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- [发明专利]确定光刻中基板的位置-CN201380068339.9有效
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G.德博尔;N.弗吉尔
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迈普尔平版印刷IP有限公司
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2013-10-28
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2015-09-02
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G03F9/00
- 本发明涉及一种包括光学位置标记(100)的基板(12，513)，该标记用于以光学记录头(500)读出以发射具有预确定波长的光，优选地为红色或红外线光，尤其为具有635nm的光，该光学位置标记(100)具有标记高度和在该基板(12，513)上预确定的已知位置，该光学位置标记(100)沿纵向方向(x)延伸并且被布置成用于改变该位置标记(100)沿所述纵向方向(x)的反射系数，其中该光学位置标记(100)包括：第一区域(101)，其具有第一反射系数和第一宽度(W)；第二区域(102)，其与第一区域(101)相邻并形成第一区域对(105)，该第二区域(102)具有第二反射系数和第二宽度(W)，并且第二反射系数与第一反射系数不同，其中该第一区域(101)包括相对于预设定波长光的波长的次波长结构(SWS)。
- 确定光刻中基板位置
- [发明专利]曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法-CN201611142628.0有效
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永井善之
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佳能株式会社
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2016-12-13
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2019-05-14
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G03F7/20
- 提供一种曝光装置，使用相移掩模曝光基板，相移掩模包含在基准波长下使透射光的相位相互不同的第1区域及第2区域，曝光装置的特征在于包括第1变更部，变更照明所述相移掩模的光的照明波长；投影光学系统，将所述相移掩模的图案图像投影到所述基板；第2变更部，变更所述投影光学系统的球面像差；控制部，根据利用所述第1变更部变更为与所述基准波长不同的波长的所述照明波长及所述基准波长，控制基于所述第2变更部的所述球面像差的变更，在变更为与所述基准波长不同的波长的所述照明波长下，照明所述相移掩模，使用具有根据所述照明波长及所述基准波长变更的所述球面像差的所述投影光学系统，将所述相移掩模的图案图像投影到所述基板。
- 曝光装置方法以及物品制造
- [发明专利]多波长无源光网络系统-CN201310248510.6无效
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肖会会
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苏州彩云飞电子有限公司
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2013-06-21
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2013-09-04
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H04Q11/00
- 本发明提供了一种多波长无源光网络系统，包括光线路终端、光分配网络和多个光网络单元，所述光分配网络包括第一级分光器和多个第二级分光器，其中所述第一级分光器包括上行公共端口、下行公共端口、多个上行分支端口和多个下行分支端口，所述第一级分光器的下行分支端口连接的下行分支光纤分别串接有波长反射器，所述第一级分光器的下行公共端口连接有光吸收器，且不同的波长反射器分别具有不同的透射波长和反射波长；其中，所述光线路终端向所述光网络发送的下行XGTC帧的帧头包括波长指示域，所述波长指示域用于承载波长指示信息。
- 波长无源网络系统
- [发明专利]共路副载波复用光标记方法-CN02112062.5无效
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肖鹏程;曾庆济
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上海交通大学
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2002-06-13
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2002-12-04
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H04B10/12
- 本发明涉及一种共路副载波复用光标记方法,将光标记通信网络中的某些波长固定分配为标记波长,并在标记波长上进一步采用副载波复用技术,实现多个并行的共路标记通道。各标记通道对各载荷波长是共享的,在时域上可并行同时发送多个数据包的标记。标记信息通过数据波长标识域与其相应的数据包相对应,并实现数据包的交换与新标记的插入。本发明利用光与电的频分复用的原理,直接在光域和电域利用带通滤波器件实现光标记的提取与重写,技术简单、成熟,易于实现,网络波长资源的利用率非常高。
- 共路副载波用光标记方法
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