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- [发明专利]水平度测量装置和水平度调节方法-CN202110314763.3在审
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王欢
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2021-03-24
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2021-07-09
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G01C9/00
- 本发明公开一种水平度测量装置和水平度调节方法，水平度测量装置用于测量位于半导体设备中的被测物体和基准物体之间的水平度，被测物体和基准物体均设置于由透明罩和反应腔体围成的反应腔室内，水平度测量装置包括安装件安装件能够设置于半导体设备上，测距传感器通过连接件活动安装于安装件，且测距传感器可透过透明罩测量被测物体上多个预设位置与基准物体上对应位置之间在基准物体的轴向上的第一间距，第一间距用于测量被测物体和基准物体之间的水平度上述技术方案可以解决目前基座等被测物体和预热环等基准物体之间的相对水平度的测量精度差，且影响工艺连续性的问题。
- 水平测量装置调节方法
- [实用新型]水平度调节装置-CN202021091034.3有效
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卢彧文;周志伟;尹建刚;叶建春;李欢;颜传祥;陈锐;高云峰
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大族激光科技产业集团股份有限公司
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2020-06-12
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2021-07-13
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F16M11/04
- 本实用新型涉及辅助装置技术领域，尤其涉及一种水平度调节装置。水平度调节装置包括下板、上板、锁紧组件及调节件，上板位于下板的上方，并具有相邻且成组设置的调节孔及锁紧孔，锁紧组件包括连接件及弹性件，连接件固定在下板上，并穿设于锁紧孔，连接件穿出锁紧孔的一端具有沿径向延伸的凸缘，弹性件套设于连接件，并抵紧于凸缘与上板之间，调节件穿设于调节孔，并能够在外力作用下带动上板与调节件的连接处上下移动。通过设置锁紧组件及与调节孔相邻且成组设置的锁紧孔，在对水平度进行调节时，弹性件能够在邻近连接处的位置给上板一个向下的弹力，以压紧上板，有效避免上板发生轴向窜动，造成水平度调节不准确或者影响水平度调节的效率
- 水平调节装置
- [实用新型]水平度调节工具-CN202221651913.6有效
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陈小文
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陈小文
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2022-06-28
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2022-10-25
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B25B11/00
- 本发明属于夹具领域，涉及一种水平度调节工具，包括夹头组件和放置板，所述的夹头组件固定连接有水平调节基座，所述的水平调节基座设有调节绕线X轴和Y轴，所述的水平调节基座与放置板之间设有水平调节机构，所述的水平调节机构能使水平调节基座沿着X轴或/和Y轴进行调节从而调节夹头组件上的工件的水面平行度。其优点在于水平调节机构能使水平调节基座沿着X轴或/和Y轴进行调节从而调节夹头组件上的工件的水面平行度，通过绕着X轴和Y轴两个方向来小角度旋转调整水平调节基座以此来解决夹紧工件后导致的工件水平度精度不够高
- 水平调节工具
- [发明专利]蒸镀装置-CN201810735696.0有效
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杨涛;施展
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武汉华星光电半导体显示技术有限公司
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2018-07-06
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2020-06-30
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C23C14/24
- 该蒸镀装置包括至少一个距离传感器、调节件、承载板以及触摸板；所述承载板，用于承载基板；触摸板，设置在基板上，触摸板与承载板相对间隔设置；至少一个距离传感器，用于测量承载板的水平度，得到第一水平度，至少一个距离传感器用于测量触摸板的水平度，得到第二水平度；调节件，用于根据第一水平度和第二水平度，调节承载板和/或触摸板的水平度，使承载板和触摸板之间的相对水平度处于预设相对水平度范围。该方案通过设置调节件，调节承载板和触摸板之间的相对水平度，使相对水平度处于预设相对水平度范围，可以提高有机电致发光器件的良品率。
- 装置
- [实用新型]一种移动平台的水平度校准装置-CN201922494350.9有效
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张义;郑飞跃
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湖北中鄂生态环保科技有限公司
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2019-12-31
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2020-09-15
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G01C9/34
- 本实用新型公开了一种移动平台的水平度校准装置，包括面板、及设置于面板上的水平度校准组件；水平度校准组件包括沿面板表面均匀布置的多组调节件、及与调节件对应的多个水平度检测管；每一水平度检测管均弯折形成多个相交的拱形桥，拱形桥与面板平面相切，水平度检测管内灌装液体并于每一拱形桥处形成水平泡，拱形桥的管段为透明管段；相交处的所述拱形桥外壁刻有校准圆圈，当面板的水平度校准完成后，交汇形成的水平泡与校准圆圈重合；调节件用于调节面板对应位置的高差通过多个拱形桥交汇后的水平泡与校准圆圈重合，使得面板从多方向均能完成水平度校准；设置多组水平度校准组件进一步保证面板水平度校准的精度。
- 一种移动平台水平校准装置
- [实用新型]稳定流量秤-CN202023183599.7有效
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陈锋
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奥特赛斯（天津）科技发展有限公司
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2020-12-25
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2021-07-20
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G01G21/08
- 本实用新型涉及一种稳定流量秤，包括呈上下排列且连通的延伸料斗和主料斗，所述延伸料斗的顶端设有排气口和软连接接口，所述主料斗的底端固定称量模块，所述称量模块固定在底板上，所述底板底部的四个角端分别设置水平度调节组件以对螺旋秤的水平度进行调节，所述底板的四个侧壁上分别设有水平度检测组件，以检测底板的水平度。通过在底板的四个侧壁上分别安装水平度检测组件，能够多方向检测底板的水平度，通过观察水平度检测组件能够直接判断底板是否处于水平放置状态，并配合水平度调节组件即可直接调节螺旋秤的水平度，使其保持水平放置，保证了称量精准性
- 稳定流量
- [实用新型]涂胶机辅助系统-CN201921763903.X有效
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李远;张兆明;陈健龙;吴健
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上海汽车集团股份有限公司
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2019-10-21
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2020-08-25
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B05C13/00
- 本实用新型公开了一种涂胶机辅助系统，包括支撑装置、用于调节支撑装置工作状态的调节装置；用于检测待涂胶零件的涂胶面的水平度的水平度测量装置；以及控制装置。该控制装置接收水平度测量装置检测到的涂胶面的水平度信息，并根据检测到的涂胶面的水平度信息控制调节装置的工作状态，以使涂胶面达到预定的水平度。本实用新型提供的涂胶机辅助系统，即使针对不同的需要涂胶的零件，仍可以通过水平度测量装置检测到的水平度信息，对调节装置的高度进行调节，以使零件的水平度满足涂胶要求。操作人员在涂胶之前无需选择适合该零件的涂胶机辅助系统，仅仅通过本实用新型提供的涂胶机辅助系统的自动调节即可满足零件的涂胶面对水平度的要求。
- 涂胶辅助系统
- [实用新型]一种便于调节水平度的电子天平-CN202222092236.5有效
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何仁棋
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华志（福建）电子科技有限公司
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2022-08-09
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2022-12-16
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G01G21/08
- 本实用新型涉及便于调节水平度的电子天平，具体涉及一种便于调节水平度的电子天平，所述旋转柱水平贯穿天平外壳的一侧壁并转动连接于天平外壳，所述调节柱设置在天平外壳内，所述调节柱的固定端通过万向节连接旋转柱，活动端转动连接调高组件；所述传感器组件连接于调节柱；两个所述压电片互相垂直且设置在调节柱上。本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供的便于调节水平度的电子天平中，传感器组件X轴Y轴水平度的调节互不干涉；使用压电片使传感器组件的水平度调节精确，为了调节称重传感器水平而无需调节整个便于调节水平度的电子天平，使水平度的调节精准而方便。
- 一种便于调节水平电子天平
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