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- [实用新型]应用了低温捕集泵的高效抽真空系统-CN201521134430.9有效
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倪邦火
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深圳市富达冷冻设备有限公司
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2015-12-30
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2016-06-08
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F04B37/14
- 本实用新型具体涉及一种应用了低温捕集泵的高效抽真空系统,包括油扩散泵、真空室、低温捕集泵、第一捕集器、第二捕集器以及低温冷阱;油扩散泵与真空室连接以在真空室中形成真空环境,低温冷阱固定在油扩散泵的泵口,第一捕集器安装在真空室的抽气孔处,第二捕集器安装在真空室的底部;低温捕集泵分别与第一捕集器、第二捕集器以及低温冷阱连接。本实用新型在真空室的抽气孔处设置了第一捕集器,在真空室的底部设置了第二捕集器,两个捕集器通过表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统中的残余气体,缩短抽真空的时间,获得洁净的真空环境;在油扩散泵的泵口设置了低温冷阱,可以防止油扩散泵返油,同时加快抽真空速度并提高极限真空度。
- 应用低温捕集泵高效真空系统
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