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- [实用新型]水平电镀槽及水平电镀线-CN202321032912.8有效
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雷光才;龚庆;裴文龙;许应杰;陆健;陈海峰;张垚磊;黄波;钱江烽
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江苏启威星装备科技有限公司
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2023-05-04
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2023-09-15
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C25D17/02
- 本实用新型公开了一种水平电镀槽，并公开了具有水平电镀槽的水平电镀线，其中水平电镀槽包括槽体、上阳极件、下阳极件、上导电辊及下导电辊，上阳极件和下阳极件均设于槽体内，上阳极件和下阳极件沿上下方向相对设置，多条上导电辊并排间隔设置，上导电辊设于上阳极件和下阳极件之间，多条下导电辊并排间隔设置，下导电辊设于上导电辊和下阳极件之间，上导电辊和下导电辊沿水平方向错开设置，上导电辊的辊面和下导电辊的辊面分别用于抵靠在待镀件的相对的表面，能够增加上导电辊和下导电辊在水平方向上的间距，以避免未经过待镀件的上导电辊和下导电辊的辊面快速沉积金属的情况发生，能够防止上导电辊和下导电辊擦伤待镀件或其表面的镀层。
- 水平电镀
- [实用新型]水平电镀槽-CN202122552766.9有效
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傅爱国
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南京国阳电子有限公司
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2021-10-22
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2022-03-01
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C25D17/02
- 本实用新型属于电镀槽领域，尤其是一种水平电镀槽，针对现有的水平电镀槽不能够对电镀过程中产生的废气进行吸附，影响电镀环境洁净性的同时会影响工作人员的身体健康，影响使用效果的问题，现提出如下方案，其包括顶部设置有开口的槽体所述收纳块为中空设置，且收纳块的后侧内壁上转动安装有左轴和右轴，左轴和右轴相互远离的一侧均固定安装有转辊，两个转辊相互远离的一端分别贯穿收纳块的左侧内壁和右侧内壁并延伸至槽体的左侧和右侧，本实用新型较之常规的水平电镀槽，可以便于对电镀过程中产生的废气进行吸附，保证电镀环境的洁净性，还不会威胁工作人员的身体健康，使用效果佳。
- 水平电镀
- [发明专利]电镀装置及晶圆的电镀方法-CN202310028122.0在审
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严立巍;朱亦峰;刘文杰;马晴
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浙江同芯祺科技有限公司
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2023-01-09
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2023-06-23
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C25D17/02
- 本发明提出了一种电镀装置及晶圆的电镀方法，电镀装置包括：外腔组件和内腔组件，外腔组件具有容置腔，内腔组件可拆卸地设于容置腔内，内腔组件具有多个电镀区域，每个电镀区域内均具有间隔设置的阳极板和待电镀部件，待电镀部件水平放置，且待电镀部件在水平面内可转动。根据本发明的电镀装置，采用可组装的内腔组件和外腔组件，在待电镀部件进行电镀时，可以将内腔组件从外腔组件中取出，以便于待电镀部件的放置。电镀装置采用水平电镀的方式，待电镀部件电镀过程中，在水平面内转动，从而可以去除待电镀部件表面产生的气泡，从而提高电镀质量。而且，该电镀装置，可以同时进行多片待电镀部件的电镀，提高了电镀效率。
- 电镀装置方法
- [实用新型]一种水平电镀槽及水平电镀线-CN202022159001.4有效
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张振;李建中;尚庆雷
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昆山东威科技股份有限公司
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2020-09-27
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2021-07-20
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C25D19/00
- 本实用新型提供一种水平电镀槽及水平电镀线，包括机架、槽体、驱动装置、多个阳极盒和多个导电辊。阳极盒在槽体内呈上下两层间隔设置，上下两侧阳极盒之间形成供待镀件移动的过件通道，同层的阳极盒之间水平间隔设置，导电辊设置在水平间隔的阳极盒之间，导电辊的辊面适于抵靠在待镀件的表面，与待镀件充分接触，保证导电的稳定性驱动装置设置在靠近槽体内相对的两侧槽壁并分别适于固定待镀件的相对的两侧边缘，使得驱动装置不占用槽体的内部空间，槽体内可以充分紧密的布置阳极盒，提高电镀的均匀性，在提供足够有效覆盖面积的电镀区域的同时，缩短电镀槽体的长度，即缩短待镀件在电镀过程中的运行时间，提高电镀效率。
- 一种水平电镀
- [实用新型]一种水平电镀槽及水平电镀线-CN202022162296.0有效
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张振;李建中;尚庆雷
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昆山东威科技股份有限公司
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2020-09-27
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2021-07-20
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C25D17/02
- 本实用新型提供一种水平电镀槽及水平电镀线，包括机架、槽体、驱动装置、多个阳极盒和导电装置。阳极盒在槽体内呈上下两层间隔设置，上下两侧阳极盒之间形成供待镀件移动的过件通道，同层的阳极盒之间水平间隔设置，驱动装置设置在靠近槽体内相对的两侧槽壁并分别适于固定待镀件的相对的两侧边缘，且导电装置通过驱动装置为待镀件供电，使得驱动装置和导电装置均不占用槽体的内部空间，槽体内可以充分紧密的布置阳极盒，提高电镀的均匀性；在提供足够有效覆盖面积的电镀区域的同时，缩短电镀槽体的长度，即缩短待镀件在电镀过程中的运行时间，提高电镀效率
- 一种水平电镀
- [实用新型]一种水平电镀槽及水平电镀线-CN202222627137.2有效
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李建中;张振
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昆山东威科技股份有限公司
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2022-09-30
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2023-01-24
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C25D17/00
- 本实用新型提供的一种水平电镀槽及水平电镀线，属于电镀技术领域，一种水平电镀槽，包括：机架，开设有电镀槽；所述电镀槽内设置有待渡金属溶液；所述电镀槽内设置有阳极壳；清洗槽，设置有清洗溶液；阳极夹持部在驱动机构的驱动下在所述电镀槽和所述清洗槽之间移动本装置在对待镀件进行电镀的过程中，阴极夹持部夹持待镀件经过电镀槽，使待镀件与阴极夹持部一同成为阴极材料，使得待镀件完成电镀，同时阴极夹持部在驱动机构的驱动下返回电镀槽的起始端，在阴极夹持部返回的途中经过清洗槽，清洗槽内设置有清洗溶液，能够溶解阴极夹持部表面的被电镀的金属，保证阴极夹持部重新夹持待镀件时处于完美状态。
- 一种水平电镀
- [实用新型]一种无上电极水平电镀装置-CN202020349607.1有效
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邓晓帆;李中天;姚宇
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苏州太阳井新能源有限公司
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2020-03-19
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2020-12-04
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C25D7/12
- 本实用新型公开了一种无上电极水平电镀装置，包括若干个等高设置的电解质溶液槽，待电镀基片位于电解质溶液槽上面与且下表面与电解质溶液接触，待电镀基片下表面分为待电镀区域及非电镀区域，待电镀区域表面为导电材料，非电镀区域表面为不导电材料，待电镀基片下表面电相连有水平传输装置和阴极导电装置，水平传输装置和阴极导电装置与电解质溶液槽间隔设置，水平传输装置带动待电镀基片水平运动，电解质溶液内设置有金属阳极，阴极导电装置与金属阳极分别与外置偏压电源的负极和正极相连本实用新型提供的一种无上电极水平电镀装置，能够能够在待电镀基片表面形成均匀性好、可靠性高的金属沉积且不易造成待电镀基片或其表面损伤。
- 一种无上电极水平电镀装置
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