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- [发明专利]材料真空放气率的测试方法及装置-CN202111293223.8在审
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刘相波;成荣;张鸣;朱煜
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清华大学
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2021-11-03
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2022-03-01
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G01N7/14
- 一种材料真空放气率的测试方法及装置,包括:用真空泵对真空腔室抽真空,记录第一真空度变化曲线;将真空腔室内充入填充气体,再对真空腔室抽真空,记录第二真空度变化曲线;比较第一、第二真空度变化曲线,如不重合度超过阈值,则重复获得第二真空度变化曲线,直至前后两次第二真空度变化曲线的不重合度小于阈值;将被测材料放入真空腔室,关闭真空腔室并停止充入填充气体;再次用真空泵对真空腔室进行抽真空,记录第三真空度变化曲线;通过最后一次第二真空度变化曲线、第三真空度变化曲线,真空泵极限真空、真空泵有效抽速和真空腔室本底气载,计算被测材料放气率。本发明不需要知道真空腔体的材料、漏率等信息,即可获得被测材料的放气率。
- 材料真空放气测试方法装置
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