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[实用新型]带倒向波抑制环形混合腔固体板条激光器-CN200720069141.4无效
发明人：黄剑峰;施翔春 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2007-04-20 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： H01S3/16 文献下载
摘要：一种带倒向波抑制的环形混合腔固体板条激光器，其特点是该激光器的光路上以光轴为中心线，依次放置三角棱镜、板条增益介质、刮刀镜、扩束系统、第一全反射腔镜，其中所述的刮刀镜、第一全反射腔镜和第二全反射腔镜均与光轴成一定角度放置以板条增益介质为中心，其宽度方向上，自内向外依次对称放置整形耦合系统和半导体激光二极管阵列。该板条增益介质厚度方向的上下两个大面分别与第一、第二微通道散热器紧贴在一起。本实用新型结构紧凑，可以获得稳定的高重复频率、高效率、高光束质量的激光输出。
倒向抑制环形混合固体板条激光器

[发明专利]一种紧凑型板条脉冲激光器-CN202110594023.X在审
发明人：许昌;王志敏;邹跃;涂玮;薄勇;彭钦军 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H01S3/091 文献下载
摘要：本发明公开了一种紧凑型板条脉冲激光器，包括激光振荡腔，所述激光振荡腔由沿同一轴线依次排列的全反射镜(1)、键合晶体(2)和输出镜(5)组成，所述键晶体(2)的两端面(201)为斜面，且与轴线的夹角呈布鲁斯特角本发明是基于被动调Q原理的二极管阵列泵浦键合晶体的脉冲激光器，其结构简单紧凑，可以产生峰值功率达数百至数千瓦的脉冲激光。本发明中还采用键合晶体(2)作为工作介质，键合晶体结合作为增益介质的激光晶体(21)和被动调Q晶体(22)为一体，可以减小激光工作中工作介质的热效应，同时将键合晶体(2)设置为板条状结构，增大与热沉(4)的接触面积，有效降低固体激光器，尤其是高功率固体激光器的热管理要求，是实现紧凑型高功率脉冲激光的有效途径。
一种紧凑型板条脉冲激光器

[发明专利]用于晶圆退火的CO2-CN202310337945.1在审
发明人：李玉洁;王修正;唐霞辉;彭浩;刘彦;胡冲;郑毅;梁琦 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01S3/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法，属于集成电路晶圆退火领域。装置包括频板条CO2激光器、光场传感器、温度传感器、聚焦镜、反射镜、衍射元件、第一柱面聚焦镜、可调式菲涅尔棱镜、分光镜、第二柱面聚焦镜、半导体激光器。通过光场传感器实时监测菲涅尔棱镜匀化后的光束均匀度，调节可调式菲涅尔棱镜，能够提高激光的均匀性，提高晶圆退火质量增加退火的成功率。并通过温度传感器检测晶圆退火时表面温度场，将信息传至上位机，结合光场分布，对射频板条CO2激光器的功率进行实时调控，保证晶圆激光退火成功率。
用于退火 co base sub

[发明专利]激光器的模式选择技术-CN201110024139.6有效
发明人：杰森·罗伯特·李;加文·艾伦·詹姆斯·马基利 -专利权人：罗芬-西纳英国有限公司
申请日： 2011-01-21 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： H01S3/223 文献下载
摘要：本发明公开了激光器的模式选择技术，其中在激光器波导管表面上设置有凹部。所述凹部提供波导管内自由空间传播区域，其中优先选择最低阶模式。设置一种模式选择性射频激励板条CO2激光器，其在波导管尺寸内具有稳定的谐振器，在非波导尺寸内具有负支不稳定谐振器，考虑凹部的位置和大小、以提供低阶模式选择。
激光器模式选择技术

[发明专利]一种板条激光增益介质封装方法-CN201811372167.5有效
发明人：唐晓军;陈露;刘洋;王超;刘磊;梁兴波;吕坤鹏;王钢 -专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01S3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种板条激光增益介质封装方法，涉及固体激光器技术领域，该方法包含如下步骤：对板条激光增益介质的焊接面进行镀膜处理；对热沉的焊接面进行处理，使所述热沉的焊接面满足指定要求；选取焊接过渡片，通过两块热沉的焊接面各包夹一块所选取的焊接过渡片，在两块焊接过渡片之间包夹设置所述板条激光增益介质组成焊接体；对所述焊接体进行焊接，完成所述板条激光增益介质的封装。本发明封装方法降低激光增益介质和热沉的焊接应力，从而降低了激光增益介质和热沉的焊接层的热应力，提高板条激光增益介质模块的光束质量及可靠性。
一种板条激光增益介质封装方法

[发明专利]一种板条式二氧化碳玻璃管激光器-CN202010944635.2在审
发明人：桑魏魏;袁建;冯军军;沈亚东;张义贤 -专利权人：南通斯派特激光科技有限公司
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种板条式二氧化碳玻璃管激光器，包括核心放电腔，所述核心放电腔依次被内玻璃管和外玻璃管包覆，所述内玻璃管的两端分别设有正极放电电极和负极放电电极，所述内玻璃管的两端靠近正极放电电极和负极放电电极处分别设有回气圆盘与固定圆盘；在长度没有增加的情况下，增加了放电体积，工作气体气压高，获得饱和光强更高，也就是增加了激光增益，激光器的功率输出，和激光增益大小近似成正比，和饱和光强成正比，所以，可获得更高的激光输出功率，降低了激光管的生产成本，在输出同等激光功率的情况下，板条式二氧化碳玻璃管激光器的长度更短，其对运输及安装环境的要求更低。
一种板条二氧化碳玻璃管激光器

[实用新型]一种板条式二氧化碳玻璃管激光器-CN202021963977.0有效
发明人：桑魏魏;袁建;冯军军;沈亚东;张义贤 -专利权人：南通斯派特激光科技有限公司
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种板条式二氧化碳玻璃管激光器，包括核心放电腔，所述核心放电腔依次被内玻璃管和外玻璃管包覆，所述内玻璃管的两端分别设有正极放电电极和负极放电电极，所述内玻璃管的两端靠近正极放电电极和负极放电电极处分别设有回气圆盘与固定圆盘；在长度没有增加的情况下，增加了放电体积，工作气体气压高，获得饱和光强更高，也就是增加了激光增益，激光器的功率输出，和激光增益大小近似成正比，和饱和光强成正比，所以，可获得更高的激光输出功率，降低了激光管的生产成本，在输出同等激光功率的情况下，板条式二氧化碳玻璃管激光器的长度更短，其对运输及安装环境的要求更低。
一种板条二氧化碳玻璃管激光器

[发明专利]一种百瓦级1.9微米固体激光器-CN201310322911.1无效
发明人：姚宝权;段小明;鞠有伦;贺万骏;王月珠 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-07-29 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： H01S3/07 文献下载
摘要：一种百瓦级1.9微米固体激光器，涉及固体激光器领域。解决了现有固体激光器亮度低和所能承受的泵浦光功率有限从而使固体激光器的工作效率很低的问题。一种百瓦级1.9微米固体激光器，它包括四个半导体激光器，每个半导体激光器发射出波长为790nm的LD泵浦光；它还包括第一1.9μm全反镜、第二1.9μm全反镜、第三1.9μm全反镜、第一1.9μm激光晶体、第二1.9μm激光晶体、YAG标准具和1.9μm输出耦合镜，所述第一1.9μm激光晶体和第二1.9μm激光晶体均为板条状，第一1.9μm全反镜、第二1.9μm全反镜和第三1.9μm全反镜的全反射的临界角均为本发明适用于激光医疗和工业生产。
一种百瓦级 1.9 微米固体激光器

[发明专利]板条激光器和放大器以及其使用方法-CN201380046502.1有效
发明人： M·A·斯图尔特;S·L·坎宁安 -专利权人： M·A·斯图尔特;S·L·坎宁安
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： H01S3/06 文献下载
摘要：一种用于高功率应用的板条激光器以及其使用方法，所述高功率应用包含制造半导体，以及沉积金刚石和/或类金刚石碳层及其它材料。利用一种灯驱动的板条设计，其具有面对面的束传播方案以及端反射，所述端反射使放大的辐射改向返回从同一输入表面出来。还公开一种并排放大器配置，其准许具有可扩展性的非常高的平均和峰值功率。邻近于泵灯的腔滤光片将泵灯谱的通常不可用的UV部分转换成所述板条激光器的吸收带中的光，从而增加总体泵效率。改变端反射表面的角度以致使出口束处于与入口束不同的角度，从而消除以功率的后续损失为代价在激光器外部分离所述束的昂贵需要。
板条激光器放大器及其使用方法

[发明专利]一种激光放大器及激光器-CN202310806593.X在审
发明人：何淳;夏涛 -专利权人：西安炬光科技股份有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本申请实施例涉及激光设备技术领域，公开了一种激光放大器及激光器，该激光放大器包括：板条晶体组件和反射镜；板条晶体组件用于使种子光束入射至板条晶体组件进行正向之字形传输以进行第一轮放大后出射；反射镜设置于板条晶体组件的一侧，反射镜的反射面被配置为椭球面，反射镜用于将经过第一轮放大后出射的种子光束反射回板条晶体组件；板条晶体组件还用于使由反射镜反射的种子光束进行反向之字形传输以进行第二轮放大后从板条晶体组件出射。通过上述方式，本申请实施例在满足了激光放大器的小型化需求的同时，获得了更高增益的激光束。
一种激光放大器激光器

[发明专利]一种高效冷却的大面泵浦板条激光模块-CN201410135912.X在审
发明人：许祖彦;王鹏远;薄勇;彭钦军;申玉;宗楠 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2014-04-04 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： H01S3/042 文献下载
摘要：一种高效冷却的大面泵浦板条激光模块，包括板条激光介质、透明热沉、透明冷却装置、半导体泵浦源；本发明通过在固体板条状激光介质的大面上键合或光胶热导率高、透光性好的透明热沉，及使用透明冷却装置来实现板条激光器的大面同时作为冷却面和泵浦面，以改变现有大面泵浦板条模块只能将上下两个表面分别作为泵浦面和制冷面，单一表面进行制冷容易在沿泵浦光方向纵向上产生热梯度，影响输出光束的光束质量的不足。并以在激光介质大面上键合或光胶的形式代替金属热沉的焊接形式，以消除焊接对激光介质造成的应力，从而实现高功率、高光束质量的激光输出。
一种高效冷却大面板条激光模块

[发明专利]自适应调节空间滤波器及大功率射频板条CO₂激光器-CN201611249963.0有效
发明人：唐霞辉;赵晟;肖龙胜;秦应雄;肖瑜;万辰皓;许介铭;姚巍 -专利权人：华中科技大学;深圳华中科技大学研究院
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： G02B27/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于大功率射频板条CO₂激光器的自适应调节空间滤波器，属于光束整形领域；现有技术中由于滤波器参数不能调节，当光束发生变化时光束质量严重下降；本发明提供的自适应调节滤波器包括控制单元和机械单元；控制单元接收温度传感器和四象限光探测器的信号，判断光路的状态和光束质量，控制机械单元中的精密步进电机和两个高分辨率直线电机运动，改变滤波器的狭缝大小、位置和姿态；非稳方向的光束旁瓣被滤除，得到各个方向发散角近似相等且光场强度呈基模高斯分布的圆形光束，对于射频板条激光器滤波器可以快速调节到最佳位置，提高了激光器系统的稳定性，降低了激光器输出光束质量对滤波器状态的敏感性。
一种应用于大功率射频板条 co2 激光器自适应调节空间滤波器

[发明专利]双棱镜环形腔侧面泵浦板条固体激光器-CN200710044764.0无效
发明人：邓泽微;施翔春 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2007-08-10 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： H01S3/05 文献下载
摘要：一种双棱镜环形腔侧面泵浦板条固体激光器，包括激光板条，其结构是以该激光板条为中心，在该激光板条的两大面分别贴设有板条冷却热沉，在该激光板条的两侧面向外同样依次是透镜导管和激光二极管阵列，所述的激光二极管阵列贴设在泵浦冷却热沉上，在所述的激光板条的一端是布儒斯特角等腰三角形棱镜，所述的激光板条的另一端是等腰直角三角形棱镜，在所述的布儒斯特角等腰三角形棱镜的倒向波输出方向并垂直于该倒向波光束设有一平面反射镜，所述的布儒斯特角等腰三角形棱镜的底边上的高度h与所述的激光板条的宽度w满足下列关系式：0.49w＜h＜1.45w。本发明具有结构简单、紧凑、稳定性高的特点，容易实现大功率的激光输出。
棱镜环形侧面板条固体激光器

[实用新型]双棱镜环形腔侧面泵浦板条固体激光器-CN200720073476.3无效
发明人：邓泽微;施翔春 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2007-08-10 - 公布日： 2008-07-09 - 主分类号： H01S3/05 文献下载
摘要：一种双棱镜环形腔侧面泵浦板条固体激光器，包括激光板条，其结构是以该激光板条为中心，在该激光板条的两大面分别贴设有板条冷却热沉，在该激光板条的两侧面向外同样依次是透镜导管和激光二极管阵列，所述的激光二极管阵列贴设在泵浦冷却热沉上，在所述的激光板条的一端是布儒斯特角等腰三角形棱镜，所述的激光板条的另一端是等腰直角三角形棱镜，在所述的布儒斯特角等腰三角形棱镜的倒向波输出方向并垂直于该倒向波光束设有一平面反射镜，所述的布儒斯特角等腰三角形棱镜的底边上的高度h与所述的激光板条的宽度w满足下列关系式：0.49w＜h＜1.45w。本实用新型具有结构简单、紧凑、稳定性高的特点，容易实现大功率的激光输出。
棱镜环形侧面板条固体激光器

[发明专利]环形腔板条激光器光腔准直方法及准直调节装置-CN202011481106.X在审
发明人：武春风;王勋;董理治;戴勋义;朱彦;王晓丹;陈善球 -专利权人：航天科工微电子系统研究院有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了环形腔板条激光器光腔准直方法及准直调节装置，包括：步骤一，确定板条增益介质内的主光线光路；步骤二，放置环形腔各反射腔镜，完成光腔的闭环调节；步骤三，标记已闭环的环形腔光路状态；步骤四，将球面透镜组于环形光路中，并保证其处于共焦状态等；本发明实现了对环形腔激光器的光腔准直调节，提高了环形腔的调节可靠性、快速性和准确性；本发明结构简单，调整方便，可以降低环形非稳腔光腔准直的调整复杂度和困难度，有望应用于各种环形腔的激光器光腔准直中
环形板条激光器光腔准直方法调节装置