干涉仪、标准镜头、静态补偿器、自适应光学元件和待测面，波面干涉仪装配有标准镜头；标准镜头以及待测面之间依次设置有静态补偿器和自适应光学元件，波面干涉仪连接远场光强数据读取装置，远场光强数据读取装置读取波面干涉仪获取的远场光强图像并输入到控制器；控制器根据远场光强图像预测并输出面形大误差模式像差拟合系数的推测值；自适应光学元件像差控制模块根据待测面的面形大误差模式像差拟合系数的推测值，生成自适应光学元件的驱动信号，驱动自适应光学元件产生补偿像差，实现待测面面形大误差的智能补偿检测。
一种局部大面误差智能补偿干涉检测系统方法

[发明专利]一种闭环迭代补偿干涉检测方法、装置和系统-CN202110460304.6在审
发明人：薛帅;戴一帆;陈善勇;刘俊峰;翟德德 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种闭环迭代补偿干涉检测方法、装置和系统，搭建闭环迭代补偿干涉检测装置，设置补偿相位优化子系统其智能优化算法的初始模式像差系数，模式像差系数即智能优化算法的优化变量；根据当前的模式像差系数，控制可变补偿元件产生相应相位，获得像差补偿后对应的干涉图以及干涉图对应的干涉图性能指标，判断相位补偿后的干涉图是否满足可完全被波面干涉仪解析的要求，若当前像差补偿后对应的干涉图不能满足可完全被波面干涉仪解析的要求，则更迭更新产生新的优化变量，直到像差补偿后的干涉图能够完全被波面干涉仪解析，执行检测操作。
一种闭环补偿干涉检测方法装置系统

[发明专利]光信息记录、再现、记录再现装置及其方法-CN201210457193.4有效
发明人：中村悠介;石井利树 -专利权人：日立民用电子株式会社
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： G11B7/0065 文献下载
摘要：本发明提供能够提高全息图的再现品质的波面像差检测方法和补偿方法，以具有下述光信息再现装置能够实现：其对全息记录介质进行再现，该全息记录介质是将使参考光与信号光干涉而得到的干涉条纹作为全息图记录的全息记录介质，该光信息再现装置的特征在于，包括：光检测器，其对被记录的全息图照射所述参考光，检测得到的再现光；光学元件，其使参考光分支而生成第一参考光和第二参考光；波面检测器，其使所述第一参考光与所述第二参考光干涉，由此检测波面像差；和波面补偿器，其对所述参考光的波面进行补偿，基于所述波面检测器的输出调整所述波面补偿器。
信息记录再现装置及其方法

[发明专利]成像光学系统的像差评估方法及其调整方法-CN03105337.8无效
发明人：松山知行 -专利权人：尼康株式会社
申请日： 2003-02-24 - 公布日： 2003-09-10 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种利用同时表现成像光学系统的像差的瞳内分布与像面内分布，可解析评估成像光学系统的像差的评估方法，包括设定一像差多项式，以像面坐标与瞳面坐标为函数，一般性表示投影光学系统PL的像差；于投影光学系统PL的一像面上多个点，测定其波面像差；由测定步骤所得到的波面像差，近似由瞳面坐标为函数之一所定多项式；根据近似步骤所得到的所定多项式的各项的系数，而决定像差多项式的各项系数。
成像光学系统评估方法及其调整

[发明专利]偏心量计测方法和偏心量计测装置-CN201580036032.X有效
发明人：佐藤阳辅 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2015-03-25 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：偏心量计测方法对配置在计测轴上的被检光学系统照射光束来计测偏心量，该偏心量计测方法具有以下步骤：取得步骤(S100)，根据从被检光学系统射出的光束取得波面数据；第1提取步骤(S200)，从波面数据中提取规定的像差成分；第2提取步骤(S300)，从规定的像差成分中提取第1像差成分；以及解析步骤(S400)，对与第1像差成分、偏心像差灵敏度和偏心量有关的联立一次方程式进行解析，规定的像差成分是包含由于偏心而产生的像差成分在内的像差成分，第1像差成分是规定的像差成分中的与偏心量的一次方成比例的像差成分，偏心像差灵敏度是与偏心量的一次方成比例的像差灵敏度。
偏心量计方法装置

[发明专利]一种基于反卷积神经网络的液晶像差校正方法-CN201910297270.6有效
发明人：郭弘扬;徐杨杰;黄永梅;杜升平;胡婕;任曦;李庆 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-04-15 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G02F1/139 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于反卷积神经网络的液晶像差校正方法，利用的系统包括：液晶像差校正器，成像探测器，反卷积神经网络模块。具体方法为，液晶像差校正器，作为执行机构对入射光的畸变波前进行校正；成像探测器负责采集液晶校正后的光束光斑图像；反卷积神经网络模块通过大量光斑数据学习训练后，根据成像系统传输的畸变光斑图像，推测出畸变光斑对应的校正波面灰度值，最终将校正波面灰度值加载在液晶像差校正器上，实现对波前像差的校正。该方法在卷积神经网络的基础上增加的反卷积层，可以根据畸变光斑波前直接生成校正波面灰度值，不需要额外设置灰度值转换模块，提高了控制系统的实时性。
一种基于卷积神经网络液晶校正方法

[发明专利]大数值孔径物镜的波像差拼接测量装置及测量方法-CN202110180217.5有效
发明人：卢云君;唐锋;王向朝;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种大数值孔径的物镜波像差测量装置及测量方法，测量装置包含波面测量模块、标准球面反射镜、可提供旋转和倾斜调整的旋转机构。待测物镜置于波面测量模块和标准球面反射镜中间，其光轴与波面测量模块光轴重合。将待测物镜全数值孔径范围内的波前划分为一系列子孔径波前，由旋转机构控制标准球面反射镜实现各子孔径的定位，由波面测量模块对子孔径数据进行测量，通过对子孔径数据进行拼接计算，最终得到待测物镜在全数值孔径范围内的波像差信息同时，通过标定波面测量模块的系统误差，提高了拼接测量精度。本发明具有测量通用性好、测量装置简单、可测的待测物镜数值孔径可扩展的特点，尤其适用于数值孔径N.A为0.9及以上的物镜波像差测量。
数值孔径物镜波像差拼接测量装置测量方法

[发明专利]一种动态范围和测量精度可调的哈特曼波前传感器-CN02123756.5无效
发明人：段海峰;王海英;李恩德;杨泽平;张雨东 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2002-06-24 - 公布日： 2004-01-07 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种动态范围和测量精度可调的哈特曼波前传感器由光学匹配系统、波面分割取样阵列元件、测量子孔径选通控制元件和CCD探测器组成，测量子孔径选通控制元件位于波面分割取样阵列的前面或后面，或光学匹配系统中与波面分割取样阵列的共轭位置，测量子孔径选通控制元件的采样通光子孔径与波面分割取样阵列子孔径的相同，通过控制测量子孔径的采样通光子孔径的选通来控制波面分割取样阵列的采样周期，以达到调整波前传感器测量精度和动态范围的目的。本通过采样分辨率的选择，既可以测量低频、P－V值大的像差，又可测高频、P－V值小的像差，具有结构简单、应用适应性强的优点，可广泛应用于光学加工的粗、精像差测量。
一种动态范围测量精度可调哈特曼波前传感器

[发明专利]一种大梯度相位型强光元件的可变补偿干涉检测系统与方法-CN202110161232.5有效
发明人：薛帅;石峰;宋辞;铁贵鹏;田野;邓明杰 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01B11/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种大梯度相位型强光元件的可变补偿干涉检测系统与方法，系统包括波面干涉仪、标准镜头、待测大梯度相位型强光元件、扩束系统、SLM、SLM相位控制系统和平移台，扩束系统用于实现SLM口径与波面干涉仪口径的匹配，SLM的控制端与SLM相位控制系统相连，SLM相位控制系统用于控制SLM产生可变的像差补偿，补偿待测大梯度相位型强光元件的超波面干涉仪量程的大梯度波前像差，平移台用于控制补偿待测大梯度相位型强光元件的横向平移，使波面干涉仪逐一测量相位元件的各个子孔径。本发明结合SLM可变像差补偿技术与子孔径拼接技术，具有提高干涉仪对相位型强光元件波前梯度适应能力的优点。
一种梯度相位强光元件可变补偿干涉检测系统方法

[发明专利]物镜波像差检测系统-CN201310246734.3有效
发明人：张运海;薛晓君;唐志豪 -专利权人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2013-06-20 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供的物镜波像差检测系统包括激光光源、双物镜波面干涉单元、CCD及与所述CCD电性连接的控制计算机。双物镜波面干涉单元包括第一分束棱镜、第一反射镜、参考物镜、玻片、待测物镜、第二分束棱镜及第二反射镜。另外，本发明还提供了一种物镜波像差检测的方法。本发明提供的物镜波像差检测系统和检测方法通过采用双物镜匹配方式得到参考物镜和待测物镜组合后的波像差，实现对大数值孔径显微物镜波像差的定量检测，解决了目前对大数值孔径物镜性能无法定量检测的难题。
物镜波像差检测系统

[发明专利]物镜-CN200810145099.9无效
发明人：岛野健;向尾将树 -专利权人：日立麦克赛尔株式会社
申请日： 2008-08-07 - 公布日： 2009-05-27 - 主分类号： G11B7/135 文献下载
摘要：通过在对HD必要的数值孔径(NA)的范围，具有BD和HD的衬底厚度的中间厚度的非球面形状，在BD专用的NA范围，具有BD专用的非球面形状的复合非球面透镜，做成BD再生时和HD再生时的HD的必要NA范围的像差波面形状具有形状相同仅符号反转的形状再有，在HD的NA范围，与使其像差波面的最大倾角为最小的散焦的球面像差波面对应，使环状透明电极图案最佳化。施加的相位差在无视像差的整数波长成分的±1/2波长以内，将施加相同电压的环状电极从有效光瞳直径范围的内侧到外侧一笔画状连接并引出布线。
物镜

[发明专利]球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法-CN201110056028.3有效
发明人：杨甬英;王道档;陈琛;侯溪;卓永模 -专利权人：浙江大学;中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-03-09 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明通过干涉仪测得待测球面对应微米量级的两组不同离焦量的原始波面数据，再对该波面数据取差值得到波前差分，根据波前差分的波面拟合对应项系数与离焦项的比值，从原始波面数据中分离出离焦调整误差所引入的高阶像差，最后消去原始波面数据中的常数项、倾斜项、离焦项及其对应高阶像差项，进而实现对倾斜、离焦调整误差的高精度校正。
球面干涉检测基于波前差分高精度调整误差校正方法

[发明专利]基于可变补偿透镜的非球面面形干涉测量方法及装置-CN201610348548.4有效
发明人：陈善勇;戴一帆;李圣怡;卢劲丰;薛帅;彭小强 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于可变补偿透镜的非球面面形干涉测量方法，方法步骤包括：在波面干涉仪形成的点光源与被测非球面之间插入可变补偿透镜；调整可变补偿透镜在点光源与被测非球面之间的距离，使得经可变补偿透镜补偿后的剩余像差在波面干涉仪的动态测量范围内；根据经可变补偿透镜补偿后的剩余像差获取被测非球面的面形误差。装置包括波面干涉仪和可变补偿透镜，可变补偿透镜布置于波面干涉仪形成的点光源的前侧，可变补偿透镜和波面干涉仪的光轴重合，可变补偿透镜为平凹单透镜或平凸单透镜，平凹单透镜的凹面或平凸单透镜的凸面为高次非球面
基于可变补偿透镜球面干涉测量方法装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 8289 条