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- [发明专利]超高分辨率光栅尺-CN201310122926.3有效
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魏泽鼎;石建玲;张弛
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河北科技大学
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2013-04-10
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2013-08-07
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G01B11/02
- 一种超高分辨率光栅尺,它包括平面光源以及垂直于平面光源的照射方向并沿平面光源的照射方向依次排列且彼此平行的定光栅、动光栅和线阵CCD传感器,所述线阵CCD传感器与动光栅并排固定在一起,所述线阵CCD传感器的感光单元的长度与动光栅的长度相对应;在定光栅的栅格数为N-1的长度上动光栅的栅格数恰好是N个栅格,即动光栅的栅距等于定光栅的栅距*[(n-1)/n],其中,n是在动光栅长度内所能刻画出的光栅数。本发明的定光栅和动光栅利用游标卡尺的测量原理测量位移,同时利用线阵CCD传感器采集测量信号,大大提高了光栅尺的分辨率,特别适用于对测量精度要求较高的场合。
- 超高分辨率光栅尺
- [发明专利]一种平面二维时栅位移传感器-CN201410275459.2有效
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武亮;彭东林;陈锡候;鲁进;汤其富;郑方燕
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重庆理工大学
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2014-06-19
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2014-09-03
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G01B7/02
- 本发明提出一种平面二维时栅位移传感器,由上下平行相对布置的定阵面和动阵面两部分构成。定阵面由定阵面基体和布置于定阵面基体表面的激励线圈组成;动阵面由动阵面基体和布置于动阵面基体表面的感应线圈组成。采用单个动阵面通过电磁感应原理获取定阵面不同位置处的磁信号,利用时空坐标转换理论,将磁信号(空间信息)转化为电信号(时间信息)进行处理,从而得到平面二维空间位移量。本发明不需要垂直安装两个直线位移传感器,不需要复杂工艺制备的二元光学器件,不需要复杂的光路设计,采用普通的半导体加工工艺制备动阵面和定阵面,因而具有结构简单、成本低、抗油污粉尘和冲击振动能力强的特点。
- 一种平面二维位移传感器
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